检测机能检测SOI晶圆埋氧层中的缺陷吗？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-07-08

埋氧层位于顶层硅之下，表面光学检测方法难以直接看到埋层内部缺陷。该设备主要针对晶圆表面与近表面的缺陷。对于埋氧层缺陷，需要采用其他检测技术如声学扫描显微镜配合使用，本设备不作此用途。

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简介：安田丰公司专注于智能制造工艺装备和新材料，服务于AR和半导体行业，致力于提供高性能、高效率的解决方案

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