该检测机能区分缺陷与晶圆上的图案吗？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-07-08

采用图像差分与参考比较算法。设备可学习晶圆的标准图案特征，在检测时将当前图像与参考图像对齐后相减，差异部分即为潜在缺陷。对于周期性重复图案，还会使用专门算法抑制图案背景噪声。

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简介：安田丰公司专注于智能制造工艺装备和新材料，服务于AR和半导体行业，致力于提供高性能、高效率的解决方案

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