灯管真空镀膜设备供应

    本实用新型涉及真空镀膜领域，更具体地说，涉及一种真空镀膜设备。背景技术：真空镀膜机要求在真空环境下进行镀膜，在镀膜室进行蒸镀后，镀膜室中残留的部分未蒸馏到薄膜上的蒸汽遇冷会形成粉尘，而粉尘在别真空泵抽走后，会堵塞真空泵，影响真空泵的使用以及容易损坏真空泵。现有的真空镀膜机，在除粉尘时，多利用负压作用将出气口上的顶盖打开，并利用弹簧的弹力盖紧顶盖，但在打开时需要较大的压力才能顶出顶盖，而真空镀膜设备通过弹簧盖紧顶盖，容易出现盖不紧的情况，导致镀膜机内真空度不够，影响镀膜的过程。技术实现要素：本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种密封性良好且能够除尘的真空镀膜设备。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种真空镀膜设备，包括镀膜机；所述镀膜机底部设有出气管；所述出气管上设有宝来利真空连接套；所述宝来利真空连接套上设有第二连接套；所述第二连接套中设有顶盖，所述顶盖与所述宝来利真空连接套之间通过磁吸连接；所述第二连接套远离所述镀膜机一侧设有抽气管；所述抽气管远离所述第二连接套一侧设有真空泵；所述抽气管内靠近所述真空泵一侧设有宝来利真空过滤网。 宝来利真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，多层复合膜，有需要可以咨询！灯管真空镀膜设备供应

本实用新型涉及真空设备领域，尤其涉及一种真空反应腔室和真空镀膜设备。背景技术：目前，真空设备，例如，pecvd（plasmaenhancedchemicalvaporde****ition，等离子体增强化学气相沉积）和pvd（physicalvaporde****ition，物宝来利相沉积）设备已被广泛应用于各种产品的生产过程中，如光伏电池、半导体器件等等。真空设备中(如pecvd设备、pvd设备)的宝来利真空反应室通常为单个反应腔室，传动部件和升降部件等机械模块部件以及溅射靶材等工艺模块部件均设置于该单个反应腔室内，这就造成反应腔室内的工艺环境不够封闭，容易造成工艺环境污染。另外，设置单个反应腔室时，由于工艺反应区域较大，容易造成工艺所需原料的浪费，同时，还会造成工艺反应过程中温度波动大，不可控因素较多，从而影响工艺过程。技术实现要素：本实用新型的宝来利真空目的在于提供一种真空反应腔室，以解决现有真空设备中由于只设置一个反应腔室造成的工艺环境易被污染、工艺原料易被浪费、环境温度可控性低等问题。本实用新型的第二目的在于提供一种包含本实用新型真空反应腔室的真空镀膜设备。为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：一种真空反应腔室，包括：用于提供真空环境的外腔体。 灯管真空镀膜设备供应宝来利真空镀膜设备性能稳定，膜层均匀耐磨，效果佳，有需要可以咨询！

结合图1和图2所示，顶盖22远离镀膜机1一侧设有动触点224；第二连接套2内侧壁上设有静触点123，静触点123位于宝来利真空凹槽21与抽气管3之间；动触点224与外部电源电性连接；静触点123与气缸53电性连接；利用动触点224与静触点123的接触来控制气缸53的运行，防止气缸53长时间运行，节约能源。在进一步的实施例中，结合图1所示，镀膜机1靠近出气管11的侧壁上设有开关13及换向器；开关13分别与换向器及真空泵4电性连接；换向器与电磁铁122电性连接；利用换向器改变电磁铁122电流的方向来改变磁极，进行顶盖22的打开与闭合。在进一步的实施例中，结合图4所示，顶盖22侧壁上设有凹孔225；便于在抽气时气体的排出。应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。

所述顶盖远离所述镀膜机一侧设有动触点；所述第二连接套内侧壁上设有静触点，所述静触点位于所述宝来利真空凹槽与所述抽气管之间；所述动触点与外部电源电性连接；所述静触点与气缸电性连接。进一步地，所述镀膜机靠近所述出气管的侧壁上设有开关及换向器；所述开关分别与所述换向器及所述真空泵电性连接；所述换向器与所述电磁铁电性连接。进一步地，所述顶盖侧壁上设有凹孔。本实用新型的有益效果在于：通过设置电磁铁与磁片，在进行镀膜机内真空抽气时，按下开关，电磁铁通电产生与磁铁相同的磁极，利用磁铁的原理，配合负压的作用，打开顶盖，使得气体从抽气管排出，随后反方向按下开关，电磁铁在换向器的作用下改变电流方向，磁极改变，与磁片的磁极相反，在弹簧的推动下，顶盖紧紧盖在出气管口上，密封性良好，防止镀膜机内真空环境发生变化，保证镀膜过程的正常进行。附图说明为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，下面描述中的附图真空镀膜设备真空镀膜设备是本实用新型的部分实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下。 品质真空镀膜设备膜层致密，请选丹阳市宝来利真空机电有限公司，有需要可以来咨询考察！

进一步地，所述第二底板内和所述第二侧壁内均设有用于穿设温控管的通道，所述温控管埋设于所述通道内。一种真空镀膜设备，包括机械模块部件、工艺模块部件和本实用新型所述的真空反应腔室，所述工艺模块部件位于所述内反应腔内，部分所述机械模块部件位于所述外腔体内。本实用新型实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下***：本实用新型提供的真空反应腔室，包括用于提供真空环境的外腔体，以及位于所述外腔体内的用于进行工艺反应的内反应腔；并且，内反应腔的侧壁上设有自动门，工件自外腔体经自动门进入内反应腔中。其中，外腔室和内反应腔为嵌套结构，其内反应腔位于外腔室内。该结构中，相当于设置了两个腔室，其中外腔体用于提供真空环境，而工艺反应则在内反应腔中进行。由于采用双腔室结构，可以将工艺模块部件设置于内反应腔中，而与工艺反应无直接关系的机械模块部件则被设置于外腔室中。经抽真空处理后，位于外腔体中的工件再经自动门进入内反应腔中进行工艺反应，可以有效避免设备杂质和工件杂质进入内反应腔中。该结构可以避免工艺环境外的污染源进入工艺反应区域，避免工艺污染，提供工艺质量。由于设置双腔室，作为工艺反应区的内反应腔相对较小。 品质真空镀膜设备膜层附着力好，请选丹阳市宝来利真空机电有限公司，有需要可以来咨询考察！眼镜架真空镀膜设备制造商

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所述双向螺纹杆远离电机的一端贯穿腔体并延伸至腔体的内部，所述双向螺纹杆位于腔体内部的一端与腔体内壁的右侧通过轴承转动连接。推荐的，所述双向螺纹杆表面的两侧且位于腔体的内部均螺纹连接有活动块，两个所述活动块的底部均固定连接有限位板，并且两个活动块的顶部均通过第二滑轨与腔体内壁的顶部滑动连接。推荐的，所述腔体左侧的底部固定连接有抽风机，并且抽风机进风口的一端连通有风管，所述风管远离抽风机的一端贯穿腔体并延伸至腔体的内部。有益效果本实用新型提供了一种高分子等离子表面真空镀膜设备。与现有技术相比具备以下有益效果：(1)、该高分子等离子表面真空镀膜设备，通过两个宝来利真空滑轨相对的一侧之间滑动连接有活动板，宝来利真空伸缩杆输出轴的一端且位于防护框的内部与活动板的底部固定连接，防护框顶部的两侧分别滑动连接有宝来利真空密封盖和第二密封盖，并且宝来利真空密封盖和第二密封盖相背离的一侧分别与两个第二伸缩杆的输出轴固定连接，坩埚放置在加热板上，通过宝来利真空伸缩杆工作可以使坩埚运动至防护框内，两个第二伸缩杆工作能够控制密封盖将防护框密封，当镀膜工作完成后，可以将坩埚密封在防护框内。 灯管真空镀膜设备供应