企业商机
罗茨真空泵基本参数
  • 品牌
  • 马德宝
  • 型号
  • ZJ/ZJP/ZJC/ZJPC/ZJQ/LS罗茨真空泵
罗茨真空泵企业商机

为满足半导体、电子工业等对无油清洁真空的需求,干式罗茨真空泵发展迅速,其中多级罗茨真空泵为主流,美日等国已开发系列产品应用于相关工业。“多级” 指在转子轴上串联多级罗茨型转子,各级由中间壁隔离形成**泵腔,通过气流通道连接,各级转子直径和形状相同,宽度向高压侧可能变窄,常采用气冷式三叶转子增加压缩比。被抽气体从***级进气口进入,经逐级压缩后从***一级排气口排出,理论抽速取决于***级,却能实现高压缩比,可直排大气无需前级泵,避免油气污染。3-6 级罗茨泵可从大气压抽到极限压力 1Pa,高压力差可能导致转子过热,需在高压段气冷控制温度,冷却气体返流会损失抽速。为防止润滑油返流,泵腔与齿轮箱需隔离或密封,齿轮箱也可另设真空泵排气,多级罗茨泵在无油清洁真空领域具有重要地位和广阔应用前景。罗茨泵与罗茨鼓风机结构原理相似,但真空泵需前级泵配合,鼓风机可直接排气,且真空泵转子间隙控制更精密。天津气冷罗茨真空泵

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抽气量不够是罗茨真空泵的常见故障,直接影响工艺进度。主要原因包括转速不足、密封漏气、间隙过大及温度过高。转速不足可能是皮带轮速比不合适或皮带打滑,可通过更换皮带轮或调节电机位置张紧皮带解决;密封漏气多发生在法兰连接或轴封处,需检查垫圈、密封皮碗等部件,及时更换或紧固。真空度不达标的故障与抽气量不足成因相近,额外可能因进出口压差过大导致。若进气系统密封不严或泵体本身漏气,处理方法与密封漏气一致;空气温度过高时,湿式泵可在进气口注入冷水,干式泵则需在出气口加装冷却器;压差过大需检查安全阀是否失灵或出口管路是否阻力过大。广西罗茨真空泵原理罗茨真空泵运行平稳,保障真空工艺持续稳定。

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罗茨真空泵又称机械增压泵,属旋转式容积真空泵,**结构包含泵壳与两个 8 字型转子。转子平行安装在一对轴上,通过传动比为 1 的同步齿轮驱动,实现等速反向旋转,且转子间、转子与泵壳间保持特定间隙不接触,运转时摩擦损失小、功率消耗低,可高速运转。转子由泵壳两侧端盖的滚动轴承支承,借助可调同步齿轮确保高速旋转时的相对位置,固定端特殊结构保障转子与端盖的端面间隙,使泵受热时*向齿轮箱一端膨胀。两侧端盖内的四组聚四氟乙烯活塞环密封装置,能防止油箱润滑油进入泵腔,出轴处的平衡式机械密封可避免大气漏入。冷却方式通常为风冷,高压力工况下推荐选用水冷结构,电动机动力经联轴器传给主动轴,再通过同步齿轮带动从动轴旋转,ZJ 系列为卧式结构,多采用联轴器与电机直联,特殊需求可选用三角带传动。ZJP 型是 ZJ 型的派生产品,抽气原理相同,但进排气口连通且通道上垂直安装重力阀。当进排气口压力差与阀有效作用面积的乘积超阀头自重时,阀自动开启,此数值为泵可靠运转的比较高压力差,使其具备过载自动保护功能。理论上 ZJP 型可在大气压下与前级泵同步启动,但系统容积大时,旁通阀开启时间长,有效抽速小,经济性差,建议前级泵抽到一定压力后再启动 ZJP 型。

罗茨真空泵的转子呈“8”字形,通过齿轮驱动反向同步旋转。转子与泵壳、转子之间保持微小间隙,气体从进气口被吸入到转子与泵壳形成的封闭空间内,随着转子旋转,气体被“裹挟”至排气口方向。当封闭空间与排气口连通时,外部高压气体返冲入腔体,推动气体排出泵外,如此循环实现连续抽气。由于转子间及转子与泵壳间无接触,泵腔内气体无压缩过程,因此罗茨泵需与前级泵(如水环泵、油封泵)串联使用,前级泵将入口压力降至罗茨泵允许范围,罗茨泵才能正常工作。罗茨真空泵的转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。

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罗茨真空泵易损件的检查与更换需按周期执行。每日检查油位,每月检查联轴器弹性体或三角胶带张力,每季检查齿轮箱润滑油状态,每半年检查前盖轴承箱润滑油和密封件,每年则需***检查轴承、活塞环及齿轮磨损情况。O型圈、密封垫等密封件需重点关注,发现老化损坏立即更换,防止漏气影响性能。润滑油维护需遵循规范流程,直接影响设备寿命。应选择适配的润滑油,定期更换时需彻底清洗油箱和油道,避免新旧油混合污染;齿轮箱和轴承箱的润滑油需分别按要求加注,油位需控制在规定刻度线内。同时,要避免润滑油受污染,防止杂质进入油道造成部件磨损。维护过程中的安全与细节把控至关重要。所有维护操作必须在设备停机并切断电源后进行,操作人员需佩戴防护手套、护目镜等防护用品。避免设备长时间空转,可设置自动启停机制;环境温度需控制在适宜范围,过高或过低均会影响性能;对水分敏感的场景,应安装干燥器并定期维护,防止水分进入泵腔。罗茨真空泵在航天领域,保障真空实验顺利开展。山东马德宝罗茨真空泵

罗茨真空泵适配性强,可与多种真空系统搭配。天津气冷罗茨真空泵

气冷式直排大气罗茨真空泵(简称气冷罗茨泵),因特殊结构设计可平衡内部压缩热,许用压差达8.7×10^4Pa,能直接向大气排气,具备抽速大、耐压高、无污染、低功耗的***优势。其应用形式分为单泵与机组两类,多数场景下会组合成气冷罗茨机组以适配不同工况。在工作特性上,气冷罗茨泵功耗与工作压差呈线性关系,稳定工作时压差越小,长期功耗越低,选型时需按最大压差匹配电机;作为主泵或中间泵时,低真空范围可直接排气,使机组抽速从大气压起就由其决定,大幅提升抽速;作为前级泵时,能替代油封泵、液封泵组成全罗茨机组,满足无介质污染的严苛要求,在多个工业领域应用***。天津气冷罗茨真空泵

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