上海干式螺杆真空泵

马德宝真空设备集团生产的干式等螺距螺杆真空泵，属无油真空获得设备，是国内**全流道静音产品，噪音≤65 分贝，部分型号采用永磁变频电机，达一级能效且可调节频率控制真空度与抽速，适用范围更广。其泵腔由主、从动转子分隔为吸气腔、运送腔与排气腔，工作时转子啮合转动实现吸气、运气与排气，腔内无油润滑可获洁净真空，转子表面有防腐涂层适配恶劣工况，固体粉尘与冷凝液不易沉积，必要时可充气吹扫***杂质。该产品***用于医药、化工、航空航天等行业，适配高真空蒸馏、真空干燥、真空镀膜等工艺。国产螺杆泵关键部件自制率超 90%。上海干式螺杆真空泵

马德宝干式螺杆真空泵融入智能化设计，大幅降低操作门槛。设备搭载 PLC 自动控制系统，支持变频调速与柔性启动，启动时无冲击电流，避免传统设备直接启动对电网与机械部件的损伤；运行中可自动调节电机频率，精细匹配不同工况下的真空度与抽气速率需求。安装方面，采用撬装式结构设计，LGB150W 型号基础无需固定，1740mm×850mm 的紧凑尺寸节省厂房空间，无论是单机部署还是机组联动，都能快速完成安装调试，特别适合生产线升级改造时的灵活适配。江苏制药螺杆真空泵316L 不锈钢材质提升耐腐蚀性能。

光伏镀膜（如 PECVD 镀膜）对螺杆真空泵的真空度控制精度要求极高，需通过三重技术实现稳定控制。一是分级抽气控制，将镀膜过程分为粗抽（真空度 10³-10²Pa）、精抽（10²-10⁻¹Pa）与维持（10⁻¹-10⁻²Pa）三个阶段，不同阶段设定对应抽速（粗抽 300-500m³/h，精抽 100-200m³/h），避免真空度骤升骤降；二是动态补偿技术，通过压力传感器实时监测真空度变化，当因气体泄漏或工艺放气导致真空度上升时，自动提升电机转速（增幅 5%-10%），维持真空稳定；三是管路优化，采用高真空阀门（漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s）减少外部泄漏，同时在泵入口加装真空缓冲罐（容积为泵腔的 5-10 倍），缓解气流波动对真空度的影响。应用该技术后，真空度控制精度可达到 ±0.02Pa，镀膜层厚度均匀性误差≤3%，提升光伏电池转换效率。

螺杆真空泵的涂层厚度控制对性能至关重要。涂层过薄（＜3μm）会导致防护不彻底，转子基体易受腐蚀或磨损；涂层过厚（＞10μm）会增加转子重量，增大电机负荷，且易产生内应力导致涂层剥落。因此，制备过程中需采用 “在线监控” 技术：磁控溅射法通过控制溅射功率（100-300W）和时间（30-60 分钟）调节厚度，每 5 分钟用膜厚仪（精度 0.1μm）测量一次；化学气相沉积（CVD）法通过控制反应气体流量（100-200sccm）和温度（800-1000℃）调节厚度，每 10 分钟取样测量。此外，涂层厚度需均匀，同一转子表面的厚度差≤1μm，避免局部过薄或过厚，确保整体性能一致。螺杆泵配件更换需用原厂部件。

螺杆真空泵的抽速下降是常见故障，需按步骤排查：第一步检查进气过滤器，若滤芯堵塞（压差≥5kPa），用压缩空气反吹或更换；第二步检查密封系统，用氦质谱检漏仪检测，若泄漏率＞，更换密封件；第三步检查转子间隙，若因磨损导致间隙＞0.5mm，需拆机调整或更换转子。噪音过大（＞80dB）的排查方向包括：电机轴承磨损（更换轴承）、联轴器对中偏差（重新对中，偏差≤0.1mm）、泵腔异物（停机清理）。此外，泵过载（电流＞额定值 110%）多因冷却不足（清理冷却系统）、转子卡滞（检查间隙和异物）、电源电压异常（调整电压至 380V±10%），故障排查需遵循 “先外部后内部、先电气后机械” 原则，避免盲目拆机。螺杆泵振动超标可能是轴承故障。广西螺杆真空泵厂家报价

螺杆泵噪音通常低于 65dB。上海干式螺杆真空泵

螺杆真空泵的抽气效率**取决于转子型线设计，目前主流有双圆弧型线、摆线型线及渐开线型线三类。双圆弧型线通过转子齿顶与齿根的圆弧过渡，减少气体在腔室内的滞留死角，抽气速率较传统型线提升 15%-20%，适配半导体刻蚀等对抽速敏感的场景；摆线型线则凭借啮合间隙小的优势，极限真空度可突破 10⁻⁵Pa，多用于超高真空实验装置；渐开线型线因加工难度低、成本可控，广泛应用于中小型工业级螺杆泵。采用 “双圆弧 - 渐开线复合型线” 设计的设备，在 1200m³/h 抽速下，容积效率仍能保持 92% 以上，既满足大抽量需求，又兼顾真空度稳定性，可适配 14nm 制程的半导体生产环节。上海干式螺杆真空泵

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