中源绿净洁净度在线监测系统,配备多语言数据显示界面(含中文、英文、德文、日文等 8 种语言),系统可根据用户所在地区自动切换语言,语言切换响应时间≤1 秒,数据格式(如日期、单位)可同步适配不同国家或地区的标准(如符合欧盟、美国、日本的计量标准)。药厂开展跨国生产或接受国际认证(如欧盟 GMP、美国 FDA 认证)时,需向国际监管机构提供多语言的洁净度监测数据报告,若系统不支持多语言功能,将增加报告编制的工作量与出错风险 —— 某跨国药厂曾因原监测系统支持中文,在申请欧盟 GMP 认证时,需人工将数千条监测数据翻译成英文,耗时 2 周且出现 3 处数据翻译错误,导致认证审核延迟。该系统通过多语言界面,可直接生成符合国际标准的多语言监测报告,报告包含粒子浓度、温湿度、压差等数据,且数据单位(如 PCS/m³、℃、% RH、Pa)可根据目标地区要求切换(如欧盟常用 PCS/m³,美国部分地区常用 PCS/中源绿净为 30+LCD 面板厂打造模块化洁净室,微粒数控制达标,面板不良率降 15%!洁净室计数器使用说明书

中源绿净的洁净室环境监测系统,在晶圆制造的光刻车间,超小粒径监测与电磁抗干扰功能结合,可保障光刻过程的环境稳定,避免微粒与电磁干扰影响光刻精度;在芯片封装的引线键合车间,系统与 FFU 的联动控制可快速应对洁净度波动,确保键合过程中芯片与引线的连接质量;在半导体材料仓储区,系统同步监测温湿度与微粒浓度,防止材料受潮或受污染,保障后续生产的原料质量。此外,系统还支持半导体行业特有的 “无尘室分区监测”,可根据车间内的洁净级别(如 1 级、10 级、100 级)划分监测区域,每个区域设置的监测参数与预警阈值,满足不同生产环节的差异化需求。中源绿净的洁净度环境监测系统,通过电子半导体行业的定制功能,为企业解决了行业特有的监测痛点,成为半导体生产过程中不可或缺的环境管控工具。芯片半导体洁净室在线监测中源绿净为 50 + 半导体封装车间建模块化洁净室,封装良率提升 8%,减少生产成本!

中源绿净智能洁净室物联网平台,具备与医疗行业监管平台(如国家医院监测平台、地方卫生健康部门监管系统)的数据对接能力,可按监管要求自动上传手术部洁净度监测数据(粒子浓度、浮游菌浓度、温湿度、气流速度)、设备运行数据(空调系统运行参数、消毒设备使用记录),数据上传成功率≥99.5%,上传延迟≤5 分钟。医院手术部洁净度管理需接受医疗行业监管部门的定期检查与数据核查,若无法及时、准确上传监测数据,可能面临监管处罚 —— 某医院曾因手动上传数据存在延迟与错误,被监管部门通报批评,影响医院评级。该平台通过自动对接监管平台,无需人工干预即可完成数据上传,确保数据的及时性与准确性;同时,平台可根据监管部门的要求(如新增监测参数、调整数据上传频率),快速更新对接方案,避免因监管要求变化导致的数据上传中断。
中源绿净深耕光刻工艺监测需求,其 FFU 与洁净度联动系统专为光刻车间设计,整合高精度联动功能,支持 0.1μm、0.2μm 小粒径微粒的实时监测,通过 FFU 高精度无级调速(调节精度 ±0.01m/s),维持光刻区域洁净度稳定在 ISO 1-2 级。系统具备抗光刻光源干扰、抗电磁辐射设计,可在紫外光、高频电磁场环境中稳定联动,检测数据不受干扰,FFU 采用低振动设计,运行振动幅度小于 0.05mm,避免影响光刻设备精度。在半导体光刻车间,光刻胶涂布、曝光、显影等关键工序对微粒极为敏感,系统可通过 FFU 联动,快速消除人员移动、设备运行产生的微粒;在 LCD/OLED 面板光刻车间,系统可分布式部署 FFU 联动单元,覆盖不同光刻工位,确保各区域洁净度一致。适用场景包括半导体晶圆光刻车间、LCD/OLED 面板光刻车间、高精度光刻实验室等,系统支持与光刻设备联动控制,当洁净度异常时,可同步暂停光刻设备,减少不合格产品产生,同时具备远程校准功能,可通过网络连接标准粒子发生器进行远程校准,减少人员进入高洁净等级车间的次数。中源绿净为 20 + 生物制药厂打造模块化洁净室,符合 FDA 标准,产品出口通过率 100%!

中源绿净的洁净室环境监测系统,具备洁净度达标率自动分析功能,可按日、周、月、年统计各洁净区域、各监测指标的达标情况,生成达标率报表与趋势图,帮助用户掌握洁净管理水平、识别薄弱环节、优化管控措施,同时为内部考核与外部审计提供数据支持。系统的达标率计算基于预设的行业标准或企业自定义阈值,例如按 ISO 14644 标准,统计 A 级洁净区 0.5μm 微粒浓度的达标时间占比;计算维度包括区域达标率(如车间 A 的日均达标率)、指标达标率(如 0.5μm 微粒的月度达标率)、设备达标率(如某台设备监测数据的达标率),达标率结果以百分比展示,同时标注未达标时段与原因(如 “8 月 5 日 14:00-15:00 因设备维护导致超标”)。中源绿净模块化洁净室,过滤效率达 99.99%@0.3μm,已为 40 + 光学企业提升镜片合格率!芯片半导体洁净室检测
中源绿净的模块化洁净室,可拆卸重复利用率达 90%,为 30 + 企业搬迁节省重建成本 60%!洁净室计数器使用说明书
中源绿净的洁净室环境监测系统,在数据传输过程中,系统采用端到端加密技术,从传感器采集数据到云端存储的全链路均通过 AES-256 加密算法保护,防止数据在传输过程中被窃取或篡改。同时,系统具备断点续传功能,若因网络中断导致数据传输暂停,恢复连接后会自动补传中断期间的历史数据,确保数据完整性。例如某新能源企业的电池电芯生产车间,曾因临时断电导致网络中断 2 小时,恢复供电后,系统自动补传了中断期间的微粒浓度与温湿度数据,未出现数据缺失,保障了生产过程的环境数据追溯。洁净室计数器使用说明书