中源绿净在半导体晶圆光刻洁净室洁净度监测中，打造了超微颗粒 管控体系。应用场景：半导体晶圆光刻洁净车间。针对 10 级光刻 区，采用每 1.5 平方米 1 个监测终端的高密度部署，可实时采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒径微粒浓度，采样流量达 50L/min，数据更新周期为 1 秒 / 次。系统搭载激光诱导击穿光谱粒子计数器， 小检测粒径达 0.05μm，检测精度误差≤±5%。通过与光刻设备联动，当 0.1μm 微粒浓度超过 35 粒 / 升时自动调节曝光环境，配合微粒溯源算法快速定位污染源，使晶圆光刻缺陷率下降 52%。已在中芯国际、台积电等企业应用，符合 SEMI F21 洁净度标准，连续运行数据显示洁净度达标率达 99.96%。中源绿净为 55 + 蔬菜基地做环境监测，硝酸盐含量降 15%，更符合食品安全！苏州无尘室环境监测检测
中源绿净在光伏组件层压无尘车间环境监测中，推出了粉尘 - 温度 - 湿度多维度方案。应用场景：光伏组件层压无尘车间。针对 1000 级层压区，配置耐高温监测终端（可耐受 60℃环境），同步监测 0.3μm 粉尘浓度（检测下限 0.001mg/m³）、层压温度（130~150℃，精度 ±1℃）、相对湿度（30%~50% RH，精度 ±3%）及气压。采用 β 射线吸收法测尘技术，响应时间≤1 秒，数据采样间隔 5 秒 / 次。系统对接层压机控制系统，温湿度异常时自动调节，使光伏组件层压气泡不良率下降 38%。已在晶澳太阳能、天合光能等应用，符合 IEC 61215 光伏组件标准，环境管控达标率 99.86%。深圳净化车间环境监测计数器厂家中源绿净在环境监测方面，为 30 + 企业提供环境监测数据共享服务，促进企业间交流合作！
中源绿净针对半导体湿法刻蚀洁净室的洁净度监测方案，聚焦于腐蚀性环境下的 监测。应用场景：半导体湿法刻蚀洁净车间。针对 1000 级刻蚀区，配置防腐蚀监测终端，可耐受 Cl₂、HF 等腐蚀性气体环境，实时监测 0.5μm 微粒浓度（采样流量 28.3L/min）、蚀刻液飞溅微粒及局部湿度（控制在 40%~50% RH±3%）。采用惰性材料封装传感器，检测精度在腐蚀性环境中仍保持 ±10% 以内。通过与蚀刻槽联动控制，当微粒浓度超标时自动启动局部排风，使晶圆刻蚀均匀性不良率下降 45%。已服务于华虹半导体、士兰微等企业，符合 SEMI S2 安全标准，洁净度监测准确率 99.92%。
中源绿净为食品无菌加工无尘车间开发的环境监测系统，重点强化了微生物与压差梯度的 管控。应用场景：食品无菌灌装无尘车间。针对 C 级无菌加工区，部署每 2.5 平方米 1 个监测点，同步采集浮游菌（每 30 分钟采样 1 次，检测下限 1CFU/m³）、0.5μm 微粒浓度、加工区与外界压差（≥15Pa，精度 ±1Pa）及温湿度。采用 ATP 生物荧光检测技术，微生物检测时间从传统 48 小时缩短至 15 分钟，准确率达 98.8%。系统与灌装设备联动，参数异常时立即触发停机并启动消毒程序，使食品微生物超标率下降 62%。已在娃哈哈、统一企业等应用，符合 GB 14881 食品生产通用卫生规范，环境数据审计通过率 100%。中源绿净环境监测系统，助力 35 + 医疗设备厂监测，产品故障率降 8%！
中源绿净为半导体晶圆切割洁净室开发的环境监测系统，重点强化了微粒与湿度的 管控。应用场景：晶圆切割与划片洁净车间。针对 100 级切割区，部署防静电监测终端，同步采集 0.3μm 微粒浓度（采样流量 50L/min，数据更新周期 2 秒）、车间湿度（45%~55% RH，精度 ±2%）、切割区温度（23±1℃）及静电电压（量程 - 500~+500V）。采用激光散射式粒子计数器， 小检测粒径达 0.1μm，配合湿度动态调节算法，可将湿度波动控制在 ±3% 以内。系统支持与切割设备联动，当微粒浓度超标时自动暂停作业，使晶圆切割崩边率下降 45%。已在中芯国际、华虹半导体应用，符合 SEMI F47 电压标准，环境稳定性达标率 99.93%。中源绿净的环境监测设备，帮 45 + 啤酒厂发酵环境控制，口感稳定性提 12%！苏州5um环境监测测试国家标准
中源绿净为 75 + 食品厂做环境监测，车间洁净度提升，产品保质期延 3 天！苏州无尘室环境监测检测
中源绿净为制药无菌洁净区开发的洁净度监测系统，重点强化了微生物与微粒的双重监测能力。应用场景：制药无菌制剂生产洁净区。依据 GMP 标准，在 A 级洁净区部署每 1 平方米 1 个监测点，同步监测浮游菌（每 15 分钟采样 1 次，检测下限 1CFU/m³）、沉降菌（每小时培养 1 次）及 0.5μm、5μm 微粒浓度。采用撞击法与激光计数法双技术路线，微生物检测响应时间从传统 48 小时缩短至 24 小时，准确率达 99.2%。系统具备与洁净区空调系统的联动功能，参数异常时 30 秒内触发声光报警并调节换气次数，使药液灌装污染风险下降 65%。已在扬子江药业、齐鲁制药等企业应用，通过国家药监局 GMP 认证核查，洁净度监测数据合规率 100%。苏州无尘室环境监测检测
