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贵州厚膜光刻胶品牌

吉田半导体纳米压印光刻胶 JT-2000：国产技术突破耐高温极限自主研发 JT-2000 纳米压印光刻胶耐...

光刻胶基本参数

品牌
吉田半导体
型号
型号齐全

光刻胶企业商机

吉田半导体纳米压印光刻胶 JT-2000：国产技术突破耐高温极限

自主研发 JT-2000 纳米压印光刻胶耐受 250℃高温，为国产纳米器件制造提供关键材料。吉田半导体 JT-2000 纳米压印光刻胶采用国产交联树脂，在 250℃高温下仍保持图形保真度 > 95%。产品采用国产原材料与全自动化工艺，其高粘接强度与耐强酸强碱特性，适用于光学元件、传感器等精密器件。产品已通过国内科研机构验证，应用于国产 EUV 光刻机前道工艺，帮助客户实现纳米结构加工自主化。

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作为东莞松山湖的企业，吉田半导体深耕光刻胶领域 23 年，成功研发出 YK-300 半导体正性光刻胶与 JT-2000 纳米压印光刻胶。YK-300 适用于 45nm 及以上制程，线宽粗糙度（LWR）≤3nm，良率达 98% 以上，已通过中芯国际等晶圆厂验证；JT-2000 突破耐高温极限，在 250℃复杂环境下仍保持图形稳定性，适用于 EUV 光刻前道工艺。依托进口原材料与全自动化生产工艺，产品通过 ISO9001 认证及欧盟 RoHS 标准，远销全球并与跨国企业建立长期合作，加速国产替代进程。北京水油光刻胶多少钱产业链配套：原材料与设备协同发展。

定义与特性

正性光刻胶是一种在曝光后，曝光区域会溶解于显影液的光敏材料，形成与掩膜版（Mask）图案一致的图形。与负性光刻胶（未曝光区域溶解）相比，其优势是分辨率高、图案边缘清晰，是半导体制造（尤其是制程）的主流选择。

化学组成与工作原理

主要成分

• 树脂（成膜剂）：

◦ 传统正性胶：采用**酚醛树脂（Novolak）与重氮萘醌（DNQ，光敏剂）**的复合体系（PAC体系），占比约80%-90%。

◦ 化学增幅型（用于DUV/EUV）：含环化烯烃树脂或含氟聚合物，搭配光酸发生器（PAG），通过酸催化反应提高感光度和分辨率。

• 溶剂：溶解树脂和感光剂，常用丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA）或乳酸乙酯。

• 添加剂：表面活性剂（改善涂布均匀性）、稳定剂（防止暗反应）、碱溶解度调节剂等。

工作原理

• 曝光前：光敏剂（如DNQ）与树脂结合，形成不溶于碱性显影液的复合物。

• 曝光时：

◦ 传统PAC体系：DNQ在紫外光（G线436nm、I线365nm）照射下发生光分解，生成羧酸，使曝光区域树脂在碱性显影液中溶解性增强。

◦ 化学增幅型：PAG在DUV/EUV光下产生活性酸，催化树脂发生脱保护反应，大幅提高显影速率（灵敏度提升10倍以上）。

• 显影后：曝光区域溶解去除，未曝光区域保留，形成正性图案。

国际厂商策略调整

应用材料公司获曝光后处理，可将光刻胶工艺效率提升40%。杜邦因反垄断调查在中国市场面临压力，但其新一代乾膜式感光型介电质材料（CYCLOTENE DF6000 PID）仍在推进，试图通过差异化技术维持优势。日本企业则通过技术授权（如东京应化填补信越产能缺口）维持市场地位。

国内产业链协同升级

TSMC通过租赁曝光设备帮助供应商降低成本，推动光刻胶供应链本地化，其中国台湾EUV光刻胶工厂年产能达1000瓶，产值超10亿新台币。国内企业借鉴此模式，如恒坤新材通过科创板IPO募资15亿元，建设集成电路前驱体项目，形成“光刻胶-前驱体-设备”协同生态。

技术标准与壁垒

美国实体清单限制日本厂商对华供应光刻胶，中国企业需突破。例如，日本在EUV光刻胶领域持有全球65%的，而中国只占12%。国内企业正通过产学研合作（如华中科技大学与长江存储联合攻关）构建自主知识产权体系。

吉田半导体公司基本概况。

光刻胶系列：

厚板光刻胶 JT - 3001，具备优异分辨率、感光度和抗深蚀刻性能，符合欧盟 ROHS 标准，保质期 1 年；

水油光刻胶 SR - 3308，容量 5L；SU - 3 负性光刻胶，分辨率优异，对比度良好，曝光灵敏度高，光源适应，重量 100g；

液晶平板显示器负性光刻胶 JT - 1000，有 1L 装和 100g 装两种规格，分辨率高，准确性和稳定性好；

JT - 2000 UV 纳米压印光刻胶，耐强酸强碱，耐高温达 250°C，长期可靠性高，粘接强度高，重量 100g；

LCD 正性光刻胶 YK - 200，具有较大曝光、高分辨率、良好涂布和附着力，重量 100g；

半导体正性光刻胶 YK - 300，具备耐热耐酸、耐溶剂性、绝缘阻抗和紧密性，重量 100g；

耐腐蚀负性光刻胶 JT - NF100，重量 1L。吉田技术研发与生产能力。青海PCB光刻胶多少钱

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半导体集成电路

• 应用场景：

◦ 晶圆制造：正性胶为主（如ArF/EUV胶），实现20nm以下线宽，用于晶体管栅极、接触孔等精细结构；

◦ 封装工艺：负性胶用于凸点（Bump）制造，厚胶（5-50μm）耐电镀溶液腐蚀。

• 关键要求：高分辨率、低缺陷率、耐极端工艺（如150℃以上高温、等离子体轰击）。

印刷电路板（PCB）

• 应用场景：

◦ 线路成像：负性胶（如环化橡胶胶）用于双面板/多层板外层线路，线宽≥50μm，耐碱性蚀刻液（如氯化铜）；

◦ 阻焊层：厚负性胶（50-100μm）覆盖非焊盘区域，耐260℃焊接温度和助焊剂腐蚀；

◦ 挠性PCB（FPC）：正性胶用于精细线路（线宽≤20μm），需耐弯曲应力。

• 优势：工艺简单、成本低，适合大面积基板（如1.2m×1.0m的PCB基板）。

平板显示

• 应用场景：

◦ 彩色滤光片：正性胶制作黑矩阵（BM）和RGB色阻间隔层，耐UV固化和湿法蚀刻（如HF溶液）；

◦ OLED像素定义：负性胶形成像素开口（孔径5-50μm），耐有机溶剂（如OLED蒸镀前的清洗液）；

◦ 触控面板：正性胶制作透明电极（如ITO线路），线宽≤10μm，需透光率＞90%。

• 关键参数：高透光性、低收缩率（避免图案变形）。

贵州厚膜光刻胶品牌

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