分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。真空泵油能迅速将油液中夹带的水分分离出来,达到所需的真空度。旋片型真空泵代理商
干式螺杆真空泵由于其优越的性能,在欧美和日本已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业选择的真空获得设备,日本在螺杆压缩机基础上,很早就研发出了真空泵的多头转子型线,并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线,并在转子和机体冷却方面做了很多研究。中国企业在2008年也将螺杆真空泵的生产进入批量化生产,在化工制药等行业得到很好的应用。在1999年底正式推出的螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用(非半导体应用)设计的干式泵,它是一种全新的设计,是专门用来解决工业应用中艰苦的真空问题,如粉尘、焦油等。此泵也是采用变螺距转子,有内压缩过程,泵腔内无轴承和密封,极大降低了故障率,泵腔内没有内部阀门,因而耐粉尘和焦油能力强,此泵的螺杆采用内部中空冷却,可以降低转子温度和热变形,螺杆寿命长。罗茨真空泵价格比较大允许水蒸气入口压强:比较大允许水蒸气入口压强 单位是Pa。
在真空泵中真空泵油不仅作为获得真空的介质,还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。这是真空泵油的比较重要的性能,由于真空泵要求真空度很高,一般用石蜡基窄馏分润滑油,对于扩散真空泵,还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用,要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。真空泵不断向高速度发展,由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高,油品很容易氧化分解,尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作,使系统内蒸气压升高,真空度降低,因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。
真空泵特点:通常情况下在较宽的压力范围内有较大的抽速;转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可极大降低驱动功率,从而可实现较高转速;泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;压缩比较低,对氢气抽气效果差转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。
粗真空系的真空泵主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。普遍用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。该型泵具有真空度高、结构简单,使用方便、工作可靠、维护方便的特点。主要用于粗真空。抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀,不溶于水,含有少量固体颗粒的气体,以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被普遍应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。是获得粗真空的主要真空设备之一。普遍应用于化工、食品、建材等部门,特别是在真空结晶、干燥、过滤、蒸发等工艺过程中更为适宜。真空泵对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感普遍用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。双旋片真空泵供货报价
随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。旋片型真空泵代理商
气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出的工具,他是借以达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有两种类型,分别是变容真空泵和动量传输泵。变容真空泵:利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵,气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种:(1)往复式真空泵:是利用泵腔内活塞做往复式运动,将气体吸入、压缩并排出。因此,又称为活塞式真空泵。(2)旋片式真空泵:是利用泵腔内活塞做旋转运动,将气体吸入、压缩并排出。旋片型真空泵代理商
水真空环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点:水真空环泵结构简单,制造精度要求不高,容易加工。另外它结构紧凑,泵的转数较高,一般可与电动机直联,无须减速装置。故用小的结构尺寸,可以获得大的排气量,占地面积也小。而且压缩气体基本上是等温的,即压缩气体过程温度变化很小。由于泵腔内没有金属磨擦表面,无须对泵内进行润滑,而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。吸气均匀,工作平稳可靠,操作简单,维修方便。真空泵常用名称:①主泵、②前级泵、②前级泵。真空装置哪里买真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封...