常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程，以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。蒸气分子平均动能约为～。蒸发源有三种类型。①电阻加热源：用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状,通以电流,加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质（图1[蒸发镀膜设备示意图]）电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料；②高频感应加热源：用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质；③电子束加热源：适用于蒸发温度较高（不低于2000[618-1]）的材料，即用电子束轰击材料使其蒸发。蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比，具有较高的沉积速率...

在大面积基板上可制取均匀薄膜，放电电流随压强和电压的改变而变化；2）三极或四极溅射。可实现低气压，低电压溅射，可**控制放电电流和轰击靶的离子能量。可控制靶电流，也可进行射频溅射；3）磁控溅射（或高速，低温溅射）。在与靶表面平行的方向上施加磁场，利用电场与磁场正交的磁控管原理，减少电子对基板的轰击，实现高速低温溅射；4）对向靶溅射。两个靶对向放置，在垂直于靶的表面方向加磁场，可以对磁性材料等进行高速低温溅射；5）射频溅射。为制取绝缘薄膜，如氧化硅，氧化铝，玻璃膜等而研制，也可溅射金属；6）反应溅射。可制作阴极物质的化合物薄膜，如氮化钛，碳化硅，氮化铝，氧化铝等；7）偏压溅射。镀膜过程中同时**...

耐磨性和耐腐蚀性更好，膜层的性能也更稳定；PVD镀膜可以镀的膜层的种类更为***，可以镀出的各种膜层的颜色也更多更漂亮；PVD镀膜不会产生有毒或有污染的物质。Q5:请问PVD镀膜能否代替化学电镀？A5:在现阶段，PVD镀膜是不能取代化学电镀的，并且除了在不锈钢材料表面可直接进行PVD镀膜外，在很多其他材料（如锌合金、铜、铁等）的工件上进行PVD镀膜前，都需要先对它们进行化学电镀Cr(铬)。PVD镀膜主要应用在一些比较***的五金制品上，对那些价格较低的五金制品通常也只是进行化学电镀而不做PVD镀膜。Q6:请问采用PVD镀膜技术镀出的膜层有什么特点？A6:采用PVD镀膜技术镀出的膜层，具有高硬度...

Q1:请问什么是PVD？A1:PVD是英文PhysicalVaporDeposition的缩写，中文意思是“物***相沉积”，是指在真空条件下，用物理的方法使材料沉积在被镀工件上的薄膜制备技术。Q2:请问什么是PVD镀膜？什么是PVD镀膜机？A2:PVD(物***相沉积)技术主要分为三类，真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。相对于PVD技术的三个分类，相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机。近十多年来，真空离子镀技术的发展是**快的，它已经成为了当代**先进的表面处理方法之一。我们通常所说的PVD镀膜，指的就是真空离子镀膜；通常所说的PVD镀膜机，指的也就...

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。中文名真空镀膜机主要思路蒸发适用范围卫浴五金主要分类溶胶凝胶法目录1简介2使用步骤▪电控柜操作▪DEF-6B操作▪关机顺序3适用范围4化学成分▪薄膜均匀性概念▪主要分类5操作程序真空镀膜机简介编辑需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单...

种类繁多的塑料或其他高分子材料作为工程装饰性结构材料，大量应用于汽车、家电、日用包装、工艺装饰等工业领域。但塑料材料大多存在表面硬度不高、外观不够华丽、耐磨性低等缺陷，如在塑料表面蒸镀一层极薄的金属薄膜，即可赋予塑料程亮的金属外观，合适的金属源还可增加材料表面耐磨性能，拓宽了塑料的装饰性和应用范围。真空镀膜的功能是多方面的，这也决定了其应用场合非常丰富。总体来说，真空镀膜的主要功能包括赋予被镀件表面高度金属光泽和镜面效果，在薄膜材料上使膜层具有出色的阻隔性能，提供优异的电磁屏蔽和导电效果。蒸发镀膜通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。这种方法早由M.法拉第于1857年提出，现代...

以满足不同的需要.为了消除光学零件表面的反射损失,提高成像质量,涂镀一层或多层透明介质膜,称为增透膜或减反射膜.随着激光技术的发展,对膜层的反射率和透过率有不同的要求,促进了多层高反射膜和宽带增透膜的发展.为各种应用需要,利用高反射膜制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片等.光学零件表面镀膜后,光在膜层层上多次反射和透射,形成多光束干涉,控制膜层的折射率和厚度,可以得到不同的强度分布,这是干涉镀膜的基本原理.三、方法和材料的区别1、真空镀膜的方法材料:(1)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气达到约.(2)阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰...

TiN[钛金]、ZrN〔锆金〕、CrN、TiAlN）和碳化物膜（TiC、TiCN），以及氧化物膜（如TiO等）。Q9:请问PVD镀膜膜层的厚度是多少？A9:PVD镀膜膜层的厚度为微米级，厚度较薄，一般为μm～5μm，其中装饰镀膜膜层的厚度一般为μm~1μm，因此可以在几乎不影响工件原来尺寸的情况下提高工件表面的各种物理性能和化学性能，并能够维持工件尺寸基本不变，镀后不须再加工。Q10:请问PVD镀膜能够镀出的膜层的颜色有哪些？A10:我们目前能够做出的膜层的颜色有深金黄色，浅金黄色，咖啡色，古铜色，灰色，黑色，灰黑色，七彩色等。通过控制镀膜过程中的相关参数，可以控制镀出的颜色；镀膜结束后可以用...

所述滑杆远离所述固定座的一端固定安装传感触头，所述滑杆另一端固定连接伸缩杆和止动板，所述止动板滑动连接所述导杆，所述止动板和所述支撑板之间的导杆上套设压缩弹簧。所述气缸端部和密封导套之间固定连接密封装置，提高密封性能。所述密封装置为密封盖及其固定内部胶封，提高密封性能。所述密封盖和所述气缸端部之间设有支撑座。所述弹簧为圆柱螺旋压缩弹簧。本实用新型工作原理是：固定座设置在卷绕镀膜机的真空室内，法兰盘作为基座固定在真空室的外壁上，壳体在该处设有贯穿通孔，利用气缸的伸缩杆伸缩运动，带动传感触头前伸测量膜层及镀层上的电阻值，测量完收回，其中，止动板前伸挤压弹簧，减缓传感触头运动的速度，也限定传感触头运...

包括残留的脱模剂就会向塑胶表面迁移，在这种状态下，如果底漆的封闭性不好，同塑胶一样也存在毛细微孔，残留的小分子化合物通过这些毛细微孔对真空电镀层进行冲击，一般发生在由负压变成常压的状态下，在底漆和真空电镀金属层之间产生微观隔离地带，直接影响底漆和真空电镀层的附着力，这种天生的附着力欠缺，在没有进行面漆涂装时并没有马上表现出来，而是表现在涂装面漆之后，有时后掉漆马上出现，有时候要等3-7天以后，应该理解为：小分子残留化合物需要时间通过毛细微孔，面漆的后反应过程加长使得应力积累慢慢增强。通过底漆封闭基材,防止真空电镀时基材中挥发性物质迁移,影响电镀质量.涂层封闭性影响因素：油漆配方：固体量，流平性...

对膜层的反射率和透过率有不同的要求，促进了多层高反射膜和宽带增透膜的发展。为各种应用需要，利用高反射膜制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片等。光学零件表面镀膜后，光在膜层层上多次反射和透射，形成多光束干涉，控制膜层的折射率和厚度，可以得到不同的强度分布，这是干涉镀膜的基本原理。三、方法和材料的区别1、真空镀膜的方法材料：(1)真空蒸镀：将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室，抽空后将膜料加热到高温，使蒸气达到约，凝结而成薄膜。(2)阴极溅射镀：将需镀膜的基体放在阴极对面，把惰性气体(如氩)通入已抽空的室内，保持压强约～，然后将阴极接上2000V的直流电源，便激发辉光放电，带正电的氩离子撞击阴...

是在真空蒸发和真空溅射基础上发展起来的一种新的镀膜技术。离子镀的英文全称IonPlating，简称IP。它是在真空条件下，应用气体放电实现镀膜的，即在真空室中使气体或蒸发物质电离，在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下，同时将蒸发物或其反应产物蒸镀在基片上。1972年，Banshah提出了在真空放电蒸镀时，导入反应气体生成化合物的方法，即（活性反应蒸镀法）（简称ARE法）。与此同时，在离子镀时代替氩气导入一部分反应气体生成化合物薄膜，形成了反应性离子镀法（简称RIP法）等等。根据不同膜材的气化方式和离化方式，可构成不同类型的离子镀膜方式。膜材的气化方式有：电阻加热，电子束加热，等离子电子束加热，高...

真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀:蒸发镀膜，通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面；溅射镀膜用高能粒子轰击固体表面时能使固体表面的粒子获得能量并逸出表面，沉积在基片上；离子镀蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面。这三种形式的真空镀膜技术都需要一种快速冷却装置来辅助真空镀膜工程。真空设备由于在镀膜过程中工件处于密闭的真空环境中，但产品工艺及性能却丧失了很多，现有的真空镀膜设备，也有冷却装置，但其冷却效果不是很理想。不能满足人们的需要，为弥补现有技术不足，提供真空镀膜设备手套箱蒸镀一体机，本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀，并在...

高频感应蒸发源蒸镀法高频感应蒸发源是将装有蒸发材料的石墨或陶瓷坩锅放在水冷的高频螺旋线圈**，使蒸发材料在高频带内磁场的感应下产生强大的涡流损失和磁滞损失（对铁磁体），致使蒸发材料升温，直至气化蒸发。膜材的体积越小，感应的频率就越高。在钢带上连续真空镀铝的大型设备中，高频感应加热蒸镀工艺已经取得令人满意的结果。高频感应蒸发源的特点：1）蒸发速率大，可比电阻蒸发源大10倍左右；2）蒸发源的温度均匀稳定，不易产生飞溅现象；3）蒸发材料是金属时，蒸发材料可产生热量；4）蒸发源一次装料，无需送料机构，温度控制比较容易，操作比较简单。它的缺点是：1）必须采用抗热震性好，高温化学性能稳定的氮化硼坩锅；2）...

2、镀膜（晶）可以增起漆面硬度、防划痕、(提高漆面硬度并不能让漆面刀***不入、而是在正常的使用中，诸如洗车、行进的时候，有效的防止坚硬的沙粒对漆面的划伤，有效减少漆面螺旋纹又称太阳纹等使车漆持久如新)3、易清洁，镀膜后的车漆不易沾灰，只需日常洗车即可从频繁的打蜡封釉美容项目中解脱四、汽车镀膜（晶）必须注意的事项：1、镀膜（晶）后没干内切记不要用水冲洗汽车，因为在这段时间内，镀膜（晶）层还未完全凝结将继续渗透，冲洗将会冲掉未凝结的镀晶。2、做完镀膜（晶）美容后可尽量避免洗车，因此一般灰尘用干净柔软的布条擦去即可。3、做了镀膜（晶）美容后不要再打蜡，因为蜡层可能会粘附在釉层表面，再追加上镀晶时会...

可能会出现表面应力裂纹的缺陷，有了底漆过渡，涂层的厚度约10-20um，是完全可以掩盖塑胶粗糙的表面。而涂层自身的光滑度一般在，几乎视为镜面的效果。涂层填充性影响因素：油漆配方：固体量，生产工艺：膜厚3.获得更厚的真空电镀层.用底漆过渡,有利于获得更厚获得更厚的电镀层,使产品得到更高的反射效果和力学性能.4.附着性.对于一些极性较差的塑胶,通过底漆过渡,可以获得电镀层附着性.5.耐热性.塑胶热变形温度一般较低,通过底漆过渡,可以起到一定的热缓冲作用,保护塑胶免遭热变形.6.流平性7.耐热性真空电镀金属层一般只有数十至数百纳米，耐磨抗划伤性能较差，同时真空电镀金属层暴露在空气中很容易氧化，从而失...

电镀油污处理剂在UV真空镀膜工艺中适用于电镀前处理除油，同时对油漆具有增强附着力的用途。在工业生产领域，手机壳、化妆品瓶盖、塑胶玩具、手机中框等在成型时，主要工艺为注塑成型，难以避免脱模剂以及其他油污粘附在基材上，导致喷UV漆之后起油窝，所以除油需要好用且适合电镀喷涂线体的除油方法。ABS、PC、ABS+PC、TPU等塑胶基材，传统的白电油等除油方法，工艺繁杂、安全性低、线体生产效率不高，二次清洗、浸泡等还是会带来油污在工件上的粘附，难以高效稳定的除油。电镀油污处理剂通过底涂的方式，适用于电镀喷涂线体，遮盖油污，具有良好的盖油污能力以及流平，我们通过以下实例来看看电镀油污处理剂的应用效果。1....

以满足不同的需要.为了消除光学零件表面的反射损失,提高成像质量,涂镀一层或多层透明介质膜,称为增透膜或减反射膜.随着激光技术的发展,对膜层的反射率和透过率有不同的要求,促进了多层高反射膜和宽带增透膜的发展.为各种应用需要,利用高反射膜制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片等.光学零件表面镀膜后,光在膜层层上多次反射和透射,形成多光束干涉,控制膜层的折射率和厚度,可以得到不同的强度分布,这是干涉镀膜的基本原理.三、方法和材料的区别1、真空镀膜的方法材料:(1)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气达到约.(2)阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰...

目前市场上的真空镀膜设备厂家是非常多的，所以竞争就非常激烈了，消费者在选择真空镀膜设备厂家的时候，是需要通过一些方面来鉴别真空镀膜设备厂家的实力。一、经验。真空镀膜设备维修和很多其他的技能是一样的，具有丰富的经验才能应对多种状况的出现，才能保障好结果。二、成功案例。真空镀膜设备维修案例是直接的实力见证之一，真空镀膜设备维修要的还是实际的操作，这不仅*包括了真空镀膜设备本身，还包括了像真空镀膜设备这样的专业配置，毕竟配置是真空镀膜设备维修的重要前提。三、售后服务。售后服务是真空镀膜设备维修后的一个重要保障之一，完善的售后服务是真空镀膜设备维修的一部分。四、维修配件必须要有保障。每一个公司很难在每...

卷绕镀膜机是一种用于物理学、力学、信息科学与系统科学、计算机科学技术领域的物理性能测试仪器。采用电阻加热，只能镀低熔点的金属或合金膜，磁控溅射镀膜机可用于难熔金属、高温合金或陶瓷材料的镀膜，下面就由无锡光润给大家简要介绍。卷绕镀膜机的主要特点：1、卷饶系统采用高精度支流或交流变频调速，具有运行平稳、速度高、对原卷材不划伤、不折皱，收卷端面整齐等特点；2、张力控制采用进口数字张力控制系统，具有张力、线速度恒定，动作快速的特点；3、各组送丝由微机电机控制，可总调或单独调速，并有速度显示；4、真空系统配置精良，抽气速度快，采用PLC控制；5、配备大功率电源，镀膜效率高，膜层均匀性好。卷绕镀膜机的使用...

是在真空蒸发和真空溅射基础上发展起来的一种新的镀膜技术。离子镀的英文全称IonPlating，简称IP。它是在真空条件下，应用气体放电实现镀膜的，即在真空室中使气体或蒸发物质电离，在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下，同时将蒸发物或其反应产物蒸镀在基片上。1972年，Banshah提出了在真空放电蒸镀时，导入反应气体生成化合物的方法，即（活性反应蒸镀法）（简称ARE法）。与此同时，在离子镀时代替氩气导入一部分反应气体生成化合物薄膜，形成了反应性离子镀法（简称RIP法）等等。根据不同膜材的气化方式和离化方式，可构成不同类型的离子镀膜方式。膜材的气化方式有：电阻加热，电子束加热，等离子电子束加热，高...

什么是光学镀膜：光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。光学镀膜原理：1-1真空镀膜真空镀膜：真空镀膜主要是指需要在更高真空下进行的涂料，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等多种涂料，所以。蒸发和溅射有两种主要类型。将被镀材料制成基材，将电镀材料用作靶材或药材。衬底处于与靶相同的真空中。蒸发涂层通常是加热目标，以使表面组分以自由基或离子的形式蒸发，并通过成膜方法（散射岛结构-梯形结构-层状生长）...

使CCD不能充分利用所有光线，其低照性能难以令人满意。五、滤光片术语入射角度：入射光线和滤光片表面法线之间的夹角。当光线正入射时，入射角为0°。光谱特性：滤光片光谱参数(透过率T，反射率R，光密度OD，位相，偏振状态s，p等相对于波长变化的特性)。中心波长：带通滤光片的中心称为中心波长（CWL）。通带宽度用**大透过率一半处的宽度表示（FWHM），通常称为半宽。有效孔径：光学系统中有效利用的物理区域。通常于滤光片的外观尺寸相似，同心，尺寸略小些。截止位置/前-后：cut-on对应光谱特性从衰减到透过的50%点，cut-off对应光谱特性从透过到衰减的50%点。有时也可定义为峰值透过率的5%或者...

许多人在使用真空镀膜设备的时候，不重视真空镀膜设备的清洗，导致了真空镀膜设备出现很多问题，下面真空镀膜设备厂家分析清洁方案。1.油扩散泵真空系统是使用的真空系统，其获得真空度范围为1.3*10-3~1.3*10-5Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空镀膜设备，常见的故障是真空度抽不上去或真空度抽不到原来的极限压力水平。真空度抽不上去的原因需要仔细分析，可能是活动密封处松动、焊缝漏气、真空泵或真空阀门等元件损坏等原因所导致。此外，真空室内壁的油蒸汽污染，真空工艺过程各种污染物的污染也可能是主要原因。防止的方法是：定期清洗真空室。定期对油封机械真空泵和油金属扩散泵进行清理。2.真空镀膜器材由许多不...

包括残留的脱模剂就会向塑胶表面迁移，在这种状态下，如果底漆的封闭性不好，同塑胶一样也存在毛细微孔，残留的小分子化合物通过这些毛细微孔对真空电镀层进行冲击，一般发生在由负压变成常压的状态下，在底漆和真空电镀金属层之间产生微观隔离地带，直接影响底漆和真空电镀层的附着力，这种天生的附着力欠缺，在没有进行面漆涂装时并没有马上表现出来，而是表现在涂装面漆之后，有时后掉漆马上出现，有时候要等3-7天以后，应该理解为：小分子残留化合物需要时间通过毛细微孔，面漆的后反应过程加长使得应力积累慢慢增强。通过底漆封闭基材,防止真空电镀时基材中挥发性物质迁移,影响电镀质量.涂层封闭性影响因素：油漆配方：固体量，流平性...

热反射玻璃对太阳光的反射能力较高，但仍有良好的透光性，可有效反射太阳光线，包括大量红外线，在日照时它可使室内的人感到清凉舒适。热反射玻璃有良好的节能和装饰效果，多用于建筑和玻璃幕墙等。镀膜玻璃的原理镀膜玻璃的生产方法很多，目前常用的有真空磁控溅射法、化学气相沉积法。真空磁控溅射镀膜玻璃的原理是利用磁控溅射技术将镀膜材料逐层溅射沉积到玻璃表面，形成薄膜。可在白色的玻璃基片上镀出多种颜色，膜层的耐腐蚀和耐磨性能较好，是目前生产和使用**多的方法之一。化学气相沉积法的原理是，在浮法玻璃生产线上通入反应气体，在灼热的玻璃表面分解，均匀地沉积在玻璃表面形成镀膜玻璃。该方法的特点是设备投入少、易调控、产品...

使CCD不能充分利用所有光线，其低照性能难以令人满意。五、滤光片术语入射角度：入射光线和滤光片表面法线之间的夹角。当光线正入射时，入射角为0°。光谱特性：滤光片光谱参数(透过率T，反射率R，光密度OD，位相，偏振状态s，p等相对于波长变化的特性)。中心波长：带通滤光片的中心称为中心波长（CWL）。通带宽度用**大透过率一半处的宽度表示（FWHM），通常称为半宽。有效孔径：光学系统中有效利用的物理区域。通常于滤光片的外观尺寸相似，同心，尺寸略小些。截止位置/前-后：cut-on对应光谱特性从衰减到透过的50%点，cut-off对应光谱特性从透过到衰减的50%点。有时也可定义为峰值透过率的5%或者...

离子源（英文名称：Ionsource）是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞，带电粒子束使工作物质溅射以及表面电离过程都能产生离子，并被引出成束。根据不同的使用条件和用途，已研制出多种类型的离子源。使用较广的有弧放电离子源、PIG离子源、双等离子体离子源和双彭源这些源都是以气体放电过程为基础的,常被笼统地称为弧源。高频离子源则是由气体中的高频放电来产生离子的，也有很广的用途。新型重离子源的出现，使...

卷绕镀膜机的主要特点：1、卷饶系统采用高精度支流或交流变频调速，具有运行平稳、速度高、对原卷材不划伤、不折皱，收卷端面整齐等特点；2、张力控制采用进口数字张力控制系统，具有张力、线速度恒定，动作快速的特点；3、各组送丝由微机电机控制，可总调或单独调速，并有速度显示；4、真空系统配置精良，抽气速度快，采用PLC控制；5、配备大功率电源，镀膜效率高，膜层均匀性好。蒸发、磁控系列卷绕镀膜设备主要用于在塑料、布、纸、金属箔等带状材料表面镀制金属膜。产品用于包装、印刷、防伪、纺织、电子工业和建材行业等领域。本系列设备具有运行平稳、收放镀膜平齐、膜层均匀、生产周期短、能耗低、操作维护方便。卷绕镀膜机在购买...

利用激光束加热能够对某些合金或化合物进行“闪光蒸发”。这对于保证膜的成分，防止膜的分馏或分解也是及其有用的。但是，由于制作大功率连续式激光器的成本较高，所以它的应用范围有一定的限制，目前尚不能在工业中***应用。2.溅射镀膜1842年格罗夫在实验室中发现了阴极溅射现象。他是在研究电子管的阴极腐蚀问题时发现阴极材料会迁移到真空管壁上面去的现象。从1870开始，就已经将溅射原理应用于薄膜的制备，但是，在过去的100多年中溅射工艺的发展很缓慢。1940年以后，发现了溅射膜层具有极其优良的性能，同时改善溅射装置，提高溅射速率的各种新工艺相继出现并到达实用化的程度，这才使溅射技术迅速的发展，并在工业上*...