卷绕镀膜机是对薄膜进行收卷镀膜的一种镀膜装置，在镀膜之前是先将需要镀膜的薄膜卷放在镀膜机处的安装座处，通过铝导辊的导向，可将薄膜从薄膜卷上拉出，并将薄膜通过蒸发源上方经过，便可对薄膜进行镀膜处理，在镀膜冷却后，收卷即可。但是现有的卷绕镀膜机，在多薄膜镀膜的过程中，存在如下问题；1、现有的卷绕镀膜机，在对薄膜进行放卷时，易造成薄膜的褶皱，导致薄膜的不平整，不利于对薄膜的镀膜处理；2、现有的卷绕镀膜机，在薄膜通过蒸发源进行镀膜时，由于温度过高，易造成薄膜的收缩，不利于薄膜后续的收卷处理。技术实现要素：本实用新型的目的在于提供一种用于卷绕镀膜机展平的结构，以解决上述背景技术提出的目前市场上的现有的卷...

本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体涉及应用于卷绕镀膜机的在线测量装置。背景技术：目前，对于卷绕镀膜机上不同厚度的膜材及镀层上的电阻值需要通过人工测量，无法实现在线即时测量，这种传统的测量方式费时费力，效率较低。技术实现要素：鉴于背景技术的不足，本实用新型是提供了应用于卷绕镀膜机的在线测量装置，解决的问题是现有技术中，采用人工测量的方式测量卷绕镀膜机上的膜材及镀层上的电阻值，测量方式费时费力，测量效率低。为解决以上技术问题，本实用新型提供了如下技术方案：应用于卷绕镀膜机的在线测量装置，包括真空室，在所述真空室的内部固定设置固定座，固定座可以贴合固定在真空室的内壁上，也可以间接固定在真空室内，在所...

高纯镍柱，高纯钽，高纯钽片，高纯钽丝，高纯钽粒，高纯镍铬丝，高纯镍铬粒，高纯镧,高纯镨,高纯钆,高纯铈,高纯铽,高纯钬,高纯钇,高纯镱,高纯铥,高纯铼,高纯铑,高纯钯,高纯铱等.混合料氧化锆氧化钛混合料，氧化锆氧化钽混合料，氧化钛氧化钽混合料，氧化锆氧化钇混合料，氧化钛氧化铌混合料，氧化锆氧化铝混合料，氧化镁氧化铝混合料，氧化铟氧化锡混合料，氧化锡氧化铟混合料，氟化铈氟化钙混合料等混合料其他化合物钛酸钡，BaTiO3，钛酸镨，PrTiO3，钛酸锶，SrTiO3，钛酸镧，LaTiO3，硫化锌，ZnS，冰晶石，Na3AlF6，硒化锌，ZnSe，硫化镉，硫化钼，硫化铜，二硅化钼。辅料钼片，钼舟、钽片...

2)由空气进入镀膜后再进入玻璃穿透率=[4××(1+)2]×[4××()2]=可见有镀膜的玻璃会增加透光度。此外由此公式，我们可以计算光线穿透镜片的两面，发现即使一片完美的透镜(折射率)，其透光度约为85%左右。若加上一层镀膜(折射率)，则透光度可达91%。可见光学镀膜的重要性。镀膜的厚度**后我们要探讨的是镀膜厚度的不同，会有什么影响?我们已经知道透光度与镀膜的折射率有关，但是却无关于它的厚度。可是我们若能在镀膜的厚度上下点功夫，会发现反射光A与反射光B相差nc×2D的光程差。如果nc×2D=(N+1/2)λ其中N=0,1,2,3,4,5.....λ为光在空气中的波长则会造成该特定波长的反射...

什么是光学镀膜：光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。光学镀膜原理：1-1真空镀膜真空镀膜：真空镀膜主要是指需要在更高真空下进行的涂料，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等多种涂料，所以。蒸发和溅射有两种主要类型。将被镀材料制成基材，将电镀材料用作靶材或药材。衬底处于与靶相同的真空中。蒸发涂层通常是加热目标，以使表面组分以自由基或离子的形式蒸发，并通过成膜方法（散射岛结构-梯形结构-层状生长）...

提高工作气体的电离率和有效利用电子的能量.电子的归宿不**是基片,真空室内壁及靶源阳极也是电子归宿,因为一般基片与真空室及阳极在同一电势.磁场与电场的交互作用(EXBdrift)使单个电子轨迹呈三维螺旋状,而不是**在靶面圆周运动.真空镀膜技术的特点1、镀覆材料***:可作为真空镀蒸发材料有几十种,包括金属、合金和非金属.真空镀膜加工还可以像多层电镀一样,加工出多层结构的复合膜,满足对涂层各种不同性能的需求.2、真空镀膜技术可以实现不能通过电沉积方法形成镀层的涂覆:如铝、钛、锆等镀层,甚至陶瓷和金刚石涂层,这是十分难能可贵的.3、真空镀膜性能优良:真空镀膜厚度远小于电镀层,但涂层的耐摩擦和耐腐...

磁控溅射卷绕镀膜机磁控溅射的构成例（W35系列）对树脂基膜等基材以卷到卷方式采用磁控溅射方法形成透明导电膜（ITO，ZnO等）・光学膜（SiO2,SiOx,NbOx等）镀膜的磁控溅射卷绕镀膜机。磁控溅射法，采用各种阴极（DC,UBM,DMS，旋转磁石），进行触摸屏・FPD・太阳能电池・窗膜等所必须的透明导电膜（TCO）・光学膜・氧化膜・金属膜的镀膜。聚集了从面向R&D・实验性生产的小型装置到面向宽幅・大型卷绕镀膜机，对应柔性电子・能源领域的研究开发直到量产的需求。特征1.可搭载各种阴极1）UBMS（非平衡磁控溅射）根据非平衡磁场增大基材附近的等离子密度。膜表面的能量辅助效果使得薄膜特性提高。B...

3、抛光以及抛光过程基本工具：抛光机、黄色抛光球、羊毛抛光盘、封边胶布、大毛巾、喷壶、纯棉毛巾用品：A、可使用旧板三个步骤产品：强力抛光剂、还原抛光剂、增光剂时间要求：2~3小时，1人。B、使用升级板卡拉特三合一快速抛光剂，一步到位时间要求：1-2小时，1人(1)海绵抛光盘浸湿，安装在研磨机上，空转5秒钟，将多余水分甩净。(2)把研磨剂摇匀，倒在海面抛光盘上少许，用抛光盘在漆面上涂抹均匀。(3)调整研磨机转速到1800—2200r/转，启动研磨抛光机，沿车身方向直线来回移动，抛光盘经过的长条轨迹之间相互覆盖三分之一，不漏大面积漆。抛光部位顺序：按右车顶—右前机盖—左前机盖—右前翼子板—右前车门...

通常对蒸发源应考虑蒸发源的材料和形状,一般对蒸发源材料的要求是:1.熔点高因为蒸发材料的蒸发温度(平衡蒸汽压为)多数在1000~2000℃之间,因此,蒸发源材料的熔点应高于此温度.2.平衡蒸汽压低主要是防止或减少高温下蒸发源材料随蒸发材料蒸发而成为杂质,进入蒸镀膜层中.只有在蒸发源材料的平衡气压足够低时,才能保证在蒸发时具有**小的自蒸发量,才不致影响系统真空度和污染膜层,为了使蒸发源材料所蒸发的数量非常少,在选择蒸发温度、蒸发源材料时,应使材料的蒸发温度低于蒸发源材料,在平衡气压为×10-6Pa时的制备高质量的薄膜可采用与×10-3Pa所对应的温度.3.化学性能稳定在高温下不应与蒸发材料发生...

TiN[钛金]、ZrN〔锆金〕、CrN、TiAlN）和碳化物膜（TiC、TiCN），以及氧化物膜（如TiO等）。Q9:请问PVD镀膜膜层的厚度是多少？A9:PVD镀膜膜层的厚度为微米级，厚度较薄，一般为μm～5μm，其中装饰镀膜膜层的厚度一般为μm~1μm，因此可以在几乎不影响工件原来尺寸的情况下提高工件表面的各种物理性能和化学性能，并能够维持工件尺寸基本不变，镀后不须再加工。Q10:请问PVD镀膜能够镀出的膜层的颜色有哪些？A10:我们目前能够做出的膜层的颜色有深金黄色，浅金黄色，咖啡色，古铜色，灰色，黑色，灰黑色，七彩色等。通过控制镀膜过程中的相关参数，可以控制镀出的颜色；镀膜结束后可以用...

凝结形成固态薄膜的方法。真空蒸发镀膜又可以分为下列几种：电阻蒸发源蒸镀法采用钽，钼，钨等高熔点金属，做成适当形状的蒸发源，其上装入待蒸发材料，让气流通过，对蒸发材料进行直接加热蒸发，或者把待蒸发材料放入氧化铝，氧化铍等坩锅中进行间接加热蒸发，这就是电阻加热蒸发法。利用电阻加热器加热蒸发的镀膜机结构简单，造价便宜，使用可靠，可用于熔点不太高的材料的蒸发镀膜，尤其适用于对镀膜质量要求不太高的大批量的生产中，迄今为止，在镀铝制镜的生产中仍然大量使用着电阻加热蒸发的工艺。电阻加热方式的缺点是：加热所能达到的**高温度有限，加热器的寿命也较短。近年来，为了提高加热器的寿命，国内外已采用寿命较长的氮化硼合...

一、概念的区别1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。2、光学镀膜是指在光学零件表面上镀上一层(或多层)金属(或介质)薄膜的工艺过程。在光学零件表面镀膜的目的是为了达到减少或增加光的反射、分束、分色、滤光、偏振等要求。常用的镀膜法有真空镀膜(物理镀膜的一种)和化学镀膜。二、原理的区别1、真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说...

操作规程1．在真空镀膜机运转正常情况下，开动真空镀膜机时。必须先开水管，工作中应随时注意水压。2．在离子轰击和蒸发时，应特别注意高压电线接头，不得触动，以防触电。3．在用电子镀膜时，应在钟罩上铝板。观察窗的玻璃好用铅玻璃，观察时应戴上铅玻璃眼镜，以防X射线侵害人体。4．镀制多层介质膜的镀膜间，应安装通风吸尘装置，及时排除有害粉尘。5．易燃有毒物品要妥善保管，以防失火中毒。6．酸洗夹具应在通风装置内进行，并要戴橡皮手套。7．把零件放入酸洗或碱洗槽中时，应轻拿轻放，不得碰撞及溅出。平时酸洗槽盆应加盖。8．工作完毕应断电、断水。优点TiN中文名：氮化钛；颜色：金色；硬度：2300HV；摩擦系数：；高...

6)漆面抛光后，用纯棉毛巾将整车清洁干净。4、镀膜***遍镀膜：将产品充分摇动均匀，直接将产品倒在车身上，常温工作，不要在阳光直射下，发动机罩降温后比较好。用干净的镀膜条，轻快而有力地“十字形式打擦”，直到均匀涂擦。干成结晶体，漆面就越光泽，附着力越强，选择镀膜效果比较好。第二遍镀膜：重复***遍，10至20分钟干燥后，镜靓镀膜效果立即呈现。显着一层玻璃体的光亮保护漆面。5、如何判断镀膜施工的质量?(1)车漆的漆面色泽要一致，和抛光前相比，亮度有明显改善，比新车还要有亮度;出现玻璃境面，用报纸在漆面上看倒影清晰。(2)换抛光剂的同时更换海绵轮，不可混用海绵轮。(3)要在阴凉、光线好的专业美容车...

车灯真空镀膜UV漆的技术要求车灯真空镀膜UV漆的技术要求由于辐射固化涂料的绿色环保与高效率，使得该技术在世界范围内获得了重视和快速增长，其应用领域越来越广。UV涂层具有极好的表面光洁度，很适合作为底漆用于真空金属镀膜技术领域，在塑料基材上可获得十分光亮的金属外观。随着汽车工业的发展，许多金属替代工艺得到了应用，目前在汽车车灯反射罩应用领域，已经完全采用在PC、BMC等塑料表面通过真空镀铝膜来提高反射效果，用于这一领域的UV涂料要求具有良好的流平性，高耐温性(用于PC基材要求120℃以上，BMC基材高达180℃以上)。在设计PC车灯反射罩用UV底漆时，要注意提高涂层的交联密度来保证涂层有良好的封...

凝结形成固态薄膜的方法。真空蒸发镀膜又可以分为下列几种：电阻蒸发源蒸镀法采用钽，钼，钨等高熔点金属，做成适当形状的蒸发源，其上装入待蒸发材料，让气流通过，对蒸发材料进行直接加热蒸发，或者把待蒸发材料放入氧化铝，氧化铍等坩锅中进行间接加热蒸发，这就是电阻加热蒸发法。利用电阻加热器加热蒸发的镀膜机结构简单，造价便宜，使用可靠，可用于熔点不太高的材料的蒸发镀膜，尤其适用于对镀膜质量要求不太高的大批量的生产中，迄今为止，在镀铝制镜的生产中仍然大量使用着电阻加热蒸发的工艺。电阻加热方式的缺点是：加热所能达到的**高温度有限，加热器的寿命也较短。近年来，为了提高加热器的寿命，国内外已采用寿命较长的氮化硼合...

测试结果：涂层表面无明显破坏的痕迹．测试项目五：耐化妆品测试测试程式：先用棉布将产品的表面檫拭干净，将凡士林护手霜涂在产品的表面上，将产品防在恒温箱中（温度５５－６５，９０－９８％ＲＨ），保持２４小时，将产品取出，用棉布将化妆品檫拭干净，观察外表，２４小时后做附着力测试．测试工具：棉布，凡士林，高低试验箱测试结果：涂层表面无异常现象，附着力ＯＫ．测试项目六：耐手汗测试测试程式：将手汗（主要的成分：氨水１.０７％，NaCl０.４８％，其余为水）浸泡后的无纺布贴在产品的表面，用塑料袋密封后，在常温的环境放置１２小时，将产品表面的汗液檫拭干净，检查涂层的外观，２４小时后做附着力测试．测试工具：高低温...

高频感应蒸发源蒸镀法高频感应蒸发源是将装有蒸发材料的石墨或陶瓷坩锅放在水冷的高频螺旋线圈**，使蒸发材料在高频带内磁场的感应下产生强大的涡流损失和磁滞损失（对铁磁体），致使蒸发材料升温，直至气化蒸发。膜材的体积越小，感应的频率就越高。在钢带上连续真空镀铝的大型设备中，高频感应加热蒸镀工艺已经取得令人满意的结果。高频感应蒸发源的特点：1）蒸发速率大，可比电阻蒸发源大10倍左右；2）蒸发源的温度均匀稳定，不易产生飞溅现象；3）蒸发材料是金属时，蒸发材料可产生热量；4）蒸发源一次装料，无需送料机构，温度控制比较容易，操作比较简单。它的缺点是：1）必须采用抗热震性好，高温化学性能稳定的氮化硼坩锅；2）...

3、抛光以及抛光过程基本工具：抛光机、黄色抛光球、羊毛抛光盘、封边胶布、大毛巾、喷壶、纯棉毛巾用品：A、可使用旧板三个步骤产品：强力抛光剂、还原抛光剂、增光剂时间要求：2~3小时，1人。B、使用升级板卡拉特三合一快速抛光剂，一步到位时间要求：1-2小时，1人(1)海绵抛光盘浸湿，安装在研磨机上，空转5秒钟，将多余水分甩净。(2)把研磨剂摇匀，倒在海面抛光盘上少许，用抛光盘在漆面上涂抹均匀。(3)调整研磨机转速到1800—2200r/转，启动研磨抛光机，沿车身方向直线来回移动，抛光盘经过的长条轨迹之间相互覆盖三分之一，不漏大面积漆。抛光部位顺序：按右车顶—右前机盖—左前机盖—右前翼子板—右前车门...

主要是操作麻烦还影响生产效率。测试炅盛电镀油污处理剂的办法来解决油污问题，测试结果成功，在底漆柜前端加两把***喷处理剂，直接湿喷湿，紧接就喷UV底，不影响生产效率，并且还能提高生产效率和良率。ABS化妆品瓶盖UV真空镀膜除油方法：PC料苹果手机保护套工艺是工件表面喷涂UV底漆然后真空电镀，再中涂之后镭雕***喷UV面漆。问题是喷UV底漆之后表面起油点，简单好用的处理方式是喷炅盛处理剂研发的电镀油污处理剂盖住素材上的油污，然后喷UV底，不起雾不发白。PC料手机套UV真空镀膜除油方法塑胶成型工艺时，素材从模具中脱模出来多少都会残留些脱模剂，另外有些油污是外部造成的，泡白电油、泡某些溶剂、超声波清...

本文从系统结构、参数控制和镀膜方式等综述了真空卷绕镀膜技术研究进展。按结构可分为单室、双室和多室真空卷绕系统，后两者可解决开卷放气问题并分别控制卷绕和镀膜室各自真空度。卷绕张力控制分锥度、间接和直接控制模型，锥度控制模型可解决薄膜褶皱和径向力分布不均的问题；间接张力控制无需传感器，可用内置张力控制模块的矢量变频器代替；直接张力控制通过张力传感器精确测量张力值，但需惯性矩和角速度等多种参数。真空卷绕镀膜主要有真空蒸发、磁控溅射等方式，可用于制备新型高折射率薄膜、石墨烯等纳米材料和柔性太阳能电池等半导体器件。针对真空卷绕镀膜技术研究现状及向产业化过渡存在的问题，作了简要分析与展望。真空卷绕镀膜(卷...

以满足不同的需要.为了消除光学零件表面的反射损失,提高成像质量,涂镀一层或多层透明介质膜,称为增透膜或减反射膜.随着激光技术的发展,对膜层的反射率和透过率有不同的要求,促进了多层高反射膜和宽带增透膜的发展.为各种应用需要,利用高反射膜制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片等.光学零件表面镀膜后,光在膜层层上多次反射和透射,形成多光束干涉,控制膜层的折射率和厚度,可以得到不同的强度分布,这是干涉镀膜的基本原理.三、方法和材料的区别1、真空镀膜的方法材料:(1)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气达到约.(2)阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰...

以满足不同的需要.为了消除光学零件表面的反射损失,提高成像质量,涂镀一层或多层透明介质膜,称为增透膜或减反射膜.随着激光技术的发展,对膜层的反射率和透过率有不同的要求,促进了多层高反射膜和宽带增透膜的发展.为各种应用需要,利用高反射膜制造偏振反光膜、彩色分光膜、冷光膜和干涉滤光片等.光学零件表面镀膜后,光在膜层层上多次反射和透射,形成多光束干涉,控制膜层的折射率和厚度,可以得到不同的强度分布,这是干涉镀膜的基本原理.三、方法和材料的区别1、真空镀膜的方法材料:(1)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气达到约.(2)阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰...

测试结果：涂层表面无明显破坏的痕迹．测试项目五：耐化妆品测试测试程式：先用棉布将产品的表面檫拭干净，将凡士林护手霜涂在产品的表面上，将产品防在恒温箱中（温度５５－６５，９０－９８％ＲＨ），保持２４小时，将产品取出，用棉布将化妆品檫拭干净，观察外表，２４小时后做附着力测试．测试工具：棉布，凡士林，高低试验箱测试结果：涂层表面无异常现象，附着力ＯＫ．测试项目六：耐手汗测试测试程式：将手汗（主要的成分：氨水１.０７％，NaCl０.４８％，其余为水）浸泡后的无纺布贴在产品的表面，用塑料袋密封后，在常温的环境放置１２小时，将产品表面的汗液檫拭干净，检查涂层的外观，２４小时后做附着力测试．测试工具：高低温...

离子源（英文名称：Ionsource）是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞，带电粒子束使工作物质溅射以及表面电离过程都能产生离子，并被引出成束。根据不同的使用条件和用途，已研制出多种类型的离子源。使用较广的有弧放电离子源、PIG离子源、双等离子体离子源和双彭源这些源都是以气体放电过程为基础的,常被笼统地称为弧源。高频离子源则是由气体中的高频放电来产生离子的，也有很广的用途。新型重离子源的出现，使...

6)漆面抛光后，用纯棉毛巾将整车清洁干净。4、镀膜***遍镀膜：将产品充分摇动均匀，直接将产品倒在车身上，常温工作，不要在阳光直射下，发动机罩降温后比较好。用干净的镀膜条，轻快而有力地“十字形式打擦”，直到均匀涂擦。干成结晶体，漆面就越光泽，附着力越强，选择镀膜效果比较好。第二遍镀膜：重复***遍，10至20分钟干燥后，镜靓镀膜效果立即呈现。显着一层玻璃体的光亮保护漆面。5、如何判断镀膜施工的质量?(1)车漆的漆面色泽要一致，和抛光前相比，亮度有明显改善，比新车还要有亮度;出现玻璃境面，用报纸在漆面上看倒影清晰。(2)换抛光剂的同时更换海绵轮，不可混用海绵轮。(3)要在阴凉、光线好的专...

塑料具有来源充足、性能易于调控、加工方便等优势,因此种类繁多的塑料或其他高分子材料作为工程装饰性结构材料,大量应用于汽车、家电、日用包装、工艺装饰等工业领域.但塑料材料大多存在表面硬度不高、外观不够华丽、耐磨性低等缺陷,如在塑料表面蒸镀一层极薄的金属薄膜,即可赋予塑料程亮的金属外观,合适的金属源还可**增加材料表面耐磨性能,**拓宽了塑料的装饰性和应用范围.真空镀膜的功能是多方面的,这也决定了其应用场合非常丰富.总体来说,真空镀膜的主要功能包括赋予被镀件表面高度金属光泽和镜面效果,在薄膜材料上使膜层具有出色的阻隔性能,提供优异的电磁屏蔽和导电效果.二、有哪几款节能镀膜玻璃阳光控制玻璃在...

是在真空蒸发和真空溅射基础上发展起来的一种新的镀膜技术。离子镀的英文全称IonPlating，简称IP。它是在真空条件下，应用气体放电实现镀膜的，即在真空室中使气体或蒸发物质电离，在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下，同时将蒸发物或其反应产物蒸镀在基片上。1972年，Banshah提出了在真空放电蒸镀时，导入反应气体生成化合物的方法，即（活性反应蒸镀法）（简称ARE法）。与此同时，在离子镀时代替氩气导入一部分反应气体生成化合物薄膜，形成了反应性离子镀法（简称RIP法）等等。根据不同膜材的气化方式和离化方式，可构成不同类型的离子镀膜方式。膜材的气化方式有：电阻加热，电子束加热，等离子电子束...

Ta靶、锗靶、Ge靶、银靶、Ag靶、钴靶、Co靶、金靶、Au靶、钆靶、Gd靶、镧靶、La靶、钇靶、Y靶、铈靶、Ce靶、铪靶、Hf靶、钼靶、Mo靶、铁镍靶、FeNi靶、V靶、W靶、不锈钢靶、镍铁靶、铁钴靶、镍铬靶、铜铟镓靶、铝硅靶NiCr靶等金属靶材。陶瓷靶材2.陶瓷靶材ITO靶、AZO靶，氧化镁靶、氧化铁靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、硫化镉靶，硫化钼靶，二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶，二氧化铪靶，二硼化钛靶，二硼化锆靶，三氧化钨靶，三氧化二铝靶，五氧化二钽靶，五氧化二铌靶、氟化镁靶、氟化钇靶、氟化镁靶，硒化锌靶、氮化铝靶，氮化硅靶...

离子镀蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面，称为离子镀。这种技术是D.麦托克斯于1963年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技术的结合。一种离子镀系统如图4[离子镀系统示意图],将基片台作为阴极，外壳作阳极，充入惰性气体（如氩）以产生辉光放电。从蒸发源蒸发的分子通过等离子区时发生电离。正离子被基片台负电压加速打到基片表面。未电离的中性原子（约占蒸发料的95％）也沉积在基片或真空室壁表面。电场对离化的蒸气分子的加速作用（离子能量约几百～几千电子伏）和氩离子对基片的溅射清洗作用，使膜层附着强度**提高。离子镀工艺综合了蒸发（高沉积速率）与溅射（良好的膜层附着力）工艺的特点，并...