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压电薄膜是压电产品系列中具有轻量化、柔性化特点的新型产品,是一种厚度在几微米至几百微米之间的压电薄层材料,可通过薄膜沉积技术制备在硅片、金属、聚合物等基底上,兼具压电效应和薄膜材料的柔性、易集成特性,...