光刻纸借助菲林曝光制版实现精细图文还原，在于菲林的高保真图文承载能力与曝光过程的光控特性。菲林作为图文转移的 “中介载体”，可通过高精度印刷形成分辨率达 2540dpi 以上的图文...

新型光刻工艺无需定制定位纸，在于用 “实时动态定位系统” 替代传统定位纸的物理对位功能，配合全流程连线加工，实现生产效率与成本控制的双重突破。传统光刻工艺需定制定位纸，通过人工贴合...