赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司于2021年9月由原青岛赛瑞达电子装备股份有限公司重组，引入新的投资而改制设立的。公司位于无锡市锡山经济技术开发区，注册资本6521.74万元，是一家专注于研发、生产、销售和服务的半导体工艺设备和光伏电池设...
品质是企业的生命，信誉是企业的灵魂
品质是企业的生命，信誉是企业的灵魂
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262026-01
杭州智能管式炉合金炉
管式炉在半导体材料制备中占据不可替代的地位，从晶圆退火到外延生长均有深度应用。在 8 英寸晶圆的退火工艺中，设备需精确控制升温速率与保温时间，通过三级权限管理防止工艺参数误改，保障良品率稳定在 99....
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262026-01
安徽赛瑞达管式炉LPCVD
管式炉在碳化硅（SiC）和氮化镓（GaN）制造中面临高温（1500℃以上）和强腐蚀气氛（如HCl）的挑战。以SiC外延为例，需采用石墨加热元件和碳化硅涂层石英管，耐受1600℃高温和HCl气体腐蚀。工...
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262026-01
西安国产管式炉POCL3扩散炉
管式炉在CVD中的关键作用是为前驱体热解提供精确温度场。以TEOS（正硅酸乙酯）氧化硅沉积为例，工艺温度650℃-750℃，压力1-10Torr，TEOS流量10-50sccm，氧气流量50-200s...
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232026-01
东北一体化管式炉扩散炉
安全防护系统是管式炉工业应用的重要保障，主流设备普遍采用硬件级冗余设计，当炉膛温度超过设定值 2℃时，会立即触发声光报警并在 200ms 内切断加热电源，有效避免热失控风险。在权限管理方面，系统支持操...
品质是企业的生命，信誉是企业的灵魂
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