立式炉的基础结构设计融合了工程力学与热学...

气体分配系统是立式炉维持特定反应气氛的关...

随着新能源产业的快速发展，立式炉在新能源...

立式炉的热负荷调节能力是其适应不同工艺需...

卧式炉在半导体制造中，对于硅片的清洗后干...

为进一步提高卧式炉的能源利用效率，新型隔...

管式炉的炉管材质选择至关重要，直接影响到...

管式炉在半导体外延生长领域至关重要。以外...

在半导体制造流程里，氧化工艺占据着关键地...

由于化合物半导体对生长环境的要求极为苛刻...

智能化是管式炉的重要发展趋势，新一代设备...

扩散阻挡层用于防止金属杂质（如Cu、Al...