为满足半导体工艺的发展需求，卧式炉在温度...

随着半导体技术不断向高集成度、高性能方向...

管式炉在半导体材料研发中扮演着重要角色。...

管式炉在半导体材料研发中扮演着重要角色。...

碳化硅（SiC）和氮化镓（GaN）等宽禁...

‌管式炉是一种高温加热设备，主要用于材料...

随着半导体技术不断向高集成度、高性能方向...

管式炉在氧化扩散、薄膜沉积等关键工艺中，...

管式炉用于半导体衬底处理时，对衬底表面的...

管式炉的工艺监控依赖多维度传感器数据：①...

扩散阻挡层用于防止金属杂质（如Cu、Al...

晶圆预处理是管式炉工艺成功的基础，包括清...