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分子泵机组广阔应用于半导体制造、材料科学、表面分析等对真空度要求极高的领域,如芯片制造中的薄膜沉积、刻蚀等关键步骤。在启动真空机组之前,需要对设备进行详细的检查。检查内容包括泵体是否有损坏、漏油现象,...