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在半导体集成电路加热领域,上海银鑫的产品优势尽显。公司自主研发的PVD真空加热器和ALD加热设备,是半导体镀膜、刻蚀等工艺的关键配套设备。PVD真空加热器通过精密温度控制,可实现单金属膜、...