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更换:金属密封件磨损超过0.1mm或橡胶密封件硬化、压缩长久变形超过20%时需更换。注意:更换后需进行烘烤除气(如150℃×24h),避免密封件出气影响真空度。驱动机构保养气动驱动:清洁气源过滤器,检...