EUV电源维修的要点:1. 调试前必须仔细检查仪器仪表,保证仪器仪表的软硬件不存在问题。2. 断电后,并将所有电容放电。将电源上连接设备的连接线以及其他设备线全都拆除。3. 摘去所有涉及EUV光路的光...