众所周知，类金刚石薄膜是一类主要由碳原子组成的亚稳态非晶材料，其部分碳原子以类似金刚石的结构排列，而部分碳原子则以石墨的结构排列。DLC具有优异的耐磨性、低摩擦系数（一般低于0.2），其摩擦系数随制备工艺的不同以及膜中的成分的不同而变化。DLC薄膜可分为七类，分别为非晶碳（a-C）、四面体非晶碳（ta-C）、金属掺杂非晶碳（a-C:Me）、含氢非晶碳（a-C:H）、四面体形含氢非晶碳（ta-C:H）、金属掺杂含氢非晶碳（a-C:H:Me）、改性非晶碳（a-C:H:X）。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数，加入H能提高润滑作用。传统的硬质膜的摩擦系数一般在0.4以上，DLC膜在摩擦系数方面具有较大的...

浅谈中山DLC涂层的摩擦性能。DLC膜不但具有优异的耐磨性，而且具有很低的摩擦系数，一般低于0.2，是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC的摩擦系数随制备工艺的不同和膜中成分的变化而变化，其摩擦系数比较低可达0.005。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数，但加入H能提高润滑作用，环境也对摩擦系数有一定的影响。但总的来说，DLC膜与传统的硬质薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比，在摩擦系数方面具有明显优势，这些传统硬质薄膜的摩擦系数都在0.4以上。因此，DLC膜有可能在许多摩擦学领域替代这些传统硬膜。DLC涂层在关键零部件上的应用。深圳医疗DLC涂层性能中山DLC涂层和中山PVC涂层有什么...

众所周知，类金刚石薄膜是一类主要由碳原子组成的亚稳态非晶材料，其部分碳原子以类似金刚石的结构排列，而部分碳原子则以石墨的结构排列。DLC具有优异的耐磨性、低摩擦系数（一般低于0.2），其摩擦系数随制备工艺的不同以及膜中的成分的不同而变化。DLC薄膜可分为七类，分别为非晶碳（a-C）、四面体非晶碳（ta-C）、金属掺杂非晶碳（a-C:Me）、含氢非晶碳（a-C:H）、四面体形含氢非晶碳（ta-C:H）、金属掺杂含氢非晶碳（a-C:H:Me）、改性非晶碳（a-C:H:X）。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数，加入H能提高润滑作用。传统的硬质膜的摩擦系数一般在0.4以上，DLC膜在摩擦系数方面具有较大的...

中山DLC涂层耐磨性能高。DLC膜不仅具有优异的耐磨性，而且具有很低的摩擦系数，一般低于0.2，是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC的摩擦系数随制备工艺的不同和膜中成分的变化而变化，其摩擦系数可达0.005。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数，但加入H能提高润滑作用，环境也对摩擦系数有一定的影响。但总的来说，DLC膜与传统的硬质薄膜（如上述的TiN、TiC、TiAlN等）相比，在摩擦系数方面具有明显优势，这些传统硬质薄膜的摩擦系数都在0.4以上。因此，DLC膜有可能在许多摩擦学领域替代这些传统硬膜。制备的掺金属DLC膜具有良好的抗摩擦磨损性能及低达0.13-0.15的摩擦系数。DLC涂层加工的应用...

中山金刚石DLC涂层工艺流程：1、工件基体处理。这一步是比较重要的，将工件抛光到小于Ra0.2um,涂覆处理后的工件才可得到满意的表面质量，这对成形一些具有光学性能要求的零件是非常重要的，类似成形光学镜头和成形LED零件等。操作的时候需要注意基体表面处理不能留有死角，这影响到膜层是否能与基体牢固地结合。2、充分清洗。将要涂覆的工件进行充分清洗，涂覆的母材、质量水平和几何形状决定了清洗的工艺。工件装在设定的夹具上，夹具是在使腔体装载尺寸优化和保证涂覆均匀的基础上设计的。清洗方法为真空室抽真空至10-6托(高真空)来排除系统中的任何污染物，真空室中通入惰性气体并使其离子化，导致产生辉光放电(等离子...

DLC涂层是一种亚稳态的非晶碳莫，兼具金刚石和石墨的质优特性，具有较好的硬度、杰出的热传导性、低摩擦系数、优异的电绝缘性能、高化学稳定性等应用长处，在机械制造、生物医学、电子设备等范畴有着普遍应用。堆积靶材体系。设备具有PVD和PCVD两个堆积单元，PCVD单元首要意图是用于类金刚石(DLC)的堆积，选用的电源为脉冲调制电源，各项参数接连可调，经过对参数的调整，能够堆积不同硬度和厚度的DLC涂层，同时，经过对工件装卡方式的调整，还能够在复杂工件上进行涂层；PVD单元的意图首要有：①针对不同的基体经过更换不同的靶材能够开发不同的粘结层或含有不同品种元素的金属掺杂DLC涂层；②经过更换靶材，能够形...

中山DLC涂层的工业化生产开始于上世纪末和本世纪初，和普通的应用于刀具、模具上的硬质涂层（如TiN,TiAlN,CrN,TiCN等）相比是一种有较普遍应用前景的涂层技术。目前在世界范围内，能将这一技术很好应用的厂家也屈指可数。DLC是新一代硬质涂层技术和应用的典型D表以及发展方向。从节约能源和环境保护的观点上来看，现代加工业对不需要冷却液的干式切削的要求越来越强烈。由于DLC具有极低的摩擦系数（0.05-0.2）和自润滑性，当干切温度不超过DLC的热稳定温度时，DLC涂层刀可作为干切刀使用，可降低刀具前刀面形成积屑瘤的可能性。低摩擦系数还可适当降低切刷力，达到节能减排的目的。在有冷却液的切削条...

中山DLC类金刚石涂层是一种硬质碳覆膜，具有优异的耐磨损性和抗胶着性，是能下降零部件突冲、磨损的外表处理工艺，被普遍运用于很多机械零部件的滑动部位，特别是在汽车零部件傍边有着较多运用。一、发动机燃油体系零部件的运用。为了满足近年来日趋收紧的排放法规及改进燃油经济性的要求，柴油机喷油器的喷油压力已超过200MPa。除了燃油本身的光滑性较低外，高压条件下的滑动还会导致形成所谓“贫油光滑”状况，因而，现在不仅要求喷油器零件本身有必要具有耐磨损性，还要求其具有按捺突冲副配对资料攻击性的特性。运用具有自光滑性的DLC涂层工艺后，不仅零件本身的磨损大幅削减，还可以经过控制DLC类金刚石涂层的硬度，按捺突冲...

浅析制备工艺哪些参数影响中山DLC涂层摩擦系数？离子能量。离子能量即是指偏压，依据相关研讨，跟着偏压升高，DLC涂层含氢量逐渐下降，而且添加sp3含量，可有效改进DLC涂层内应力，增大膜基结合力，其突冲系数远比没有添加偏压时低得多。纤细颗粒。传统阴极弧堆积办法制备的DLC膜外表可能包括很多的纳米/微米颗粒，添加外表粗糙度。经过添加过滤设备(磁过滤器或机械过滤器)对颗粒进行过滤和阻挡，使薄膜功能得以改进。经过直流或射频等离子辅助化学气相堆积、溅射和离子束堆积等办法也可堆积十分润滑的涂层(纳米尺寸外表粗糙度)，然后削减乃至消除机械互锁效应对DLC膜突冲学功能的影响。DLC涂层具有导电性强的优点。中...

如今随着各种应用的功率密度和许多小型设备负重的不断增加，机械设备更加需要减小摩擦，减轻磨损，把轴承和硬件表面的损害降到Z小。为了应对这些挑战，近年来，汽车和工业设备的设计师加大了涂层的应用。在与润滑问题相关的一半以上的轴承故障中，涂层能够把对机械的损害降低到Z小。铁姆肯（Timken）公司的产品研发**在虚拟摩擦学前沿会议上表示：“在润滑不足的情况下，掺钨类金刚石薄膜（tungsten-dopeddiamond-likecarbon）可以发挥明显的作用。”这种类金刚石薄膜简称WC-DLC，能够增加润滑油膜的厚度，修复轴承滚道的细微损伤。通过降低杯锥滚道表面的粗糙度，来帮助解决由碎屑引起的轴承疲...

中山DLC涂层在刀片上的应用。现在DLC也在各种刀片如剪刀、刮胡刀等上的应用。DLC膜减小了刀片与皮肤的摩擦，改善了刀片的性能，延长了使用寿命。DLC涂层在关键零部件上的应用。DLC膜在许多关键零部件也能发挥其优良的性能，如在制成式斯特林制冷机的活塞上的应用利用其低的摩擦系数，降低摩擦力，提高耐磨性，达到无油润滑及使用寿命要求。在缝纫机配件-旋梭上镀DLC膜替代原来的电镀硬铬处理，不但避免了污染环境的问题，而且，明显提高工件表面硬度及耐磨性，使用寿命提高了10倍以上，同时，也因表面膜层摩擦系数降低后，使机器运行过程中产生的噪音变小。其它应用。DLC膜在工模具上的应用其它例子非常多，如：粉末冶金...

中山DLC类金刚石涂层是一种在微观结构上含有金刚石成分的涂层。DLC的主要构成元素是碳，由于碳原子之间不同的结合方式，从而产生出不同的物质，比如：石墨是碳以sp2键的形式结合；金刚石是碳以sp3键的形式结合；DLC类金刚石是碳以sp3和sp2健的形式结合；其涂层结构是由碳的sp3和sp2形态混合而成的无定型组织，形成的膜层结构中sp3和sp2各自所占的百分比直接影响涂层性能的好坏，如果sp3所占的比率越高，膜层性能就越接近天然金刚石，如果sp3所占的比率越高，膜层性能就越接近天然金刚石，显微硬度就会越高；sp2所占的比率越高，膜层的自润滑性能就越好，摩擦因数越小，但是显微硬度会降低，其与金属之...

金刚石DCL涂层的质量检验.涂覆完成后，就要对成形工件的膜层质量进行检验，检测膜层厚度是否均匀、工件的光泽、膜层是否出现分层及尺寸是否在控制范围内。如果膜层出现问题、厚度超差、结合力不强等问题需要及时解决，下面我们来了解一下相应的解决办法是什么吧！1、检验膜层均匀度检验成形后的膜层如果出现光泽不均匀、有花纹，应该是靶材的材质的纯净度不够，杂质多就会导致膜层不均匀。也可能是涂覆设备的故障。解决办法：所以如果检验出了膜层的问题可以先检测设备是否故障，如果设备稳定正常的话则必须更换靶材。2、检验膜层厚度检验膜层时如果发现厚度超差的情况，可能是处理时间过长或过短所导致的。解决办法：在设备稳定正常的情况...

中山DLC涂层耐磨性能高。DLC膜不仅具有优异的耐磨性，而且具有很低的摩擦系数，一般低于0.2，是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC的摩擦系数随制备工艺的不同和膜中成分的变化而变化，其摩擦系数可达0.005。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数，但加入H能提高润滑作用，环境也对摩擦系数有一定的影响。但总的来说，DLC膜与传统的硬质薄膜（如上述的TiN、TiC、TiAlN等）相比，在摩擦系数方面具有明显优势，这些传统硬质薄膜的摩擦系数都在0.4以上。因此，DLC膜有可能在许多摩擦学领域替代这些传统硬膜。制备的掺金属DLC膜具有良好的抗摩擦磨损性能及低达0.13-0.15的摩擦系数。DLC涂层在珠宝、手...

DLC类金刚石涂层具有较好的硬度、杰出的热传导性、低摩擦系数、优异的电绝缘性能、高化学稳定性等应用长处，在机械制造、生物医学、电子设备等范畴有着普遍的应用。DLC涂层首要选用物理Q相堆积法、化学气相堆积法来制备，经过专门的堆积设备进行生产制造。一、加热与水冷体系。加热体系与水冷体系均匀分布于堆积室四周，加热温度、速度及水量可控可调，并安装有相应的报警装置；旋转体系坐落堆积室底部，经过绝缘陶瓷进行绝缘，旋转速度可控可调。二、真空体系。真空体系由机械泵、罗茨泵、扩散泵及相应的操控阀门、测量元件组成，能够依据工艺需求自由地进行高真空和低真空的切换。浅谈DLC涂层的应用领域。珠三角缝纫机配件黑金刚DL...

DLC涂层加工的分类说明：DLC（金刚石膜）涂层设备主要是（集）直流磁控溅射、中频溅射和电弧离子蒸腾三种技能，结合线性离化源和脉冲偏压涂层可提高沉积颗粒细化膜功能，可在金属产品和非金属表面涂合金膜、化合物膜、多层复合膜等。DLC涂层设备技术作为一种生产特定膜层的技术，广泛应用于实际生产日。DLC涂层设备技能有蒸腾涂层、溅射涂层和离子涂层三种方式。DLC涂层设备在中间设置真空室，在真空室左右两侧设置左右门，蒸腾DLC涂层设备配备蒸腾设备和磁控设备。蒸腾DLC涂层设备可在双门上预留两个设备的接口，以备需要时更换。DLC涂层加工的优势特点。佛山DLC涂层处理厂家DLC涂层是一种亚稳态的非晶碳莫，兼具...

DLC涂层加工是类金刚石涂层加工。主要有两种方式实现，一种是CVD，化学气相沉积，还有一种是PVD，物LI气相沉积，IP的意思是Ionplating，是离子镀，是PVD技术的一种。DLC一般是黑色的，非常的耐磨、防滑，IP涂层就是离子镀涂层，用来做DLC的也比较多。类金刚石涂层或简称DLC涂层是一种非晶态膜，基本上可分为含氢类金刚石（a-C:H）涂层和无氢类金刚石涂层两种。含氢DLC涂层中的氢含量在20at.%-50at.%之间，sp3成分小于70%。无氢DLC涂层中常见的是四面体非晶碳(ta-C)膜。ta-C涂层中以sp3键为主，sp3含量一般高于70%。类金刚石涂层或简称DLC涂层是含有金...

如今随着各种应用的功率密度和许多小型设备负重的不断增加，机械设备更加需要减小摩擦，减轻磨损，把轴承和硬件表面的损害降到Z小。为了应对这些挑战，近年来，汽车和工业设备的设计师加大了涂层的应用。在与润滑问题相关的一半以上的轴承故障中，涂层能够把对机械的损害降低到Z小。铁姆肯（Timken）公司的产品研发**在虚拟摩擦学前沿会议上表示：“在润滑不足的情况下，掺钨类金刚石薄膜（tungsten-dopeddiamond-likecarbon）可以发挥明显的作用。”这种类金刚石薄膜简称WC-DLC，能够增加润滑油膜的厚度，修复轴承滚道的细微损伤。通过降低杯锥滚道表面的粗糙度，来帮助解决由碎屑引起的轴承疲...

中山DLC镀膜件经镀前处理，即可进人DLC镀膜工序。DLC镀膜在进行DLC镀膜时还必须注意DLC镀膜液的配方，电流密度的选择以及温度、等的调节。DLC镀膜需要说明的是，单盐电解液适用于形状简单、外观要求又不高的镀层，络盐电解液分散能力高，DLC镀膜时电流密度和效率低，DLC镀膜主要适用于表面形状较复杂的镀层。当DLC涂层真空镀膜机镀膜真空室内的真空度为13Pa时，DLC镀膜在阴阳两电极间加上一定的电压，气体发生自激放电，DLC镀膜从阴极发射出的原子或原子团可沉积在阳板或真空室的壁上。DLC镀膜放电回路，DLC镀膜是靠气体放电产生的正离子向阴极运动和一次电子向阳极运动形成的。DLC镀膜放电是靠正...

在当今的生活中，不管是哪一种机械设备都能用到许多小部件，你知道吗，这些小部件全部都是由中山DLC涂层进行加工制成的，这样说的话可能会比较复杂，那么下面利晟纳米就来为大家详细的介绍一下DLC涂层的基本概念和特点：DLC涂层只要能用到电，就可以进行工作了，而且引弧的过程也和电焊十分的相似，仔细来说的话，DLC涂层厂在一定工艺气压之下，引弧针与蒸发离子源进行短暂的接触，然后在断开，这样可以使气体放电。但是多弧镀的成因主要是借助于不时挪动的弧斑，在蒸发源外表上连续构成熔池，使金属蒸发后，堆积在上而得到薄膜层的，与磁控溅射相比，它不但有靶材应用率高，更具有离化率高。此外，多弧镀涂层颜色较为稳定，特别是在...

中山DLC是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似，同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜（DLC）是一种非晶态薄膜，由于具有高硬度和高弹性模量，低摩擦因数，耐磨损以及良好的真空摩擦学特性，很适合于作为耐磨涂层，从而引起了摩擦学界的重视。DLC的两大主要性能：⑴摩擦性能：DLC膜不仅具有优异的耐磨性，而且具有很低的摩擦系数，一般低于0.2，是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC的摩擦系数随制备工艺的不同和膜中成分的变化而变化，其摩擦系数Z低可达0.005。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数，但加入H能提高润滑作用，环境也对摩擦系数有一定的影响。但总的来说，DLC膜与传统的硬质薄膜（如上述的Ti...

不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大，用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜，用阴极电弧法制备的DLC膜硬度可达50GPa以上，而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响，Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量，虽低于金刚石（110GPa），但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命，影响薄膜性能的两个重要因素，内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱，甚至脱落，所以制备的DLC膜具有适中的压应力和较高的结合强度。DL...

应用于活塞环上的中山DLC主要采用磁控溅射技术和离子束技术多层复合沉积而成。等离子体源在相应的电源和反应气体的共同作用下，将原材料变成大量微观带电的等离子体。这些提供涂层主要成分的等离子体随着镀膜设备内产生的电磁场的分布，有规律地做定向运动，Z终在需要沉积的工件位置，逐渐形成宏观可见的、具有一定厚度的涂层。其中，磁控溅射技术沉积速率高，稳定性高，均匀性好，结合力强，需要沉积的材料只要制作成相应的块状靶材即可安装在靶座上；在涂层沉积过程中，该技术负责沉积与基材接触的底层以及介于底层和Z外层的功能层之间的过渡层。离子束技术主要用来沉积功能层，含碳的反应气体在离子束源产生的强电场作用下被电离成等离子...

中山DLC类金刚石涂层的应用:DLC类金刚石涂层以它特有的优势应用于对摩擦和磨损有特殊要求的场合，而且得到了一直好评。1、模压成形领域：DLC类金刚石涂层技术可用于顶杆及各类镶件、模腔和型芯等。2、切削领域：可用于铣刀、钻头、硬质合金刀片等。3、引擎领域：活塞销、阀类、活塞、顶杆等。4、半导体领域：引脚成形模具的刀口件、封装模具的成形镶件和镶块等。5、金属材料成形领域：DLC涂层可用于凹模、凸模、压印成形、精密冲裁等。6、其他零部件：齿轮、轴类、凸轮、轴承和从动滚轮等零部件。DLC涂层具有良好的化学稳定性和抗腐蚀性，能够有效抵抗酸碱等腐蚀介质的侵蚀，延长基材的使用寿命。珠三角精密零配件加硬耐磨...

中山DLC涂层和中山PVC涂层有什么区别？一、特点不同。PVD涂层具有耐磨、耐腐蚀、装饰、导电、绝缘、光导、压电、磁性、润滑等特点。DLC涂层具有硬度高、摩擦系数低、耐磨、耐腐蚀、附着力好、环保等特点。二、方法不同。PVD涂层方法有：真空蒸镀、溅射镀、电弧等离子体镀、离子镀、分子束延伸等。DLC涂层包括真空蒸发、溅射、等离子体辅助化学气相沉积、离子注射等。三、用途不同。PVD涂层普遍应用于航空航天、电子、光学、机械、建筑、轻工、冶金、材料等领域。DLC涂层普遍应用于钻头、铣刀、光盘模具及其辅助模具、剪刀、刮刀、粉末冶金模具、塑料模具、引线框弯曲模具、玻璃模具、镁合金加工模具、轴承等机械功能领域...

中山DLC涂层和中山PVC涂层有什么区别？一、特点不同。PVD涂层具有耐磨、耐腐蚀、装饰、导电、绝缘、光导、压电、磁性、润滑等特点。DLC涂层具有硬度高、摩擦系数低、耐磨、耐腐蚀、附着力好、环保等特点。二、方法不同。PVD涂层方法有：真空蒸镀、溅射镀、电弧等离子体镀、离子镀、分子束延伸等。DLC涂层包括真空蒸发、溅射、等离子体辅助化学气相沉积、离子注射等。三、用途不同。PVD涂层普遍应用于航空航天、电子、光学、机械、建筑、轻工、冶金、材料等领域。DLC涂层普遍应用于钻头、铣刀、光盘模具及其辅助模具、剪刀、刮刀、粉末冶金模具、塑料模具、引线框弯曲模具、玻璃模具、镁合金加工模具、轴承等机械功能领域...

中山DLC涂层处理使用的是一种物理Q相沉积工艺技术PVD(physicalvapordeposition)。是在真空条件下(1.3x10-2～1.3x10-4Pa)，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。DLC涂层是一种在微观结构上含有金刚石成分的涂层。构成DLC的主要元素为碳，碳原子之间的不同结合方式，Z终产生不同的物质：金刚石(diamond)--碳碳以sp3键的形式结合；石墨(graphite)一碳碳以sp2键的形式结合。类金刚石(DLC)一碳碳以sp3和sp2健的形式结合；其涂层...

中山DLC类金刚石涂层是一种功能良好的耐磨涂层，由于在不同环境下的自润滑性、耐腐蚀、耐磨损以及高化学慵懒等优异功能，DLC涂层作为一种具有潜力的固体润滑资料，在微型机电体系、切削工具、机械密封、生物医学等范畴有着普遍的使用前景。DLC涂层的制备办法主要是物理i气相堆积法（PVD）和化学气相堆积法（CVD），不同的制备办法关于DLC涂层的突冲系数影响也有所不同，制备工艺的参数要素关于DLC涂层突冲系数也有较大影响。一、反响气源。反响气源的组成对DLC涂层结构影响很大，特别是对DLC涂层的氢气结构有重要影响。DLC涂层具有耐磨性好的优点。五金件低温DLC涂层处理厂中山DLC涂层在模具上的应用：①冲...

多弧镀涂层颜色较为稳定，特别是在做TiN涂层时，每一次均容易得到相同稳定的金黄色，令磁控溅射法望尘莫及。中山dlc涂层厂多弧镀的缺乏之处是，在用传统的DC电源做低温涂层条件下，当涂层厚度到达0.3μm时，堆积率与反射率接近，成膜变得十分艰难。而且，薄膜外表开端变朦。多弧镀另一个不足之处是，由于金属是熔后蒸发，因而堆积颗粒较大，致密度低，耐磨性比磁控溅射法成膜差。可见，dlc涂层厂多弧镀膜与磁控溅射法镀膜各有优劣，为了尽可能地发挥它们各自的优越性，完成互补，将多弧技术与磁控技术合而为一的涂层机应运而生。DLC涂层在光学领域中的应用。长三角TINDLC涂层技术中山DLC涂层对气门机构的影响采用下图...

不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大，用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜，用阴极电弧法制备的DLC膜硬度可达50GPa以上，而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响，Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量，虽低于金刚石（110GPa），但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命，影响薄膜性能的两个重要因素，内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱，甚至脱落，所以制备的DLC膜具有适中的压应力和较高的结合强度。DL...