硅光芯片耦合测试系统是一种应用双波长的微波光子频率测量设备,以及一种微波光子频率测量设备的校正方法和基于此设备的微波频率测量方法。在微波光子频率测量设备中,本发明采用独特的双环耦合硅基光子芯片结构,可以形成两个不同深度的透射谱线。该系统采用一定的校准方法,预先得到微波频率和两个电光探测器光功率比值的函数,测量过程中,得到两个电光探测器光功... 【查看详情】
硅光芯片耦合测试系统系统的测试设备包括可调激光器、偏振控制器和多通道光功率计,通过光矩阵的光路切换,每一时刻在程序控制下都可以形成一个单独的测试环路。其光路如图1所示,光源出光包含两个设备,调光过程使用ASE宽光源,以保证光路通过光芯片后总是出光,ASE光源输出端接入1*N路耦合器;测试过程使用可调激光器,以扫描特定功率及特定波长,激光器... 【查看详情】
硅光芯片是将硅光材料和器件通过特殊工艺制造的集成电路,主要由光源、调制器、探测器、无源波导器件等组成,将多种光器件集成在同一硅基衬底上。硅光芯片的具有集成度高、成本低、传输带宽更高等特点,因为硅光芯片以硅作为集成芯片的衬底,所以能集成更多的光器件;在光模块里面,光芯片的成本非常高,但随着大规模生产的实现,硅光芯片的低成本成了巨大优势;硅光... 【查看详情】
目前,基于SOI(绝缘体上硅)材料的波导调制器成为当前的研究热点,也取得了许多的进展,但在硅光芯片调制器的产业化进程中,面临着一系列的问题,波导芯片与光纤的有效耦合就是难题之一。从悬臂型耦合结构出发,模拟设计了悬臂型倒锥耦合结构,通过开发相应的有效地耦合工艺来实现耦合实验,验证了该结构良好的耦合效率。在这个基础之上,对硅光芯片调制器进行耦... 【查看详情】
硅光芯片耦合测试系统的面向硅光芯片的光模块封装结构及方法,封装结构包括硅光芯片,电路板和光纤阵列,硅光芯片放置在基板上,基板和电路板通过连接件相连,并且在连接件的作用下实现硅光芯片与电路板的电气连通;光纤阵列的端面与硅光芯片的光端面耦合形成输入输出光路;基板所在平面与电路板所在平面之间存在一个夹角,使得光纤阵列的尾纤出纤方向与光模块的输入... 【查看详情】
晶圆测试是在半导体器件制造过程中执行的一个步骤。在此步骤中,在将晶圆送至芯片准备之前执行,晶圆上存在的所有单个集成电路都通过对其应用特殊测试模式来测试功能缺陷。晶圆测试由称为晶圆探针器的测试设备执行。晶圆测试过程可以通过多种方式进行引用:晶圆终端测试(WFT)、电子芯片分类(EDS)和电路探针(CP)可能是很常见的。晶圆探针器是用于测试集... 【查看详情】
半自动型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y电动移动行程200mm/150mm;chuck粗调升降9mm,微调升降16mm;可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜;针座摆放个数6~8颗;显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2";可搭配Probecard测试;适用领域:8寸/6寸Wafer、IC测试之产品。电动型:c... 【查看详情】
自动化探针台搭配测试机能够对出厂晶圆片的电气参数、光学参数进行测试,根据测试结果评定上一道工序的工艺质量,并指导下一道工序。从全球市场看,半导体探针台设备行业集中度较高,目前主要由国外厂商主导,行业呈现较高垄断的竞争格局。鉴于自动化探针台是光、机、电高度一体化的产品,国内在这一方向研究几乎为零,市场主要被一些国外的大公司垄断。2017年投... 【查看详情】
探针治具的校准:我们希望校准过程尽可能的把测试网络中除DUT外所有的误差项全部校准掉,当使用探针夹具的方式进行操作有两种校准方法:1一种方式是直接对着电缆的SMA端面进行校准,然后通过加载探针S2P文档的方式进行补偿;2第二种方法是直接通过探针搭配的校准板在探针的端面进行校准。是要告诉大家如果直接在SMA端面进行校准之后不补偿探针头,而直... 【查看详情】