以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜中sp3杂化键的含量比以氩气-乙炔为辅助气体制备的类金刚石薄膜的高.纳米压痕测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的纳米硬度比以氩气-乙炔为辅助气体的高.原子力显微镜测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度比以氩气-乙炔为辅助气体的低.以上结果说明辅助气体组成对类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌有较大的影响.上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可以满足国内...
DLC膜的成分、结构和性能不同。类金刚石碳膜(Diamond-likecarbonfilms,简称DLC膜)作为新型的硬质薄膜材料具有一系列优异的性能,如高硬度、高耐磨性、高热导率、高电阻率、良好的光学透明性、化学惰性等,可用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域,具有良好的应用前景。我们开发了等离子体-离子束源增强沉积系统,并同过该系统中的磁过滤真空阴极弧和非平衡磁控溅射来进行DLC膜的开发。该项技术用于电子、装饰、宇航、机械和信息等领域,用于摩擦、光学功能等用途。目前在我国技术正处于发展和完善阶段,有巨大市场潜力。上海英屹涂层技术有限公司提供各种PVDCVD涂层。类金刚石碳涂层DLC的...
DLC薄膜的制备方法:利用化学气相沉积制备的DLC薄膜膜层致密,和基体结合力好。某些特殊薄膜还具有特异的光学、点穴和热血等各种物理和化学性能,这类膜层表现出许多优点,包括膜厚比较均匀,膜层质量稳定,绕镀性好且易于实现批量生产,因此得到了广泛应用。从沉积条件看,要实现气体与基体界面的化学反应,在沉积反应过程中必须有一定的开启能。按照开启方式的不同,可以分为热丝化学气相沉积(HFCVD)、直接光化学气相沉积(DPCVD)和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)等几种方式。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬...
采用高功率脉冲磁控溅射技术制备DLC膜层,研究了偏压的变化对膜层结构及主要力学性能的影响.利用扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪、纳米压入仪、划痕仪和磨擦磨损试验仪分析检测了DLC膜结构与性能.结果表明:偏压的提高,有利于改善DLC膜的表面光洁度及致密性,DLC膜表面均方根粗糙度Rq由不施加偏压时的9nm降低至偏压为-350V的7nm;致密性的提高使沉积速率略有下降,膜层厚度减小.偏压的增加,DLC膜内部sp3含量先增加后减小趋势,在偏压为-250V时,DLC膜中sp3含量比较高.偏压的增大,DLC膜的硬度、杨氏模量和摩擦磨损等主要力学性能均呈先增大后减小的趋势,并在偏压为...
类金刚石薄膜在模具领域的应用。物相沉积法是在真空中利用热蒸发或辉光放电、弧光放电等物理过程,在基体表面沉积一层所需要的固态薄膜或涂层的技术。物相沉积涂层技术现在已被广泛应用于欧美等地的模具制造业,如冲压拉伸、成形、钟表外壳模具及精密零配件等,涂层处理可以增加工件硬度、抗磨力和降低摩擦系数,从而延长工件寿命。目前主要的涂层包括TiN、TiCN、CrN等,每种涂层各有其不同的特性和用途。应用化学气相沉积方法将TiC、TiN等涂覆于刃具、模具及各种耐磨结构零件表面上,获得几个微米厚的涂层。以上几种硬质涂层基本具备低的滑动摩擦系数、高的抗磨能力、高的抗接触疲劳能力及高的表面强度,保证表面具有足够的尺寸...
类金刚石(DLC)膜涂层刀具的硬度高、摩擦系数低、耐摩擦和耐腐蚀性能强、抗粘结性能好,并且可以用来制作复杂、异型刀具,是未来刀具的一个重要发展方向.本文介绍了DLC膜的表面显微结构和Raman光谱并列举了DLC的制备方法(包括磁控溅射、离子束沉积、脉冲激光沉积、真空阴极电弧沉积、等离子体增强型化学气相沉积)与分类.从酸蚀法、施加过渡层、表面微喷砂处理和掺杂4个方面分析如何提高膜基结合力,探讨了DLC膜的摩擦性能受湿度、温度和加工条件的影响.例举了几个国内外DLC涂层硬质合金刀具的使用范例,指出了目前研究工作的不足之处,提出了下一步研究工作的重点是优化DLC膜的制备工艺、提高膜基结合力和热稳定性...
涂层的耐磨性是涂层在实际工业生产中应用的关键,而涂层的硬度、韧性、膜/基结合力等性能都对其耐磨性有极为重要的影响。本文选择Ti-Si-C-N涂层、类金刚石(Diamond-like carbon, DLC)涂层以及含有SiC/DLC过渡层的类金刚石涂层作为研究对象,旨在研究涂层的硬度、弹塑性变形能力、韧性、膜/基结合力与耐磨性之间的关系。利用EDX, SEM、XRD和Raman对Ti-Si-C-N涂层、不含过渡层的DLC涂层和含有SiC/DCL过渡层的DLC涂层的成分和结构进行了表征,评价三种涂层的显微硬度、弹塑性变形能力、韧性、膜/基结合力和摩擦磨损性能。通过实验,探讨了Ti-Si-C-N涂...
为研究磁过滤阴极电弧沉积无氢类金刚石(Ta-C)涂层及气相沉积含氢类金刚石(含氢DLC)涂层的成分、结构及力学特性,以及两种涂层对刀具高速切削铝合金性能的影响.采用高分辨率的显微镜观察膜层的表面形貌;Raman光谱分析sp2/sp3键角混乱度和sp2团簇信息,以及sp3-C/sp2-C的比例关系;纳米压痕仪测量膜层的硬度;高速铣削实验表征涂层刀具的切削性能并分析刀具的失效原因及工件的加工质量.结果表明,Ta-C涂层表面致密光滑,表面颗粒细小,无明显凹坑,结合力分别满足工业等级HF1和HF2.在高速、干式切削铝合金条件下,Ta-C涂层铣刀的切削寿命是含氢DLC涂层铣刀的铝合金材料粘附效果更佳,切...
DLC膜的成分、结构和性能不同。类金刚石碳膜(Diamond-likecarbonfilms,简称DLC膜)作为新型的硬质薄膜材料具有一系列优异的性能,如高硬度、高耐磨性、高热导率、高电阻率、良好的光学透明性、化学惰性等,可用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域,具有良好的应用前景。我们开发了等离子体-离子束源增强沉积系统,并同过该系统中的磁过滤真空阴极弧和非平衡磁控溅射来进行DLC膜的开发。该项技术用于电子、装饰、宇航、机械和信息等领域,用于摩擦、光学功能等用途。目前在我国技术正处于发展和完善阶段,有巨大市场潜力。上海英屹涂层技术有限公司提供各种PVDCVD涂层。江苏类金刚石涂层厂家 ...
DLC具有较高的抗磨损性和化学惰性,将其应用于一些医用材料上,可以增加材料的使用寿命。比如聚乙烯的人工骨骼关节上沉积一层类金刚石膜增强了人工关节的耐磨性,其抗磨损性能就可以和陶瓷和金属的制品相比了;Ti-Ni形状记忆合金,是用于骨科内固定机械,如果在其表面镀一层类金刚石膜,使其具有良好的生物学摩擦特性和良好的抗氧化性;在钛制品人工心脏瓣膜上镀上类金刚石膜DLC,它表现出了较好的的表面光滑性和疏水性。类金刚石膜DLC具有良好的生物相容性,许多实验都发现它对蛋白质的吸附率高,对血小板的吸附率低,可以在不影响主体特征前提下,从多种途径促进材料表面生成具有活性的功能簇,从而减少了血液凝固,使生物组织和...
DLC膜的成分、结构和性能不同。类金刚石碳膜(Diamond-likecarbonfilms,简称DLC膜)作为新型的硬质薄膜材料具有一系列优异的性能,如高硬度、高耐磨性、高热导率、高电阻率、良好的光学透明性、化学惰性等,可用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域,具有良好的应用前景。我们开发了等离子体-离子束源增强沉积系统,并同过该系统中的磁过滤真空阴极弧和非平衡磁控溅射来进行DLC膜的开发。该项技术用于电子、装饰、宇航、机械和信息等领域,用于摩擦、光学功能等用途。目前在我国技术正处于发展和完善阶段,有巨大市场潜力。上海英屹涂层技术有限公司提供各种PVDCVD涂层。上海英屹涂层技术有限公...
采用直流磁控溅射法在硅基底上交替沉积类金刚石碳(DLC)和氮化碳(CNx)薄膜,制备了不同DLC层厚度的CNx/DLC纳米多层膜..采用原位纳米压入技术、涂层附着力划痕仪、球盘式摩擦磨损试验机对薄膜的力学和摩擦学性能进行了测试.结果表明:所制备的CNx/DLC多层膜均为微晶或非晶结构,组织致密.随着DLC层厚度的减小,多层膜内sp3杂化键的含量先升高后下降,压应力由135MPa增至538MPa,结合力先上升后降低,。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜...
类金刚石薄膜在模具领域的应用。物相沉积法是在真空中利用热蒸发或辉光放电、弧光放电等物理过程,在基体表面沉积一层所需要的固态薄膜或涂层的技术。物相沉积涂层技术现在已被广泛应用于欧美等地的模具制造业,如冲压拉伸、成形、钟表外壳模具及精密零配件等,涂层处理可以增加工件硬度、抗磨力和降低摩擦系数,从而延长工件寿命。目前主要的涂层包括TiN、TiCN、CrN等,每种涂层各有其不同的特性和用途。应用化学气相沉积方法将TiC、TiN等涂覆于刃具、模具及各种耐磨结构零件表面上,获得几个微米厚的涂层。以上几种硬质涂层基本具备低的滑动摩擦系数、高的抗磨能力、高的抗接触疲劳能力及高的表面强度,保证表面具有足够的尺寸...
DLC涂层(类金刚石涂层)的运用:精密模具-DLC涂层后,产品在“干”情况下(无润滑油)亦可容易脱模。具有高润滑性和高硬度,更耐磨,并获得更长的使用寿命。•注塑成型模具•冲压模具•光学级模具•光盘模具•玻璃成型模具•空调器翻边模具•吹塑成型模具精密机械–降低摩擦,加强润滑•精密轴承•纺织设备及零部件•压缩机螺杆,滑片•泵密封圈,叶片•缝制设备及零部件•弹簧片•精密传动机构切削刀具-具有良好抗粘结性•加工有色金属的刀具•加工PCB材料的刀具工量具–减少摩擦力,延长使用寿命•卡尺•卡规•塞规•治具医疗设备和器具-耐各种酸、碱等腐蚀,对人体无毒无污染•手术刀片•手术剪内燃机工业-大幅度减少摩擦力,增...
以等离子体化学气相沉积技术在硬质合金工具表面制作了类钻石(DLC)涂层。研究了DLC涂层工具和无涂层工具的硬度,研究了不同负荷、不同转速下两种工具的摩擦磨损性能以及在水润滑和油润滑条件下DLC涂层工具的滑动摩擦行为。结果,DLC涂层工具的平均硬度为2HV,比无涂层工具提高了膜硬度高的涂层摩擦系数低于结合力优异的耐腐蚀性高的耐磨性高的涂层工具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层不能镀层的工件内孔的问题。公司早已应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机构件等领域。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系...
类金刚石膜DLC因其具有抗磨性、化学惰性、沉积温度低、膜面光滑,可以将其作为一些电子产品的保护膜。如喷墨打印机墨盒加热层上、磁存储器的表面、录音机磁头极尖加一层类金刚石膜DLC保护层、不仅能有效的减少机械损伤,又不影响数据存储。类金刚石膜具有电阻率高、绝缘性强、化学惰性高和低电子亲和力等性能,且易在较大的基体上成膜。人们将类金刚石膜用作光刻电路板的掩膜,不仅可以避免操作过程中的机械损伤,还可以在去除薄膜表面的污染物允许用较激烈的机械或化学腐蚀方法,且同时不会破坏薄膜的表面,所以类金刚石膜有望代替SO2成为下一代集成电路的介质材料。类金刚石膜在微电子领域的应用,逐渐成为热点。采用类金刚石膜和碳膜...
越来越多高级的产品表面需要精美耐磨的效果,努力达到类似钻石耐磨的效果,又可以耐腐蚀耐酸碱等要求,其中触控手机、液晶显示、精密配件、精美手表首饰(LV,GUCCI···)、前列产品钻头、硬盘磁头、汽车配件、高级五金餐具卫浴等等未来将广泛应用到。为了达到类金刚石的效果,将会选择碳化硅、氮化硅结合增透膜氧化铌等靶材叠层应用。DLC膜不仅具有优异的耐磨性,而且具有很低的摩擦系数,一般低于0.2,是一种优异的表面抗磨损改性膜。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜...
类金刚石(DLC)膜良好耐磨损、耐腐蚀等性能为研发高寿命人工关节提供了新希望。分别综述了采用常规摩擦学方法对DLC膜在钴铬合金、不锈钢、钛合金、超高分子量聚乙烯(UHMWPE)等人工关节材料表面和采用模拟试验机方法对DLC膜、耐腐蚀性的应用和研究进展,对DLC膜失效机理和发展趋势进行了总结和展望。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。如何对类金刚石...
类金刚石(DLC)涂层的主要成份是碳,是一种兼有高硬度与优异摩擦性能的非晶体硬质薄膜由石墨(SP2)与金刚石(SP3)组成。由于其优异的摩擦性能,在工业上得到较多应用。特别是在无润滑剂情况下,摩擦系数也很低(µ=~)。主要应用于汽车零部件发动机活塞缸体需要高速旋转的螺杆表面切削的刀具表面应用范围十分较多DLC涂层的高硬度低摩擦性能突出DLC涂层具有一定的自润滑性是现代工业必不可少的涂层之一。上海英屹涂层技术有限公司引进美国先进涂层设备是国内少数能做PE-CVD的企业涂层性能优越膜厚1um-60um.摩擦系数小于加工范围广能满足很多PVD涂层做不到的领域。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多...
可在DLC涂层内加入钨(W-C∶H)之类的金属(此处C为碳,H为氢);还可以加入其他元素如硅(Si-DLC)来改变涂层的摩擦系数或抗温性能。一种已用于切削刀具的复合涂层为高硬度的氮化物涂层(如TiAlN)加上较软的、具有润滑功能的顶层涂层(如W-C∶H)。因为排屑的改善,这种复合涂层在攻丝和钻削应用中显示出优异的效果。本文将重点讨论一种被称作四面体非晶碳(ta-C)的DLC涂层 上海英屹涂层技术有限公司是一家专业的涂层公司 能够提供涂层研发 个性化解决涂层解决方案。浦东类金刚石涂层的厂家。上海工具类金刚石类金刚石薄膜(Diamond—likecarbonfilms)发现于20世纪70年代,是一...
多年来,对需要提高涂层光洁度的解决方法是采用过滤式电弧气相沉积工艺。该方法采用磁场过滤器来驾驭碳离子轰击刀具,而中性的碳颗粒却不受控制而轰击磁场管道。阴极与真空腔的夹角小于90°。碳颗粒将沿直线运动而轰击弯曲的磁场管道,而碳离子将在磁场的作用下沿管道抵达基体材料。该方法的缺点是沉积速度相对较慢、沉积区域相对较小,以及每次沉积的设备成本较高。此外,一些碳颗粒仍可在管道内偏转并抵达基体材料。大约10年前,出现了一种新的沉积工艺:高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)。采用HiPIMS工艺,可同时兼得离子产生和获得光滑溅射涂层的益处。但直到比较近这种方法才可使用石墨靶。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先...
以等离子体化学气相沉积技术在硬质合金工具表面制作了类钻石(DLC)涂层。研究了DLC涂层工具和无涂层工具的硬度,研究了不同负荷、不同转速下两种工具的摩擦磨损性能以及在水润滑和油润滑条件下DLC涂层工具的滑动摩擦行为。结果,DLC涂层工具的平均硬度为2HV,比无涂层工具提高了膜硬度高的涂层摩擦系数低于结合力优异的耐腐蚀性高的耐磨性高的涂层工具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层不能镀层的工件内孔的问题。公司早已应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机构件等领域。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系...
涂层的耐磨性是涂层在实际工业生产中应用的关键,而涂层的硬度、韧性、膜/基结合力等性能都对其耐磨性有极为重要的影响。本文选择Ti-Si-C-N涂层、类金刚石(Diamond-like carbon, DLC)涂层以及含有SiC/DLC过渡层的类金刚石涂层作为研究对象,旨在研究涂层的硬度、弹塑性变形能力、韧性、膜/基结合力与耐磨性之间的关系。利用EDX, SEM、XRD和Raman对Ti-Si-C-N涂层、不含过渡层的DLC涂层和含有SiC/DCL过渡层的DLC涂层的成分和结构进行了表征,评价三种涂层的显微硬度、弹塑性变形能力、韧性、膜/基结合力和摩擦磨损性能。通过实验,探讨了Ti-Si-C-N涂...
类金刚石薄膜(Diamond—likecarbonfilms)发现于20世纪70年代,是一系列含有sp3和sp2键的非晶碳膜,它有着和金刚石膜非常接近的性质——高硬度、高弹性模量、耐磨损、低摩擦系数、高电阻率、高透光率和高化学稳定性等。因此,类金刚石薄膜技术被广泛应用到机械、电子、光学和医学等各个领域。掺杂的DLC膜是一种非晶半导体材料,禁带宽度可以在1—4eV之间调制,可大面积生长,材料自身和加工过程环保,在光电探测领域的运用具有非常大的潜力。但目前DLC半导体掺杂尚无法获得n型或者p型DLC半导体材料。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂...
类金刚石涂层是含有类似金刚石结构的非晶碳膜,也是我们在这里真正需要介绍的一种。DLC膜的基本成分是碳,由于其碳的来源和制备方法的差异,DLC膜可分为含氢和不含氢两大类。DLC膜是一种亚稳态长程无序的非晶材料,碳原子间的键合方式是共价键,主要包含sp2和sp3两种杂化键,在含氢DLC膜中还存在一定数量的C-H键。我们从1996年起开始磁过滤真空弧及沉积DLC膜研究,正在完善工业化技术。如等离子体源沉积法、离子束源沉积法、孪生中频磁控溅射法、真空阴极电弧沉积法和脉冲高压放点等上海英屹涂层技术有限公司提供专业的一条龙涂层服务。台州类金刚石涂层厂家 上海英屹涂层技术有限公司。浦东表面类金刚石采用直流等...
DLC具有较高的抗磨损性和化学惰性,将其应用于一些医用材料上,可以增加材料的使用寿命。比如聚乙烯的人工骨骼关节上沉积一层类金刚石膜增强了人工关节的耐磨性,其抗磨损性能就可以和陶瓷和金属的制品相比了;Ti-Ni形状记忆合金,是用于骨科内固定机械,如果在其表面镀一层类金刚石膜,使其具有良好的生物学摩擦特性和良好的抗氧化性;在钛制品人工心脏瓣膜上镀上类金刚石膜DLC,它表现出了较好的的表面光滑性和疏水性。类金刚石膜DLC具有良好的生物相容性,许多实验都发现它对蛋白质的吸附率高,对血小板的吸附率低,可以在不影响主体特征前提下,从多种途径促进材料表面生成具有活性的功能簇,从而减少了血液凝固,使生物组织和...
类金刚石(DLC)膜良好耐磨损、耐腐蚀等性能为研发高寿命人工关节提供了新希望。分别综述了采用常规摩擦学方法对DLC膜在钴铬合金、不锈钢、钛合金、超高分子量聚乙烯(UHMWPE)等人工关节材料表面和采用模拟试验机方法对DLC膜、耐腐蚀性的应用和研究进展,对DLC膜失效机理和发展趋势进行了总结和展望。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。盐雾腐蚀对DL...
为研究磁过滤阴极电弧沉积无氢类金刚石(Ta-C)涂层及气相沉积含氢类金刚石(含氢DLC)涂层的成分、结构及力学特性,以及两种涂层对刀具高速切削铝合金性能的影响.采用高分辨率的显微镜观察膜层的表面形貌;Raman光谱分析sp2/sp3键角混乱度和sp2团簇信息,以及sp3-C/sp2-C的比例关系;纳米压痕仪测量膜层的硬度;高速铣削实验表征涂层刀具的切削性能并分析刀具的失效原因及工件的加工质量.结果表明,Ta-C涂层表面致密光滑,表面颗粒细小,无明显凹坑,结合力分别满足工业等级HF1和HF2.在高速、干式切削铝合金条件下,Ta-C涂层铣刀的切削寿命是含氢DLC涂层铣刀的铝合金材料粘附效果更佳,切...
类金刚石在DLC薄膜在汽车发动机领域的应用。为了降低发动机的燃油消耗,减轻发动机滑动部位的摩擦,(特别是活塞、活塞环与气缸之间以及凸轮与从动件之间的摩擦)非常重要。DLC薄膜材料作为一种高硬度减摩抗磨表面保护薄膜材料,具有优异的耐磨性能、低摩擦特性以及与发动机润滑油良好的协同复配特性,它在发动机滑动摩擦副上的应用是发动机节能降耗表面处理技术的一个重要研究方向。DLC薄膜在发动机上的应用效果,在技术上DLC薄膜将极低的摩擦阻力和极高的硬度完美地结合在一起,该技术已被初步应用于汽车零部件的各个运动系统中。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的P...
研究结果表明,采用射频等离子体增强化学气相沉积方法,可以在不锈钢表面沉积一定厚度的DLC碳膜,但是由于薄膜与基材之间存在较大的内应力,薄膜牢度较小,易剥落,且不耐磨。用旋转磁控电弧离子镀技术,在不锈钢金属表面先制备了Ti/TiC、Ti/TiN等中间过渡层,然后再用射频等离子体化学气相沉积(rfPEVCD)方法在过渡层上制备了DLC薄膜,发现所制备的DLC碳膜的附着牢度、摩擦性能、硬度均有很大提高。。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可以满足国内外...