企业商机
分子泵轴承基本参数
  • 品牌
  • 巴顿,BARDUN
  • 型号
  • C104HY17
  • 用途
  • 真空泵,分子泵,精密机械轴承
  • 材质
  • 陶瓷
  • 制式类型
  • 公制轴承
  • 尺寸标准
  • 非标轴承
  • 使用特性
  • 真空,低温,高温,高速
  • 保持架及其材料
  • 陶瓷合金
  • 滚动体类型
  • 样品或现货
  • 现货
  • 产地
  • 美国
  • 厂家
  • 巴顿轴承
分子泵轴承企业商机

针对机械运行中的温度变化,新巴顿分子泵轴承设计了热膨胀补偿机制。通过材料线膨胀系数匹配(轴承钢 11.5×10⁻⁶/℃,外壳材料铸铁 10.6×10⁻⁶/℃),将热变形差值控制在 5μm/100℃以内;轴向预留补偿间隙(0.1-0.3mm),配合波形弹簧自动调整预紧力,补偿热膨胀导致的尺寸变化。在 CT 机的球管真空系统中,这种设计使轴承在球管发热(温度从 25℃升至 60℃)时,仍能保持转子轴向跳动≤15μm,确保影像重建的精度。热膨胀补偿机制使分子泵轴承在机械温度波动工况下,维持长期的精度稳定性,减少因热变形导致的性能衰减。巴顿分子泵轴承:高性能分子泵轴承,助力半导体生产。徐汇区104FFT5G33分子泵轴承

分子泵轴承

寿命保障优势:科学设计延长使用周期,基于 ISO 281 标准,新巴顿对分子泵轴承的寿命计算模型进行优化,将安全系数提升至 4 倍,使得 7010C 型号轴承的 L10 寿命(90% 可靠性寿命)达到 15000 小时,超出行业平均水平 2.5 倍 。通过加速寿命试验(在 1.8 倍额定载荷下持续运行 600 小时)验证,某批次轴承的存活率高达 99%,完全满足 SEMI 设备的可靠性要求。某晶圆制造工厂采用新巴顿轴承后,设备的非计划停机率从 10% 下降至 1.5%,极大地提高了生产连续性,降低了因停机带来的经济损失。杭州C105HRRY14分子泵轴承巴顿分子泵轴承:高精度加工,确保运转平稳。

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新巴顿为机械行业客户提供标准化的定制流程,确保需求精确对接。首先通过技术问卷(包含 15 项工况参数:转速、载荷、温度、环境等)收集机械需求,3 个工作日内完成可行性分析;然后使用 SolidWorks 进行 3D 建模,通过客户确认后进行有限元分析(如热分析、疲劳分析);样品制造周期控制在 20-30 天,测试合格后进入小批量试产(50-100 套),机械试运行 3 个月无故障后批量供货。某真空设备厂商通过该流程定制的耐高温分子泵轴承(耐温 150℃),在玻璃退火炉中成功应用,证明定制流程的高效性与可靠性。

分子泵轴承选型需综合考量转速、载荷、真空度及环境介质四大要素。以 100L/s 抽速的分子泵为例,其转子重量约 5kg,高速旋转时产生的离心力可达 5000N,需选用接触角为 30° 的角接触球轴承,通过背对背安装方式承受双向轴向载荷。新巴顿提供的选型工具可根据用户参数自动计算:当转速超过 12 万转 / 分钟时,推荐采用 7000 系列角接触轴承,其 Dm・N 值(轴承节圆直径 × 转速)可达 1.2×10⁶mm・r/min,同时需搭配陶瓷球以降低离心力引起的形变。对于含腐蚀性气体的真空环境,316L 不锈钢材质的轴承配合 PTFE 保持架,可耐受氯气、氟化氢等介质的侵蚀。巴顿分子泵轴承:智能预警系统,预防突发故障。

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新巴顿在分子泵轴承制造过程中,严格把控每一道工序,以实现微米级的加工精度。套圈滚道采用数控超精磨床加工,圆度误差控制在 0.3μm 以内,表面粗糙度 Ra 值达到 0.08μm,较行业常规工艺精度提升了 50% 。陶瓷球生产需经过 12 道精密研磨工序,通过激光测振筛选,确保每颗陶瓷球的圆度误差小于 0.08μm,振动幅值不超过 0.08mm/s 。在无尘车间(ISO 6 级)进行装配,运用真空注脂技术,保证润滑脂均匀度误差小于 3% 。经三坐标测量仪检测,成品轴承的轴向游隙控制精度达到 ±1.5μm,为分子泵的稳定运行奠定坚实基础。独特结构设计,让新巴顿分子泵轴承适应高速运转,性能稳定出色。奉贤区2M4TGTY60分子泵轴承

巴顿分子泵轴承:优化安装设计,简化安装过程。徐汇区104FFT5G33分子泵轴承

新巴顿分子泵轴承采用多道密封结构设计,以满足机械行业对真空系统的防泄漏要求。主密封采用迷宫式密封与骨架油封组合,迷宫间隙控制在 0.1-0.3mm,配合真空泵油形成液封,泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s。在半导体薄膜沉积设备中,这种密封系统可防止工艺气体(如 NF₃、Cl₂)渗入轴承腔,避免润滑剂失效。辅助密封采用 O 型圈(材质为氟橡胶 Viton),耐温范围 - 20℃至 + 200℃,在机械启停的温度波动中保持弹性,确保密封面的贴合压力≥0.5MPa。密封系统的整体设计使分子泵轴承在 10⁻⁸Pa 高真空环境下仍能维持稳定的密封性能,为机械工艺的真空度提供可靠保障。徐汇区104FFT5G33分子泵轴承

分子泵轴承产品展示
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