企业商机
分子泵轴承基本参数
  • 品牌
  • 巴顿,BARDUN
  • 型号
  • C104HY17
  • 用途
  • 真空泵,分子泵,精密机械轴承
  • 材质
  • 陶瓷
  • 制式类型
  • 公制轴承
  • 尺寸标准
  • 非标轴承
  • 使用特性
  • 真空,低温,高温,高速
  • 保持架及其材料
  • 陶瓷合金
  • 滚动体类型
  • 样品或现货
  • 现货
  • 产地
  • 美国
  • 厂家
  • 巴顿轴承
分子泵轴承企业商机

某 12 英寸晶圆厂的刻蚀机配备 4 台 2000L/s 分子泵,原采用进口钢制轴承,平均每 6 个月因碳化硅颗粒污染导致轴承失效。新巴顿为其定制的 Si₃N₄陶瓷轴承,配合迷宫式密封结构,使轴承寿命延长至 24 个月。该方案的重心在于:陶瓷球的硬度(HRC78-80)高于碳化硅颗粒,可减少磨粒磨损;密封唇口采用氟橡胶材质,在 150℃工况下仍保持弹性,阻止微粒侵入。改造后,该产线的非计划停机率从 8% 降至 1%,年节约维护成本 120 万元。此外,公司为某 MOCVD 设备配套的轴承,通过在保持架中嵌入石墨自润滑块,解决了金属有机化合物沉积导致的轴承卡死问题,使设备连续运行时间突破 10000 小时。材料疲劳寿命长,新巴顿分子泵轴承通过超 1×10⁷次循环测试,性能可靠。巴顿104FFT5G33分子泵轴承采购

分子泵轴承

为应对机械行业的供应链风险,新巴顿建立分子泵轴承的协同供应网络。主要原材料(轴承钢、陶瓷球)与 3 家一级供应商签订战略储备协议,确保 3 个月的安全库存;关键工序(如热处理、磨削)采用双供应商备份,突发情况下可 48 小时内切换产能。2024 年某机械厂商因个别原因导致轴承断货,新巴顿通过应急供应链在 72 小时内完成紧急调货,保障客户产线不停机。供应链协同机制使分子泵轴承的交付准时率达 98% 以上,为机械行业的连续性生产提供坚实保障。长宁区VAC626AC003分子泵轴承新巴顿分子泵轴承润滑系统长效设计,减少机械维护频次与成本。

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面对机械行业的智能化、绿色化趋势,新巴顿持续研发分子泵轴承的前沿技术。正在开发的智能轴承集成 RFID 芯片,可存储轴承型号、制造日期、运行数据等信息,通过扫码实现全生命周期管理;采用增材制造(3D 打印)技术生产复杂结构保持架,减重 15% 的同时提升强度 20%。在环保方面,研发水基润滑技术(润滑剂可生物降解率≥95%),适用于食品机械等对卫生要求高的场景。这些技术创新将推动分子泵轴承在机械行业向更高精度、更低能耗、更智能化的方向发展,满足未来机械制造的需求。

新巴顿分子泵轴承的清洁度达到 ISO 4406:1999 标准的 12/9 级,满足高真空机械的严苛要求。生产过程中采用超声波清洗(溶剂为异丙醇),配合真空干燥(压力≤10⁻³Pa,温度 60℃),去除表面残留杂质(颗粒尺寸>5μm 的污染物≤10 个 / 100cm²)。在半导体离子注入设备中,这种高清洁度轴承可避免微粒污染晶圆,使工艺良率提升至 99.5% 以上。轴承装配在洁净室(Class 100)中进行,操作人员穿戴无尘服,工具经过紫外消毒,确保分子泵轴承在机械安装后,不会成为真空系统的污染源,维持 10⁻⁸Pa 级别的高真空环境。采用精密加工工艺,新巴顿分子泵轴承精度达 P4 级,适配机械精密设备。

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分子泵轴承的涂层技术应用进展:新巴顿研发的 TiAlN 涂层(氮化钛铝)轴承,其涂层硬度达 3000HV,较传统 DLC 涂层耐磨性提升 50%,适用于含金属蒸汽的真空环境。涂层厚度控制在 2-3μm,通过磁控溅射技术沉积,与基体结合强度>50N。某铝蒸镀设备使用该涂层轴承后,寿命从 3 个月延长至 1 年,且蒸镀铝层的杂质含量<0.001%,满足光学镀膜的高纯度要求。此外,公司正在开发的石墨烯复合涂层,可将摩擦系数降至 0.008,为超高速轴承提供新解决方案。巴顿分子泵轴承:长寿命,降低维护成本。江苏C1903X205Y18分子泵轴承

新巴顿分子泵轴承库存充足,快速发货,保障机械紧急维修需求。巴顿104FFT5G33分子泵轴承采购

新巴顿分子泵轴承的精度达到 P4 级(ISO 标准),满足机械行业精密设备的装配要求。其滚道圆度误差≤1μm,表面粗糙度 Ra≤0.1μm,这种高精度加工确保轴承在高速运转时的低噪音特性(噪音值≤65dB)。以 CT 机的真空系统为例,轴承的高精度运转可避免因振动导致的影像模糊,配合电机的伺服控制,实现分子泵转速波动 ±0.5% 的精确调节。在机械加工过程中,采用超精密磨削工艺,滚道与滚子的接触角偏差控制在 ±2′以内,使轴承在承受径向载荷(如机械安装偏心引起的附加载荷)时,各滚动体受力均匀性提升 90% 以上,延长机械部件的整体寿命。巴顿104FFT5G33分子泵轴承采购

分子泵轴承产品展示
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