企业商机
分子泵轴承基本参数
  • 品牌
  • 巴顿,BARDUN
  • 型号
  • C104HY17
  • 用途
  • 真空泵,分子泵,精密机械轴承
  • 材质
  • 陶瓷
  • 制式类型
  • 公制轴承
  • 尺寸标准
  • 非标轴承
  • 使用特性
  • 真空,低温,高温,高速
  • 保持架及其材料
  • 陶瓷合金
  • 滚动体类型
  • 样品或现货
  • 现货
  • 产地
  • 美国
  • 厂家
  • 巴顿轴承
分子泵轴承企业商机

新巴顿根据机械工况为分子泵轴承提供精确的润滑脂选型方案。对于低温环境(-40℃以下),选用全氟聚醚脂(PFPE),其倾点≤-60℃,在机械启动时的扭矩阻力≤0.05N・m;高速场景(转速>50000rpm)采用硅油基脂,粘度指数>400,避免高速剪切导致的油脂变稀。在真空泵的实际应用中,通过 DGA(油液气体分析)发现,正确选型可使润滑脂的氧化诱导期延长至 2000 小时以上,较错误选型减少换脂频率 50%。润滑脂的滴点控制在 260℃以上,确保机械在高温工况(如轴承温度 120℃)下不发生油脂流失,维持持续润滑效果。巴顿分子泵轴承:严格测试,确保产品可靠性。金山区巴顿C1909X205Y24分子泵轴承

分子泵轴承

轴承保持架的轻量化与强度平衡:分子泵轴承的保持架需在高速旋转时兼具轻量化与抗离心力性能。新巴顿采用碳纤维增强 PEEK 材料(密度 1.3g/cm³)制造保持架,其抗拉强度达 130MPa,较传统黄铜保持架减重 60%,同时离心力引起的形变≤0.05mm。保持架窗口采用椭圆孔设计(长轴 2.5mm,短轴 2mm),优化滚珠引导轨迹,降低高速运转时的振动噪声(≤65dB)。某半导体刻蚀机用分子泵更换该保持架后,轴承运转噪声从 78dB 降至 62dB,符合 ISO 11683 工业噪声控制标准。江苏C1608X205Y32分子泵轴承国际物流网络完善,新巴顿分子泵轴承实现全球快速供应。

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新巴顿分子泵轴承的轴向定位设计确保机械系统的精确运转。对于需要严格控制轴向窜动的场景(如光刻机的真空传输腔),采用双向推力轴承与定位环组合,轴向游隙控制在 1-3μm,配合电机编码器反馈,实现轴向位置精度 ±5μm。在涡轮分子泵中,轴承的轴向预紧通过弹簧加载机构实现,预紧力随温度变化的补偿量≤10%,避免因热膨胀导致的轴向间隙变化。这种定位技术使分子泵轴承在机械高速运转时,转子的轴向跳动≤10μm,满足半导体制造等精密机械对运动精度的严苛要求,保障工艺重复性与良率。

新巴顿分子泵轴承的清洁度达到 ISO 4406:1999 标准的 12/9 级,满足高真空机械的严苛要求。生产过程中采用超声波清洗(溶剂为异丙醇),配合真空干燥(压力≤10⁻³Pa,温度 60℃),去除表面残留杂质(颗粒尺寸>5μm 的污染物≤10 个 / 100cm²)。在半导体离子注入设备中,这种高清洁度轴承可避免微粒污染晶圆,使工艺良率提升至 99.5% 以上。轴承装配在洁净室(Class 100)中进行,操作人员穿戴无尘服,工具经过紫外消毒,确保分子泵轴承在机械安装后,不会成为真空系统的污染源,维持 10⁻⁸Pa 级别的高真空环境。额定载荷经精确计算,新巴顿分子泵轴承满足机械不同工况的负载需求。

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寿命保障优势:科学设计延长使用周期,基于 ISO 281 标准,新巴顿对分子泵轴承的寿命计算模型进行优化,将安全系数提升至 4 倍,使得 7010C 型号轴承的 L10 寿命(90% 可靠性寿命)达到 15000 小时,超出行业平均水平 2.5 倍 。通过加速寿命试验(在 1.8 倍额定载荷下持续运行 600 小时)验证,某批次轴承的存活率高达 99%,完全满足 SEMI 设备的可靠性要求。某晶圆制造工厂采用新巴顿轴承后,设备的非计划停机率从 10% 下降至 1.5%,极大地提高了生产连续性,降低了因停机带来的经济损失。巴顿分子泵轴承——实验室设备的理想选择。江苏C1608X205Y32分子泵轴承

巴顿分子泵轴承——医疗器械中的关键组件。金山区巴顿C1909X205Y24分子泵轴承

新巴顿分子泵轴承采用先进的复合材质体系,主要部件陶瓷球选用氧化锆(ZrO₂)材料,其硬度高达 HRA85,抗弯强度达到 230GPa,相比传统轴承钢材质,耐磨性提升了 3 倍以上。不锈钢套圈采用真空除气处理的 AISI 440C 不锈钢,在 10⁻⁸Pa 的超高真空环境下,水汽释放率为 5×10⁻⁸Pa・m³/s,极大降低了出气对真空系统的影响。某半导体蚀刻设备在采用新巴顿陶瓷轴承后,运行寿命从原本的 8 个月延长至 28 个月,设备因轴承故障导致的停机时间减少了 75%,明显提升了生产效率,同时因材料出气率低,芯片的良品率提高了 4% ,有效降低了生产成本。金山区巴顿C1909X205Y24分子泵轴承

分子泵轴承产品展示
  • 金山区巴顿C1909X205Y24分子泵轴承,分子泵轴承
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