浦东新区巴顿C36STAY40分子泵轴承

分子泵轴承需符合多领域标准要求。在半导体行业，需通过 SEMI S2/S8 认证，确保材料不释放有害气体，新巴顿的轴承经第三方检测，其总挥发性有机物（TVOC）＜50ppb；医疗 CT 设备用轴承则需符合 ISO 13485 标准，公司采用的电解抛光工艺使套圈表面粗糙度 Ra≤0.05μm，满足灭菌要求。对于航空航天领域，轴承需通过 MIL-PRF-32369 认证，其低 outgassing 特性（水汽释放率＜1×10⁻⁶Pa・m³/s）由氦质谱检漏仪严格检测。目前，公司产品已获得 ISO 9001:2015 认证，并通过多家国际设备厂商的工厂审核（如应用材料、Lam Research）。巴顿分子泵轴承：严格测试流程，确保产品可靠性。浦东新区巴顿C36STAY40分子泵轴承

分子泵轴承在 10⁻⁶Pa 以上的超高真空环境中运行时，材料的出气率成为关键指标。新巴顿采用真空除气工艺对轴承组件进行预处理，通过在 120℃真空炉中烘烤 24 小时，使不锈钢套圈的水汽释放率降至 5×10⁻⁸Pa・m³/s 以下。针对真空镀膜设备中铝蒸汽冷凝导致的轴承卡死问题，公司开发的迷宫式密封结构，通过多道曲径密封槽与挡油环配合，将蒸汽侵入量减少 90%。某光学镀膜企业使用该方案后，轴承更换周期从 1 个月延长至 8 个月，大幅降低了因停机导致的产能损失。普陀区巴顿ALP102TPH分子泵轴承标准化定制流程，新巴顿分子泵轴承高效对接机械用户需求。

某 12 英寸晶圆厂的刻蚀机配备 4 台 2000L/s 分子泵，原采用进口钢制轴承，平均每 6 个月因碳化硅颗粒污染导致轴承失效。新巴顿为其定制的 Si₃N₄陶瓷轴承，配合迷宫式密封结构，使轴承寿命延长至 24 个月。该方案的重心在于：陶瓷球的硬度（HRC78-80）高于碳化硅颗粒，可减少磨粒磨损；密封唇口采用氟橡胶材质，在 150℃工况下仍保持弹性，阻止微粒侵入。改造后，该产线的非计划停机率从 8% 降至 1%，年节约维护成本 120 万元。此外，公司为某 MOCVD 设备配套的轴承，通过在保持架中嵌入石墨自润滑块，解决了金属有机化合物沉积导致的轴承卡死问题，使设备连续运行时间突破 10000 小时。

新巴顿自主研发的微量油气润滑系统，将润滑油以 0.03ml/h 的精确流量与压缩空气混合形成油雾，相比传统脂润滑，摩擦功耗降低了 65%，且有效避免了积碳问题的产生。针对半导体行业的洁净需求，推出全氟聚醚（PFPE）润滑脂，其挥发分含量低于 0.08%，满足 ISO 14644-1 Class 5 级洁净标准，即便在 10⁻⁹Pa 的超高真空环境下，依然能保持稳定的润滑性能。某半导体 MOCVD 设备使用该润滑方案后，轴承的维护周期从 3 个月延长至 14 个月，每年可节省设备维护成本约 120 万元，同时减少了因润滑问题导致的设备停机风险。新巴顿分子泵轴承润滑系统长效设计，减少机械维护频次与成本。

高速真空环境下的润滑是分子泵轴承的技术难点。新巴顿采用油气混合润滑技术，通过微量油雾（0.01-0.05ml/h）与压缩空气的精确配比，在轴承滚道表面形成纳米级润滑膜，既避免传统脂润滑的积碳问题，又将摩擦功耗降低 60%。对于半导体行业的洁净室需求，公司开发的全氟聚醚（PFPE）润滑脂，其挥发分低于 0.1%，满足 ISO 14644-1 Class 5 级洁净标准，且在 10⁻⁹Pa 真空度下仍保持稳定润滑状态。该润滑方案使轴承维护周期从传统的 3 个月延长至 12 个月，大幅降低半导体产线的停机成本。数字化孪生技术应用，新巴顿分子泵轴承实现机械预测性维护。普陀区9206VVTMT5分子泵轴承

巴顿分子泵轴承：精密制造行业的佼佼者。浦东新区巴顿C36STAY40分子泵轴承

密封设计优势：多重防护抵御复杂环境，针对真空镀膜等行业中金属蒸汽侵蚀的难题，新巴顿设计了多重密封结构。轴承采用多道曲径迷宫密封与氟橡胶双唇口密封相结合的方式，外唇口以 0.12mm 的过盈量设计，在 10⁻⁸Pa 的真空度下，漏气率低至 1×10⁻¹¹Pa・m³/s ；内唇口配合挡油环，可有效阻挡 98% 的润滑脂泄漏，同时将金属蒸汽的侵入量减少 92% 。在某铝蒸镀设备的实际应用中，使用该密封结构的轴承更换周期从 1.5 个月延长至 10 个月，蒸镀产品的良品率从 88% 提升至 97%，大幅提升了生产效益和产品质量。浦东新区巴顿C36STAY40分子泵轴承