洁净室的管理与维护： 1、根据自净时间确定工作前提前开机时间。 2、净化系统开机运行时，应先开空调送风系统，然后开回风系统和排风系统；停机则相反。 3、净化空调系统应定期进行清洁。 4、空气过滤器应定期监测阻力，粗、中效过滤器应经常清洗、更换。 5、一般应根据室外含尘浓度，在粗、中效过滤器阻力达到初阻力2倍时，进行更换。 6、正常情况，粗效过滤器的滤材每7-15天清洗一次；中效过滤器的滤材每月清洗或更换。 7、高效过滤器当监测阻力达到初阻力2倍时，需进行更换。 无尘室的结构物与隔间之气密性好。江门10000级无尘室施工
复合式无尘室为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。⑵洁净管道(CleanTube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为**适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。⑶并装局部无尘室(CleanSpot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 江门10万级无尘室无尘室（亦称洁净室）：空气悬浮粒子浓度受控的房间。
由于生产的产品各不相同，其原料在物理性和化学性方面的差别也很大，对环境和人的身体产生不同程度的伤害。我们要处理的多数是化学性方面的性质，如有毒原料，挥发性、刺激性、腐蚀性气体原料等。这就要求生产车间的通风工程根据实际情况有着科学的设计。洁净区的风速、尘埃粒子数、菌落数根据空调系统操作规程，定时监测。温湿度通过温湿度传感器对不符合要求的温湿度进行室外监控记录，达到及时调节的目的。以制药厂的三苯精烘包结晶间为例，风量的压强差经过风量的调节使其平衡基本保持恒定，因为这里和工艺走廊相比要求维持一个相对负压，当各级过滤器出现阻挡和栓塞的情况时，可以适当调节送风量变频，改变送风机的频率，增大压头，克服过滤器的栓塞的情况时，可以适当调节送风量变频，改变送风机的频率，增大压头，克服过滤器的栓塞阻力，保证房间的送风量，保证结晶间的压差，从而达到净化的目的。
无尘室环境在线监控系统功能：（1）远程控制：可在控制室通过计算机进行远程实时监控及设定报警，数据储存，报告编辑,打印输出；（2）声光报警：报警系统具有采样流量报警、通讯失败报警、数值超标报警、硬件故障报警等多种报警功能，以声、光等方式进行报警提醒，以保证系统长期安全、稳定地运行；（3）粒子监测功能：通过WCH-R80粒子计数器（、，，内置真空泵）用以监测空气中的粒子数；（4）流量监测功能：监测每一台粒子监控设备的运行流量，并提供流量是否运行正常的状态，如设定点流量+/-10％时提供报警信息反馈；（5）连续监测功能：在无菌环境中工作的粒子计数器可以24小时进行连续的监测工作，并内置流量监控；（6）在线浮游菌检测功能：通过外置气泵收集浮游在空气中的生物性粒子于专门的培养基，经流量传感器测得采样量提供的采样流量可达。实现无菌灌装区内不干扰采样，外置取盘行动方案。（7）温湿度、压差、风速监测功能：监测布置点位的实时温湿度、压差、风速数据。空气由空调箱经风管与无尘车间内的空气过滤器(HEPA)进入无尘室，并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。
21世界，产业的发展，加速了产业结构的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化，尘埃和温湿的变化对商品的完成度亦造成极大的危害，导致品质低下。伴随商品的***要求，环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中用防尘材料及商品都显得格外重要。所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。无尘室日常管理需要注意的问题；深圳万级无尘室安装
无尘室的影响因素是什么？江门10000级无尘室施工
高 效过滤器的安装密封是空气净化的关键，也是长期以来的一个难点。过滤器安装后的检漏是很难通过的一项检验，许多洁净室的不成功就是因为密封没做好，即使洁净度达标，其捡漏也未必达标。这在其他洁净室可能不是大问题，但在制药行业的生物洁净室泄漏就意味着生菌，所以密封对生物洁净室来说是关键中的关键。 目前常用的密封方式有： 负压密封：效果很好。FFU是其典型**。 机械压紧：效果一般。高 效送风口采用较多。 液槽密封：效果好，但施工难度较大。往往因施工影响其密封效果。江门10000级无尘室施工
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