中型设备广泛应用于半导体晶圆制造、光伏电池镀膜、大型真空炉等工业场景，转子直径通常为150~300mm，转速可达3000~6000r/min。其抽气速率覆盖500~5000m³/h，典型应用包括：半导体刻蚀工艺中的真空系统，需快速将反应腔抽至10⁻³Pa，配套的气冷罗茨泵抽气速率约1000~3000m³/h；光伏行业的PECVD（等离子体增强化学气相沉积）设备，为实现大面积镀膜的效率，气冷罗茨泵抽气速率多为3000~5000m³/h。大型设备主要用于航天模拟舱、核工业真空系统、大型复合材料成型设备等超大型真空场景，转子直径超过300mm，转速通常为1500~3000r/min（受限于转子惯性与冷却压力）。淄博干式真空是以科研、生产、销售为一体的真空设备专业生产厂家。西藏气冷罗茨真空泵厂家
控制系统是气冷罗茨真空泵实现自动化运行和安全保护的重点，通过实时监测与动态调节，保证设备在较好工况下稳定工作。控制系统以PLC控制器（如西门子S7-1200）为重点，搭配触摸屏（人机交互界面）、传感器组（温度、压力、流量）和执行器（电磁阀、调节阀）。传感器包括：泵体温度传感器（Pt100，精度±0.5℃）、入口真空度传感器（电容式真空计，测量范围1×10⁵-1×10⁻²Pa）、冷却气体流量传感器（涡街流量计，精度±2%）、电机电流传感器（霍尔传感器，量程0-50A）。执行器包括冷却气体比例调节阀（调节精度±3%）、电机变频驱动器（调速精度±0.5%）和紧急停机电磁阀（响应时间≤0.1s）。系统支持RS485或Profinet通信，可接入工厂DCS系统，实现远程监控。西藏气冷罗茨真空泵厂家淄博干式真空为用户提供更优良的产品体验。
气冷罗茨真空泵是一种基于容积式气体传输原理的真空泵，其重点结构由两个同步旋转的“8”字形转子构成，通过转子间及转子与泵壳内壁的精密间隙实现气体输送。与传统罗茨真空泵不同，气冷罗茨真空泵在设计上引入了独特的气体冷却系统，通过将冷却气体（通常为低温空气或经冷却器处理的循环气体）直接导入泵腔，有效控制转子因高速旋转和气体压缩产生的温升，从而允许在更高压差下稳定运行。具体工作过程如下：被抽气体从进气口垂直吸入泵腔，随着转子旋转，气体被封闭在由转子和泵壳形成的空间内。
其结构更紧凑，冷却系统只需连接冷却器和回流管路，维护成本降低30%以上。例如，莱宝RUVACWA/WAU系列气冷罗茨泵采用集成式旁通阀和简化轴封设计，保养间隔延长至传统泵的2倍。普通罗茨真空泵的极限压力通常在1-10Pa，但需前级泵将入口压力降至6000Pa以下才能启动，且在高压段（>1000Pa）抽速急剧下降。气冷罗茨真空泵的直排大气极限压力约为1×10^4Pa，虽略高于普通泵，但其在高压段（10^4-10^5Pa）的抽速曲线更平坦，可快速完成粗抽阶段。例如，ZJQ-1200型气冷罗茨泵在88kPa压差下仍能保持1200L/s的稳定抽速，而普通罗茨泵在此压力下可能因过热停机。这种特性使其在化工反应釜抽空、食品包装等需要快速建立中真空的场景中优势明显。淄博干式真空不断改善和改进质量管理体系，牢固树立“质量是企业生命”的观念。
气冷罗茨真空泵的极限真空度受结构设计、气冷系统效率、前级泵性能等因素影响，其典型范围为1×10⁻²Pa至1Pa（约7.5×10⁻⁵Torr至7.5×10⁻³Torr）。具体可分为以下场景：单级气冷罗茨泵：配合前级泵（如旋片泵、干式螺杆泵）时，极限真空度通常在1×10⁻¹Pa至1Pa之间，适用于中高真空需求场景（如真空干燥、包装）。多级气冷罗茨泵：通过串联2-3级气冷罗茨单元，配合高性能前级泵（如涡旋泵），极限真空度可低至1×10⁻²Pa至5×10⁻²Pa，满足高真空应用（如半导体薄膜沉积）。特殊定制型号：针对航天、核工业等极端需求，采用较低间隙转子（间隙≤5μm）和高效气冷系统的气冷罗茨泵，极限真空度可突破1×10⁻³Pa，但需配合超高真空前级泵（如扩散泵）使用。淄博干式真空拥有完善的管理体系，统一对品质信息的共享、指导、监督、监控进行管理。海南大气量罗茨真空泵厂家
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转子旋转至270°-360°时，封闭空间容积达到较小，压缩后的气体压力高于排气口外部压力（通常为大气压或前级泵入口压力），气体被完全排出泵腔。部分排出的气体经冷却器降温后（温度从80-120℃降至30-40℃），通过回流管路再次送入泵腔，形成冷却循环，既提高冷却效率，又避免气体浪费。普通罗茨真空泵因散热不足，在入口压力与排气压力差（即“压差”）超过50kPa时易因过热导致转子膨胀、间隙消失，引发机械故障，因此必须依赖前级泵（如旋片泵）将入口压力降至6000Pa以下才能启动。而气冷罗茨真空泵通过气冷系统的实时散热，可承受高达90kPa的压差，甚至能直接从大气压（101kPa）启动并向大气排气（即“直排大气”）。西藏气冷罗茨真空泵厂家
