常用的无氢DLC涂层制备方法:1、电弧离子镀。电弧离子镀是由Mattox于1964年首先公开了所发明的技术。它是在蒸发镀膜的同时,用来源于等离子体的离子轰击膜层。在上世纪70年代诸多电弧离子镀技术相继实用化,主要用于制备刀具涂层。电弧离子镀技术属于冷场致弧光放电,制备过程如下:工件经清洗入炉后抽真空。当真空度达到6X10-3Pa后,开启烘烤加热电源,对工件进行加热。达到一定温度后,通入氨气,真空度降至(3~5)×10-1Pa。接通工件偏压电源,电压调至100~200V。此时产生辉光放电,从阴极弧源表面发射出碳原子和石墨原子。在工件负偏压的作用下,沉积到工件形成DLC底层,以提高类金刚石涂层的附着力。2、离子辅助沉积。离子辅助沉积技术英文缩写IAD,是一种真空蒸发为基础的辅助沉积方法。是借助少量高能离子及大量高能中子的连续作用,将金属或金属化合物蒸气沉积在工件的一种表面处理过程。真空蒸发镀膜过程中沉积的原子或者分子在基体表面的有限迁移率形成柱状的薄膜结构,所以在沉积的过程中对生长的薄膜利用离子源轰击,将离子的动量传给沉积的原子或分子,使沉积的分子或者原子的迁移率得到提高。DLC涂层适用于极端磨损情况和高相对速度,甚至是在无润滑运转的条件下使用。湛江DLC薄膜DLC涂层咨询
浅析制备工艺哪些参数影响DLC涂层摩擦系数?掺杂元素.经过掺杂金属或非金属元素,可制备出具有优异强韧化和膜基结合力、低突冲特性以及低环境敏感性集一体的DLC涂层。元素掺杂可以改进DLC膜的突冲学功能,但要关注元素掺杂量。一般来说,元素掺杂都会有一个适合掺杂量规模。例如,掺杂少量N元素可明显下降各种湿度环境下DLC涂层的突冲与磨损,但掺杂很多N元素会使得C含量大幅度下降以及薄膜中碳链或团簇被更多的N原子中断,减小无定形碳对碳膜突冲学功能的贡献,突冲功能变差。基体资料.采用PECVD技术在聚碳酸酯(PC)树脂片上堆积的DLC涂层突冲因数会下降70%左右,耐磨性有极大的提高;在玻璃上制备的DLC膜突冲磨损功能较差,可能是因为在界面处不能形成过渡反响层。基体资料的外表粗糙度对DLC膜的突冲学功能也有很大影响。作为一种无定型结构,DLC涂层成长时十分接近基体的外表轮廓或者粗糙度。如果是在相似高度抛光的蓝宝石或者硅片这种原子级润滑外表上成长,那么DLC膜的外表也会十分润滑,然后削减机械互锁相应。深圳低温DLC涂层DLC涂层的摩擦系数很低,不易与工件材料发生粘结。
DLC涂层有哪些性能优势?1、良好的热稳定性:由于DLC属于亚稳态的材料,热稳定性差是限制DLC膜应用的一个重要因素,在300℃以上退火时即出现了sp3键向sp2键转变,为此,人们进行了大量的工作试图提高其热稳定性。有研究发现:Si的加入可以明显改善DLC膜的热稳定性,含20at%Si的DLC膜在740℃退火时才出现sp3键向sp2键转变。同样,金属(如Ti、W.Cr)的掺入也可提高DLC膜的热稳定性。热稳定性是指材料的耐热性,表现为物体在温度的影响下的形变能力。形变越小,稳定性越高。反映物质在一定条件下发生化学反应的难易程度。2、良好的耐腐蚀性:纯DLC膜具有优异的耐蚀性,各类酸、碱甚至王水都很难侵蚀它。但掺杂有其他元素的DLC膜的耐蚀性有所下降,这是由于掺杂的元素首先被侵蚀,从而破坏了膜的连续性所致。无氢DLC涂层纯度高,含杂质元素少,因此具有良好的耐腐蚀性。耐腐蚀性是指涂层材料抵抗周围介质腐蚀破坏作用的能力,由材料的成分、化学性能、组织形态等因素决定。
传统的DLC涂层通常不到5微米,很容易被刮擦掉,远远达不到发动机的实际使用寿命。无论是在什么样的零件上使用,一般来说,在满足零件尺寸要求的前提下,涂层的厚度,尤其是DLC涂层的厚度往往是越厚越好,这样零件的耐磨性会相应提高。然而,一旦涂层的厚度增加,尤其是DLC层的厚度增加,就会导其内应力增大,影响涂层和基材结合力,导致涂层与基材剥离,这就对涂层的使用寿命和效率产生影响。因此,厚度及其表现出的耐磨性一直是应用上的一个瓶颈。但是这一问题随着涂层加工业的发展已经得到了克服,可以说,dlc涂层是一种性能良好的有着广阔应用前景及发展前景的涂层。由于含有金刚石成分,DLC涂层具有很多优良的特性。
浅谈DLC涂层的摩擦性能。DLC膜不但具有优异的耐磨性,而且具有很低的摩擦系数,一般低于0.2,是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC的摩擦系数随制备工艺的不同和膜中成分的变化而变化,其摩擦系数比较低可达0.005。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数,但加入H能提高润滑作用,环境也对摩擦系数有一定的影响。但总的来说,DLC膜与传统的硬质薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦系数方面具有明显优势,这些传统硬质薄膜的摩擦系数都在0.4以上。因此,DLC膜有可能在许多摩擦学领域替代这些传统硬膜。DLC涂层上世纪70年代被命名为类金刚石薄膜。低温DLC涂层视频
DLC涂层可以有效提高产品的品质。湛江DLC薄膜DLC涂层咨询
DLC涂层是在电离和分解的碳或烃类物质以通常为10-300eV的能量降落在基底表面时形成的。DLC膜具有优异的机械(高硬度)、光学(高光学带隙)、电学(高电阻率)、化学(惰性)和摩擦学(低摩擦和磨损系数)性能,并可在低衬底温度(~200°C)下沉积。DLC薄膜通常是非晶的(即没有占主导地位的晶格结构),由sp2(石墨)和sp3(金刚石)相的混合物组成。膜性能的控制强烈地依赖于所选择的沉积技术(PVD溅射或蒸发和Pa-CVD)的通量特性、膜内的金属和氢含量、sp2:sp3比、衬底偏置电压、离子能量和离子密度以及衬底温度。DLC膜对钢的摩擦系数一般在0.05-0.20之间,而膜硬度和sp3含量可以根据具体应用而定制。湛江DLC薄膜DLC涂层咨询
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