DLC(金刚石膜)涂层设备主要是(集)直流磁控溅射,中频溅射和电弧离子蒸腾三种技能交融一体,结合线性离化源及脉冲偏压镀膜可使沉积颗粒细化膜层各项功能进步,能在金属制品及非金属外表镀制合金膜、化合物膜、多层复合膜等。DLC涂层设备技能作为一种产生特定膜层的技能,在实际生产日子中有着普遍的使用。DLC涂层设备技能有三种方式,即蒸腾镀膜、溅射镀膜和离子镀。DLC涂层设备是在中间设置真空室,在真空室的左右两侧设置左右大门,蒸腾DLC涂层设备而在其间配装蒸腾设备和磁控设备,DLC镀膜设备可在该双门上预留该两设备的接口,以备需求时换装。DLC涂层具备质量稳定,于基体结合力好,耐磨性好,摩擦系数低,耐腐浊性好等综合优良性能。普遍应用于发动机零部件,有色金属切削刀具,有色金属及不锈钢等成型冲压磨具,滑动密封部件,半导体行业模具,注塑模具,防治行业等。类金刚石涂层的物理Q相沉积法。中山DLC类金刚石加工技术
DLC涂层作为一种新型结构材料和功能材料,其结构、性能参数检测较传统镀铬及氮化处理复杂,一般采用光谱仪、光电子能谱仪进行涂层结构分析(碳以sp3和sp2键的形式存在);采用干涉显微镜测量涂层厚度(3~20μm);采用涂层附着力划痕试验机测量结合强度(50N以上);采用摩擦磨损实验机测量摩擦系数(0.2以下);采用显微硬度计测量涂层硬度(HV0.025,151500~2800),其涂层硬度测量值与涂层的厚度、负载及基体的硬度有关,在测试硬度时,涂层的厚度往往达不到测试时所加负载需要的比较低厚度要求,测试数据均为涂层/基体硬度。江门汽车油针类金刚石价格硬质合金刀具的类金刚石涂层的研究进展。
精密冲压模具经纳米PVD涂层涂覆后表面可拥有极低的摩擦系数,减少加工受力。模具经纳米PVD涂层涂覆后表面硬度可提高5到10倍,可大幅减少表面磨耗,特別是用于高精密加工时可获得非常优异的表面质量。冷冲成形及拉伸模具经纳米涂层涂覆后可明显降低摩擦力,明显减少加工中产生的刮痕及磨耗。因此可增加寿命,大幅降低生产成本。优点:摩擦系数降低,减小加工受力提高表面硬度,很大程度延长模具寿命防止产品拉毛、拉伤,提升产品质量省去卸模、拋光再装模的烦恼,提高效率。
DLC类金刚石涂层工艺流程:1、工件基体处理。这一步是比较重要的,将工件抛光到小于Ra0.2um,涂覆处理后的工件才可得到满意的表面质量,这对成形一些具有光学性能要求的零件是非常重要的,类似成形光学镜头和成形LED零件等。操作的时候需要注意基体表面处理不能留有死角,这影响到膜层是否能与基体牢固地结合。2、充分清洗。将要涂覆的工件进行充分清洗,涂覆的母材、质量水平和几何形状决定了清洗的工艺。工件装在设定的夹具上,夹具是在使腔体装载尺寸优化和保证涂覆均匀的基础上设计的。清洗方法为真空室抽真空至10-6托(高真空)来排除系统中的任何污染物,真空室中通入惰性气体并使其离子化,导致产生辉光放电(等离子体),这是气体清洗阶段使零件做好金属沉淀准备。3、金属沉淀。在用于沉淀的固体金属上(指靶材)加载高电流、低电压电弧,金属被蒸发并且瞬间离子化,属离子在高能量的作用下通过惰性气体或活性气体进入腔体并沉淀在工件上。在金属沉淀过程中蒸发了的金属(靶材)保持不变。在ji活的沉淀过程中,改变气体的体积或种类将会改变膜层的性质,形成像碳化物、氮化物或氧化物的陶瓷。同样,通过改变靶材的材质也可以产生不同的膜层。类金刚石碳是一种亚稳态的非晶态材料,其机械、电学、光学和摩擦学特性类似于金刚石。
近年来,DLC涂层在产业领域得到了越来越普遍的技术应用,尤其是自20世纪90年代中期以来,作为汽车零部件保护性涂层得到快速发展。DLC涂层摩擦性能也是其优点,它摩擦系数很低,是一种优异的表面抗磨损改性膜5。DLC涂层还有一个特点,就是它的耐腐蚀性,DLC涂层的耐腐蚀非常好,像这类化学涂层,在应用中存在很大的可能接触一些酸性物料,所以它的耐腐蚀性使它的地位,在化学工业中,坚不可摧。DLC不但具有高硬度(Hv3500),还具有极低的摩擦系数(~0.08),使刀具在切削过程中很大程度上降低了由于摩擦产生的热量,增强了排削性能,从而使刀具平均使用寿命提高3倍,被加工亚克力表面质量远好于不涂层或其它涂层刀具。类金刚石涂层在活塞环上的应用。江门汽车油针类金刚石价格
类金刚石膜是一种与金刚石膜性能相似的新型薄膜材料,它具有较高的硬度,良好的热传导率,极低的摩擦系数。中山DLC类金刚石加工技术
DLC涂层的优点:良好的抗粘结性。dlc膜具有很好的抗粘结性,特别是对有色金属(如铜、铝、锌等),对塑料、橡胶、陶瓷等也有抗粘结性。DLC膜表面一般较光洁,对基材的表面光洁度没有太大的影响,但随着膜厚的增加,表面光洁度会下降。不同的沉积方法所得到的dlc膜表面光洁度也是不同的,采用离子源技术沉积的DLC膜表面质量明显优于电弧离子镀。应用广。dlc涂层拥有多种多样的特性,这也为有着功能明确的多功能表面的新产品的开发创造了条件。dlc涂层优良的涂层性能使其得以实现产业化生产并得到普遍的应用,这些发展激发了很多科研院所和公司投资进一步的研究并带动了整个产业向将来迈进了一步。dlc涂层具有独特的高硬度和低摩擦系数,并且具有极强地不与金属材料粘结的性能。因此,这种涂层技术成为汽车行业应用的理想选择。dlc涂层的工业化生产开始于上世纪末和本世纪初,和普通的应用于刀具/模具上的硬质涂层(如TiN,TiAIN,CrN,TiCN等)相比是一种崭新的涂层技术。中山DLC类金刚石加工技术
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