常用的无氢DLC涂层制备方法：1、电弧离子镀。电弧离子镀是由Mattox于1964年首先公开了所发明的技术。它是在蒸发镀膜的同时，用来源于等离子体的离子轰击膜层。在上世纪70年代诸多电弧离子镀技术相继实用化，主要用于制备刀具涂层。电弧离子镀技术属于冷场致弧光放电，制备过程如下：工件经清洗入炉后抽真空。当真空度达到6X10-3Pa后，开启烘烤加热电源，对工件进行加热。达到一定温度后，通入氨气，真空度降至（3～5）×10-1Pa。接通工件偏压电源，电压调至100~200V。此时产生辉光放电，从阴极弧源表面发射出碳原子和石墨原子。在工件负偏压的作用下，沉积到工件形成DLC底层，以提高类金刚石涂层的附着力。2、离子辅助沉积。离子辅助沉积技术英文缩写IAD，是一种真空蒸发为基础的辅助沉积方法。是借助少量高能离子及大量高能中子的连续作用，将金属或金属化合物蒸气沉积在工件的一种表面处理过程。真空蒸发镀膜过程中沉积的原子或者分子在基体表面的有限迁移率形成柱状的薄膜结构，所以在沉积的过程中对生长的薄膜利用离子源轰击，将离子的动量传给沉积的原子或分子，使沉积的分子或者原子的迁移率得到提高。DLC涂层中碳的存在形式有金刚石、石墨、富勒烯、碳纳米管和石墨烯等。汕头3C电子产品DLCDLC涂层技术
dlc涂层的力学性能。a.硬度及弹性模量。不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大，用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜[10]，广州有色金属研究院用阴极电弧法制备的DLC膜比较高硬度可达50GPa以上，而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa[11]。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响，Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量，虽低于金刚石(110GPa)，但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。b.内应力和结合强度。薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命，影响薄膜性能的两个重要因素，内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱，甚至脱落，所以制备的DLC膜比较好具有适中的压应力和较高的结合强度。大部分研究表明，直接在基体上沉积的DLC膜的膜/基结合强度一般比较低，广州有色金属研究院通过采用Ti/TiN/TiCN/TiC中间梯度过渡层的方法提高DLC膜与基体的结合强度，在模具钢上沉积DLC膜的结合强度达44N-74N[12]，制备的膜导总体厚度可达5um。珠三角PVDDLC涂层技术DLC涂层上世纪70年代被命名为类金刚石薄膜。
dlc涂层的缺点。传统的DLC涂层通常不到5微米，很容易被刮擦掉，远远达不到发动机的实际使用寿命。无论是在什么样的零件上使用，一般来说，在满足零件尺寸要求的前提下，涂层的厚度，尤其是DLC涂层的厚度往往是越厚越好，这样零件的耐磨性会相应提高。然而，一旦涂层的厚度增加，尤其是DLC层的厚度增加，就会导其内应力增大，影响涂层和基材结合力，导致涂层与基材剥离，这就对涂层的使用寿命和效率产生影响。因此，厚度及其表现出的耐磨性一直是应用上的一个瓶颈。但是这一问题随着涂层加工业的发展已经得到了克服，可以说，dlc涂层是一种性能良好的有着广阔应用前景及发展前景的涂层。
硬质合金刀具涂层方法近半个世纪以来，为提升刀具性能刀具表面涂层技术已成为主流，镀层就像刀具的盔甲一样，具有强大的防护、耐酸、耐氧化抗磨耗等特性，能够提高刀具表面硬度与热稳定係数，并降低摩擦係数以提升切削速度，从而提高加工效率也提升刀具寿命。刀具涂层技术可分为CVD（化学）与PVD（物理）两大类：CVDCVD为化学气相沉积（chemicalvapordeposition），利用生产纯度高与效能佳的固态材料化学技术，被广泛应用在硬质合金可转为刀具的表面处理，像是半导体产业会使用此技术来成长薄膜。CVD是将反应源以气体形式通入反应腔中，经由氧化、还原与基板反应进行化学的反应，进而生成物藉由内扩散作用而沉积至基板表面上。而反应过程中也有可能会产生不同的副产品，但大多会随著气流带走，并不会留在反应腔中。CVD技术主要用于硬质和金车削类的刀具涂层，适合用于中型、重型切削的高速加工，且比较起来CVD设备简单、工艺成熟，沉积物种类多，速率高易控制，有高度的渗透性与均匀性，能获得不同组织的多层涂层且厚薄均匀，重要的是工艺成本低，适合大量生产。浅谈DLC涂层在汽车发动机上的大应用。
DLC涂层的应用方向有哪些？(4)刀片上的应用现在DLC也在各种刀片如剪刀、刮胡刀等上的应用。DLC膜减小了刀片与皮肤的摩擦，改善了刀片的性能，延长了使用寿命。(5)关键零部件上的应用DLC膜在许多关键零部件也能发挥其优良的性能，如在制成式斯特林制冷机的活塞上的应用利用其低的摩擦系数，降低摩擦力，提高耐磨性，达到无油润滑及使用寿命要求。在缝纫机配件-旋梭上镀DLC膜替代原来的电镀硬铬处理，不但避免了污染环境的问题，而且，明显提高工件表面硬度及耐磨性，使用寿命提高了10倍以上，同时，也因表面膜层摩擦系数降低后，使机器运行过程中产生的噪音变小。(6)其它应用DLC膜在工模具上的应用其它例子非常多，如：粉末冶金成型模具、塑胶成型模具、引线框弯曲模具、玻璃片成型模具、镁合金加工模具、在轴承等。DLC涂层的基本概念和特点。广东铣刀DLCDLC涂层价格
DLC涂层的活塞环可以在无润滑油的干态摩擦条件下起到良好的润滑和耐磨减磨的作用。汕头3C电子产品DLCDLC涂层技术
制备较厚无氢DLC涂层的方法:生产无氢DLC涂层的技术还有待发展，生产超过5微米技术已经比较少见，原因是由于金刚石涂层的硬度高，与基底的结合力问题不好解决，另外沉积过程中金刚石涂层本身的内应力也非常大，所以无氢DLC涂层工艺的难度很高。从生产设备的角度来看，如果需要沉积厚度超过50微米的涂层，涂层本身沉积速率比较低的情况下，需要很长的沉积时间，所以弧源的设计和供气方式都有很高的设计要求。德国研究所设计了一种石墨柱弧的弧源，利用高能量的激光系统，轰击石墨柱弧的表面，在没有离子源辅助沉积的情况下，生产出了厚度超过50微米的纯碳无氢DLC涂层，主要应用在汽车零部件方面，高性能汽车的曲轴、活塞、活塞环、气门顶杆等。该制备方法需要长期在复杂的摩擦条件下可靠工作，需要很高的耐磨和润滑性能，但质量优异，在超过30年的时间里可以免维护。汕头3C电子产品DLCDLC涂层技术
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