广州传感器MEMS微纳加工技术能力

宁波启朴芯微系统技术有限公司（以下简称“启朴芯微”）是一家专注于微机电系统（MEMS）技术研发与产业化的****，成立于西北工业大学宁波研究院的孵化体系中，并在短时间内凭借技术创新与产业化能力快速崛起.公司聚焦MEMS器件设计、工艺开发及代工服务，拥有自主可控的8英寸MEMS工艺产线，兼容6/4英寸晶圆级加工，覆盖光刻、深硅刻蚀、薄膜沉积、晶圆键合、激光切割等**工艺能力，为行业提供从结构设计到封装测试的全链条服务36.其技术团队在MEMS领域经验丰富，尤其在光学类与SOI（绝缘体上硅）特色工艺方面具备***优势，例如通过原子层沉积（ALD）技术实现高精度薄膜制备，提升器件性能与可靠性.作为一个兼具产品开发能力和技术加工能力的科技型企业，启朴芯微团队精益求精。广州传感器MEMS微纳加工技术能力

8英寸MEMS研发中试ODM产线，配套激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机等一整套前沿技术设备，由此，启朴芯微具备为客户提供质量产品服务的能力，百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，赋予启朴芯微强大的**加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工，更充分支持实现国内MEMS技术企业、科研院所和高校的结构设计、工艺开发、流片代工和测试应用需求！宁波启朴芯微系统技术有限公司专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案，拥有自主可控的宁波i首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工！芜湖前沿领域MEMS微纳加工MEMS结构设计、工艺开发、流片代工、测试应用等中小规模服务,启朴芯微技术稳定,服务质量优异。

宁波启朴芯微系统技术有限公司成立于2022年9月，是一家专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案的科技研发型企业，自主可控国内首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，具备光刻、深硅刻蚀、键合、PVD、ALD、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、CMP、激光隐形切割、SEM、FIB等加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工！作为一个兼具产品开发能力和技术加工能力的科技型企业，本着“斫雕为朴，芯程再启”的企业宗旨，启朴芯微将展示在MEMS产品设计、晶圆加工、工艺检验等不同环节的技术服务能力，包括但不限于既往的光刻、深硅刻蚀、键合、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、激光隐形切割、光谱椭偏测试、傅里叶红外光谱测试、探针台阶测试等服务方案和应用成果！

在产业化方面，启朴芯微已实现多项突破！2023年，公司作为西北工业大学宁波研究院孵化的智能传感芯片团队企业，成功入库宁波市科技型中小企业，并斩获千万元级订单，彰显其技术成果转化的高效性4！2024年，公司被正式认定为****，进一步巩固了其在MEMS领域的行业地位1！此外，启朴芯微积极参与行业生态建设，例如在2024年深圳国际传感器展会上展示其光谱滤波芯片、成像系统解决方案及一站式代工服务，与国际巨头同台竞技，凸显技术实力与市场竞争力！精耕细耘，以业为本，启朴芯微为广大客户提供更加出色的传感技术产品和服务，助力实现MEMS产品价值。

启朴芯微团队自主研发的消高反光特种视觉检测系统，是科技创新的典范！它的研发过程充满了挑战和机遇，团队成员们凭借着坚定的信念和不懈的努力，成功突破了技术瓶颈！这一系统的应用，不*提高了工业制造品的检测效率，还推动了我国在工业检测领域的技术进步！同时，它也为其他领域的技术创新提供了有益的借鉴！在未来，相信这一系统将在更多的领域得到应用，为我国科技发展做出更大的贡献！走进宁波启朴芯微的实验区，仿佛置身于一个科技的神话世界！先进的设备闪烁着科技的光芒，科研人员们忙碌的身影充满了活力和激情！8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线在这里高效运转，每一个环节都充满了科技的力量！**研发室里的创新成果，光学实验室里的深入研究，百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室的严格管理，都展示了团队的专业和实力！这里的一切，都让人感受到了科技的魅力和无限可能！以B2B模式携手合作伙伴，启朴芯微支持高校、科研院所、相关行业企业的技术开发加速和自主产品生产！陕西智能制造MEMS微纳加工技术能力

公司形成了具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统,成果丰硕！广州传感器MEMS微纳加工技术能力

启朴芯微拥有先进的8英寸MEMS研发与微纳加工服务中试线，实验区内设置有激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机、电子束蒸镀仪、键合机、湿法腐蚀系统、磁控溅射仪、原子层沉积设备、化学机械抛光机、自动涂胶显影系统等整套技术设备，配套百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室，可以全支持8英寸（兼容4/6英寸）晶圆级加工，生产过程中严格遵守企业内部生产定标准与客户方需求，遵循生产员与质检员登记对接制度，针对不同业务进度进行检验工作！广州传感器MEMS微纳加工技术能力