浙江电镀设备供应商

电镀设备如何分类？

根据工艺类型和应用场景的不同，可分为以下几大类：

一、传统湿法电镀设备

1. 前处理设备

清洗设备

酸洗/碱洗槽

电解脱脂设备

2.电镀槽

镀槽主体：耐酸碱材质的槽体

加热/冷却系统：控制电镀液温度

搅拌装置：机械搅拌、空气搅拌或磁力搅拌

3.电源与控制系统

整流器：提供直流电源，控制电流密度和电压

自动化控制：PLC或触摸屏系统

4. 后处理设备

水洗槽：

烘干设备

抛光设备

5. 环保与辅助设备

废水处理系统：中和池、沉淀池、膜过滤设备

废气处理设备：酸雾吸收塔、活性炭吸附装置

二、其他电镀设备

1. 连续电镀设备

滚镀机：用于小件批量电镀（如螺丝、纽扣）

挂镀线：自动悬挂输送系统，适合大件（如汽车零件）连续电镀

2. 选择性电镀设备

笔式电镀工具

3. 化学镀设备

无电解镀槽：无需外接电源，通过化学反应沉积金属（如化学镀镍、镀铜）

三、设备选型与应用场景

电镀类型                                              典型设备                                                    应用领域                      装饰性电镀 （镀铬、镀金）     挂镀线、抛光机、真空镀膜机                      珠宝、卫浴五金、汽车装饰件        功能性电镀（镀镍、镀锌）      滚镀机、脉冲电源、废水处理系统      机械零件防腐、电子元件导电层            高精度电镀                               水平电镀线、化学镀设备               印刷电路板微孔金属化                           耐磨/耐高温镀层                            PVD/CVD设备、离子镀系统           刀具涂层、航空发动机叶片 电镀废水的重金属回收设备采用离子交换树脂，高效吸附镍、铜离子，实现资源循环利用。浙江电镀设备供应商

半导体滚镀设备

是一种于半导体制造中金属化工艺的精密设备，主要用于在半导体晶圆、芯片或微型元件表面沉积均匀的金属镀层。其在于通过可控的电化学或化学镀工艺，实现高精度、高一致性的金属覆盖，满足集成电路封装、先进封装及微机电系统等领域的特定需求

与传统滚镀不同，半导体滚镀更注重工艺洁净度、镀层精度及与半导体材料的兼容性。

二、功能

1.金属互连：在晶圆上形成铜导线。

2.凸块制备：沉积锡、铜、金等材料，用于芯片与基板的电气连接。

3.阻挡层/种子层镀覆：镀钛、钽等材料，防止金属扩散并增强附着力。

三、设备组成

1.电镀槽：

材质：耐腐蚀材料，避免污染镀液

镀液循环系统：维持镀液成分均匀，过滤颗粒杂质

2.旋转载具：

晶圆固定装置：真空吸附或机械夹持，确保晶圆平稳旋转

转速控制：通过伺服电机调节转速，优化镀层均匀性

3.阳极系统：

可溶性/不溶性阳极：铜、铂等材料，依镀层需求选择

阳极位置调节：控制电场分布，减少边缘效应

4.供液与喷淋系统：

多点喷淋头：均匀分配镀液至晶圆表面，避免气泡滞留

流量控制：精确调节镀液流速，匹配不同工艺需求

5.控制系统：

PLC/工控机：集成温度、pH值、电流密度等参数监测与反馈。

配方管理：存储不同镀层的工艺参数 广西电镀设备生产线槽体设备采用 PVC、PP 等耐酸碱材料，根据电解液特性定制，有效抵御盐酸、铬酸等药液腐蚀。

电镀设备是通过电解反应在物体表面沉积金属层的装置，用于形成保护性或功能性涂层。

其系统包括：

电解电源：提供0-24V直流电，电流可达数千安培，适配不同镀种需求；

电解槽：耐腐蚀材质（如PP/PVDF），双层防漏设计，容积0.5-10m³；

电极系统：阳极采用可溶性金属或不溶性钛篮，阴极挂具定制设计，确保接触电阻＜0.1Ω；

控制系统：精细温控（±1℃）、pH监测（±0.1）及镀层厚度管理。

设备分类：

挂镀线：精密件加工，厚度均匀性±5%；

滚镀系统：小件批量处理，效率3-8㎡/h；

连续电镀线：带材/线材高速生产，产能达30㎡/h；

选择性电镀：数控喷射，局部镀层精度±3%。

全自动磷化线工作流程

1.前处理：晶圆清洗、去氧化层、活化表面。

2.装载：将晶圆固定于旋转载具，浸入镀液。

3.电镀：

施加电流，金属离子在晶圆表面还原沉积。

旋转载具确保镀液流动均匀，消除厚度差异。

4.后处理：镀层退火、清洗、干燥。

技术特点

1.高均匀性：

旋转+喷淋设计减少“边缘增厚”现象，镀层均匀性达±5%以内。

2.精密控制：电流密度精度：±1 mA/cm²；温度波动：±0.5℃。

3.洁净度保障：设备内建HEPA过滤系统，满足Class 1000以下洁净环境。

4.高效生产：支持多片晶圆同时处理（如6片/批次），UPH（每小时产量）可达50~100片。

应用场景

1.先进封装：2.5D/3D IC的TSV镀铜、Fan-Out封装中的RDL金属化。

2.功率器件：IGBT、MOSFET背面金属化（镀银、镀镍）。

3.传感器与MEMS：微结构表面镀金，提升电气性能与可靠性。 电镀设备中的挂镀装置，通过挂具悬挂工件，适用于汽车零件等中大件，可实现镀层均匀附着。

如何选择适合的电镀周边设备？

需结合工艺需求、生产规模、预算及环保要求，以下建议：

一、明确需求

1.工艺类型根据镀层种类选择设备，例如镀铬需耐高温镀槽，镀金需高精度整流器。前处理/后处理流程决定是否需要超声波清洗机、甩干机等配。

2.生产规模中小批量：优先选择模块化设备（如可扩展的镀槽、单机过滤机），降低初期投入。大规模量产：考虑自动化生产线（如机器人上下料、PLC集中控制系统），提升效率。

3.镀层质量要求高精度产品（如电子元件）：需配备在线检测设备（如X射线测厚仪）、恒温恒湿控制系统。普通五金件：可选基础检测设备（如磁性测厚仪）。

二、关键设备选型要点

1.镀槽材质：酸性选聚丙烯（PP），高温强碱选聚四氟乙烯（PTFE）。尺寸：根据工件大小和产能计算槽体容积，预留10%-20%余量避免溢出。

2.整流器优先选择高频开关电源（节能30%以上），输出电流需覆盖最大负载的120%。复杂工艺（如脉冲电镀）需配置可编程整流器。

3.过滤系统精密电镀（如PCB）：采用多级过滤（滤芯+超滤膜），精度≤1μm。常规电镀：选用袋式过滤机，精度5-25μm即可。

4.环保设备废气处理：酸雾量大时选喷淋塔+活性炭吸附废水处理：重金属废水需配备离子交换或反渗透（RO）系统 无氰电镀设备配套活化剂与络合剂，替代传统含氰工艺，在保障镀层质量的同时提升安全性。湖北随州实验型电镀设备

电镀槽体的防腐内衬采用聚四氟乙烯（PTFE），耐受强酸碱与高温，延长设备使用寿命 30% 以上。浙江电镀设备供应商

超声波清洗设备在精密电镀中的应用：

超声波清洗机通过高频振动提升前处理效果。设备采用28kHz与40kHz双频组合技术，既能去除大面积油污，又能深入盲孔和微缝隙清洁。精密模具厂在镀前处理中引入超声波清洗，使镀层结合力从3N/cm提升至5N/cm，漏镀率下降70%。设备配备循环过滤系统，将清洗液中固体颗粒控制在5μm以下，延长药液使用寿命。在贵金属电镀中，超声波辅助化学除油可减少50%的氢氧化钠用量，降低废水处理负荷。通过优化清洗时间和功率参数，该设备适用于手机外壳、航空紧固件等高精度工件的预处理。 浙江电镀设备供应商