温度对ITO酸性氯化铜蚀刻液速率的影响:随着温度的升高,蚀刻速率加快,但是温度也不宜过高,一般控制在45~55℃范围内。温度太高会引起HCl过多地挥发,造成溶液组分比例失调。另外,如果蚀刻液温度过高,某些抗蚀层会被损坏。温度对ITO碱性氯化铜蚀刻液速率的影响:蚀刻速率与温度有很大关系,蚀刻速率随着温度的升高而加快。蚀刻液温度低于40℃,蚀刻速率很慢,而蚀刻速率过慢会增大侧蚀量,影响蚀刻质量;温度高于60℃,蚀刻速率明显增大,但NH3的挥发量也很大程度增加,导致污染环境并使蚀刻液中化学组分比例失调。故温度一般控制在45~55℃为宜。ITO显影液的浓度多以显影液的稀释比来表示。江苏TIO清洁药剂供货企业
影响ITO蚀刻液侧蚀的因素很多,下面概述几点:1)蚀刻方式:浸泡和鼓泡式蚀刻会造成较大的侧蚀,泼溅和喷淋式蚀刻侧蚀较小,尤以喷淋蚀刻效果较好。2)蚀刻液的种类:不同的蚀刻液化学组分不同,其蚀刻速率就不同,蚀刻系数也不同。例如:酸性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数通常为3,碱性氯化铜蚀刻液的蚀刻系数可达到4。近来的研究表明,以硝酸为基础的蚀刻系统可以做到几乎没有侧蚀,达到蚀刻的线条侧壁接近垂直。这种蚀刻系统正有待于开发。江苏TIO显影药剂价格ITO显影液主要是用硫酸、硝酸及苯、甲醇、卤化银等硼酸、对苯二酚配合组成的一种特殊的用材。
ITO显影剂也称为造影剂或对比剂,是一种X光无法穿透的药剂,用于让体内组织在X光检查时能看得更清楚。例如消化道摄影时,医师会让患者喝下一杯显影剂溶液(大多含钡),然后用各种角度照相,就能让胃肠道看得很清楚。如果显影只是在光强较大的地方产生游离银,而对底片不做进一步处理,则把它一拿出暗室,未显影的卤化银就会立刻曝光。此后,几乎任何还原剂都将使底片完全形成灰雾。为了克服这个问题,必须找到一种适当的物质以除去未还原的卤化银。黑白照相中较常用的定影液是硫代硫酸钠溶液。其中的硫代硫酸根离子(S2O32-)与银离子形成可溶于水的稳定配合物,因而达到“固定”底片的目的。
ITO蚀刻液影响蚀刻速率的因素:碱性氯化铜蚀刻液。溶液pH值的影响。蚀刻液的pH值应保持在8.0~8.8之间,当pH值降到8.0以下时,一方面对金属抗蚀层不利;另一方面,蚀刻液中的铜不能被完全络合成铜氨络离子,溶液要出现沉淀,并在槽底形成泥状沉淀,这些泥状沉淀能在加热器上结成硬皮,可能损坏加热器,还会堵塞泵和喷嘴,给蚀刻造成困难。如果溶液pH值过高,蚀刻液中氨过饱和,游离氨释放到大气中,导致环境污染;同时,溶液的pH值增大也会增大侧蚀的程度,从而影响蚀刻的精度。ITO显影液的浓度偏低时,碱性弱,显影速度慢,易出现显影不净、版面起脏、暗调小白点糊死等现象。
ITO蚀刻液由氟化铵、草酸、硫酸钠、氢氟酸、硫酸、硫酸铵、甘油、水组成。1、氟化铵:分子式为NH4F,白色晶体,易潮解,易溶于水和甲醇,较难溶于乙醇,能升华,在蚀刻液中起腐蚀作用,一般选用工业产品。2、草酸:在蚀刻液中作还原剂使用,一般选用工业产品。3、硫酸钠:在蚀刻液中作为填充剂使用,一般选用工业产品。4、氢氟酸:即氟化氢的水溶液,为无色液体,能在空气中发烟,有强烈腐蚀性和毒性,能侵蚀玻璃,需贮存于铅制、蜡制或塑料容器中,可作为蚀刻玻璃的主要原料,一般选用工业品。5、硫酸:纯品为无色油状液体,含杂质时呈黄、棕等色。用水稀释时,应将浓硫酸慢慢注入水中,并随时搅和,而不能将水倒入浓硫酸中,以防浓硫酸飞溅而引发事故,可作为腐蚀助剂,一般选用工业品。6、硫酸铵:一般选用工业品。7、甘油:一般选用工业品。8、水:自来水。ITO显影剂在使用中,显影剂与保护剂、促进剂、阻止剂等配成显影液使用。苏州TIO清洁剂生产基地
ITO蚀刻液由氟化铵、草酸、硫酸钠、氢氟酸、硫酸、硫酸铵、甘油、水组成。江苏TIO清洁药剂供货企业
ITO导电玻璃制造工艺:(1)电化学扩散工艺:在玻璃上用电化学扩散方法可获得掺杂超导薄膜。玻璃在电化学处理装置中与熔融金属或化合物接触,在一定的电场作用下,熔融金属或化合物中的离子会扩散到玻璃表面,玻璃中的一价碱金属离子离解处来,等量地扩散至阴极表面,使玻璃表面的化学组成发生变化。性能随之改变。(2)高温喷涂和等离子体喷涂工艺:这种技术是将粉末状金属或非金属、无机材料加热至熔化或未熔化状态,并进一步加温使其雾化,形成高温高速焰流喷向需喷涂的玻璃基体。采用这种方式可以先在基体上制备YBaGUOx等涂层,在经过热处理可成为超导性材料。江苏TIO清洁药剂供货企业
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