影响氦检仪灵敏度的因素有哪些？氦检仪检漏时，产生测量误差的主要来源主要包括8个方面：第1，氦检仪在校准灵敏度时，标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同，即，标准漏孔与被检漏孔至氦检仪的距离相差太大，漏入氦气在途中损失不相等，这会导致经二者进入氦检仪的氦气量可比性差。第二，进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算，这时也会产生漏率测量误差。第三，所用标准漏孔的标称漏率有误差。第四，氦检仪输出指示与漏率的线性关系差。第五，校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时，所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。第六，氦检仪的性能不稳定。第七，氦气纯度不稳定或存在误差。第八，之后也就是检漏操作人员的因素，包括素质、责任心、技术水平以及工作经验等。氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度高，用得普遍的氦检仪器。氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计。模块式氦检设备特点
氦检仪在使用过程中需特别注意以下几点：①使用的电源电压要在额定的电压范围之内，电压过低仪器启动困难，且性能不稳定，电压过高会烧坏电源，严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵，应连接稳压电源(UPS)。②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动氦检仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。③氦检仪应按照说明书的要求定期进行保养，保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。④氦检仪在运行了2000h后应对前级泵进行维修和保养，运行7000h分子泵进行维护和保养。小型氦气检测设备大概多少钱氦质谱检漏仪的关键部件均为进口，性能稳定可靠。
选择氦检仪时主要考虑以下问题：（1）仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合正压法检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有多工位的氦检仪。（2）仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦检仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。（3）被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的氦检仪。（4）被检件容积如果较大，必须选用预抽泵抽速大的氦检仪，否则就要外加预抽泵。（5）如果被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的氦检仪。（6）如果检漏地点不固定，需要经常搬运仪器时，就要选择小型便携式仪器。（7）在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。
氦检仪怎么选择适合的检漏方法？氦检仪的实际应用方案很多，常用的三种检漏方法有负压法（抽真空），正压法（吸入法）和背压法（压氦法），可以发现有不同的叫法，这是根据不同的检测方式命名的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。根据不同的检漏目的，常用基础的有3种检漏方法。负压法（喷氦法）。对被检工件抽真空。可对被检工件外可疑漏点喷氦，也可将工件罩起来对氦罩内喷氦。可根据工件容积大小选配辅助泵或不加辅助泵。可检测工件的具体漏点和准确漏率。检测精度高。适用行业：镀膜行业，真空炉，真空配件，真空阀门，压力容器，真空系统等。氦检仪的型号较多，但基本结构大同小异。
氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。氦质谱检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的优点。分体式氦气检测仪注意事项
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使用氦检仪需注意哪些问题？响应时间与清理时间:正常运行的仪器响应时间与清理时间不应大于3s。氦检仪的响应时间会影响检漏工作的速度:检漏时喷有在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间,即为两次喷氦的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。根据经验,两次喷氦的较小间隔时间控制在30s,如果第1次喷氦后30s内氦检仪还没有反应,则可进行第二次喷氦。仪器的清理时间在理论上与响应时间相同,但由于仪器零件对氦的吸附和脱附作用的影响,清理时间一般要更长些。另外,喷氦量的多少也影响清理时间的长短,喷氦时喷头移动速率合理,可以缩短仪器的清理时间,提高检漏效率。模块式氦检设备特点
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