氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。氦检仪自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。氦气检测设备
氦检仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被普遍应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。氦检仪在使用过程中，往往会因为产生的一些故障或是现象，而影响检漏工作的正常进度，若对其置之不理还会危及氦检仪的使用寿命。其中的有些故障或现象是使用者能够及时解决或避免的，掌握和了解氦检仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。氦检仪热管检漏：热管需要检漏原因：热管内部填充特殊液体用来增强热传导性能，如果热管本身存在漏点，首先会影响热管的导热性能；其次由于热管都是安装在设备内部，如果发生泄漏，里面封装的液体就会流出，严重污染和影响设备的正常运转，所以热管生产企业，都会采用氦检仪对热管进行检漏。移动式氦气检测机技术指导氦质谱检漏仪的灵敏度可达10-12Pam3/s。
氦检仪的捡漏方法有哪些？背压法（压氦法）真空模式。工件先在压氦罐中打入高压氦气，迫使氦气进入泄漏工件，再放入检漏罐中检测是否有氦气漏出。可根据工件大小定制罐体大小。可检测工件的整体漏点。检测精度较高。适用行业：电子元器件，电子封装等。氦质谱检漏背压法优点：检测灵敏度高；可以进行批量化检测；一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据GB2423，2328文件而定，器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空，待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测，其漏率在漏率表上显示出来。一般压氦法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件，这一批的总漏率没超过报废预定值，说明这一批合格；总漏率超过报废预定值可以取出一半，剩下的一半继续检漏，这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中，依此检漏直至检出有漏孔的器件。
影响氦检仪灵敏度的因素有哪些？氦检仪检漏时，产生测量误差的主要来源主要包括8个方面：第1，氦检仪在校准灵敏度时，标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同，即，标准漏孔与被检漏孔至氦检仪的距离相差太大，漏入氦气在途中损失不相等，这会导致经二者进入氦检仪的氦气量可比性差。第二，进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算，这时也会产生漏率测量误差。第三，所用标准漏孔的标称漏率有误差。第四，氦检仪输出指示与漏率的线性关系差。第五，校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时，所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。第六，氦检仪的性能不稳定。第七，氦气纯度不稳定或存在误差。第八，之后也就是检漏操作人员的因素，包括素质、责任心、技术水平以及工作经验等。氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度高，用得普遍的氦检仪器。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。
在使用氦检仪时要如何保养？①如果仪器不是每天都使用，建议每周启动并检查一次，以保持仪器的高真空系统处于真空状态，在后期使用过程中可以缩短仪器的启动时间。②仪器部件（如离子源）拆卸后，安装过程中应避免在安装现场发生泄漏，仪器可用于泄漏检测。③及时对泄漏处（如放气阀等）进行自检。）可能出现在仪器上，并在发现泄漏点后及时移除、清洁或紧固，以免在泄漏检测过程中干扰泄漏检测。④氦检仪维护定期维护油泵。（散热口粉尘处理及泵油的检查和更换）⑤严禁在氦检仪上，尤其是进气口处掉落或喷洒任何异物。由于氦检仪是一种高精度仪器，其储存和使用环境应保持清洁卫生。只有经过培训或合格的设备维护工程师才能使用该仪器。⑥使用时，请注意仪器的操作。一旦出现大振动、高噪音等状况时，仪器在操作过程中不能移动。涡轮分子泵正在高速运转。如果泄漏检测器移动，涡轮分子泵中的叶片将很容易与转子的圆筒碰撞。立即切断电源并排除故障，否则会对氦检仪造成不良影响。氦质谱检漏仪为什么会选择氦气作为主要的示漏气体？移动式氦气检测机技术指导
氦质谱检漏仪的可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。氦气检测设备
氦质谱检漏仪作为一种测量仪器，需根据设备的使用频率、被测品工艺要求定期使用标准漏孔对设备自身进行校准，以保证设备自身检测精度。氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，是真空检漏技术中灵敏度高，用得比较多的检漏仪器。消费者在选购氦质谱检漏仪时必须要根据产品的检测功能需求进行挑选，例如仪器需要批量检查的需求则必须要确保这种氦质谱检漏仪的检查速度，立足于自身的需求保证这种氦质谱检漏仪的功能得以实现才是正确的挑选方式。氦气检测设备
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