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氦检仪基本参数
  • 品牌
  • 上海妤林
  • 型号
  • 齐全
  • 类型
  • 氦质谱检漏仪
  • 加工定制
  • 产地
  • 上海
  • 厂家
  • 上海妤林真空设备技术有限公司
氦检仪企业商机

氦质谱检漏仪操作步骤:1、将总电源转到“前级泵”,低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa,开抽速阀,开漏孔开关,表头示值也应能抽到原来位置,再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”,灯亮,扩散泵开始加热。3、等20分钟左右,扩散泵排气管应热,开冷规开关,“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀,过几分钟后开冷规,表头指针应从左打向右,再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规,可等一会儿再开),当真空示值超过1×10-2Pa后,可启动灯丝,灯亮,“发射电流”有指示,开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda),灵敏度达要求后关漏孔。氦检仪喷氦法检测灵敏度高,可精确定位。无锡氦检仪销售价格

氦检仪的型号较多,但基本结构大同小异。它主要由质谱室、真空系统及电气部分组成。质谱室:不同类型的氦检仪的质谱室结构大同小异,都是由离子源、分析器和收集器三部分组成,它们放在一个抽成高真空的质谱室外壳中。1)离子源。离子源的作用是使气体分子电离,形成一束具有一定能量的离子。它由灯丝(阴极)、离化室及离子加速极组成。2)分析器。分析器作用是使不同质荷比的离子按不同轨迹运动,从而将它们彼此分开,只使氦离子通过其出口隙缝。分析器由一个外加均匀磁场及一个出口电极组成,磁场方向与离子束入射方向垂直。3)收集极。收集极是对准出口电极狭缝安装的,其作用是收集穿过出口电极狭缝的氦离子并通过一个电阻输入到小电流放大器进行离子流的放大和测量。由于氦离子一般只有10-13~10-12A,要使小电流放大器第1极输入信号电压足够大,则输入电阻必需很大(一般高于1010欧),第1级放大用的静电计管必须要高度绝缘,所以把高阻及静电计管放在高真空的质谱室中。宁波氦检仪推荐厂家氦质谱检漏仪安装时要避免安装部位出现泄漏,可用仪器进行自身检漏。

氦质谱检漏仪检漏时,产生测量误差的主要来源主要包括几个方面:一、氦质谱检漏仪在校准灵敏度时,标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同,即,标准漏孔与被检漏孔至检漏仪的距离相差太大,漏入氦气在途中损失不相等,这会导致经二者进入检漏仪的氦气量可比性差。二、进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等,或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算,这时也会产生漏率测量误差。三、所用标准漏孔的标称漏率有误差。四、氦质谱检漏仪输出指示与漏率的线性关系差。

氦检仪作为一种磁偏转型质谱分析仪器,结构上分单级磁偏转型和双级串联偏转性,而在结构组成上,大部分氦检仪就是由质谱室、真空系统以及电气系统3部分组成的:质谱室是这种真空氦检仪器的心脏,又包括离子源、分析器、收集器、前级放大器、冷阴极电离真空计等组成部分;真空系统用于为质谱室提供真空工作条件,保证氦离子的传输率;电气系统的重点功能就是为质谱室供电与测量。另外在有些条件下,氦质谱检漏可能还会需要辅助真空系统,完成一些预抽、保证氦检仪真空度等工作。氦质谱检漏仪为什么会选择氦气作为主要的示漏气体?

氦检仪的组成部分有哪些?真空系统,仪器的真空系统提供质谱正常工作所需要的真空条件,不同型号的氦检仪其真空系统有较大的差别。真空系统一般包括:1)主泵。一般用扩散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-1Pa,其抽速应与气载匹配。2)前级真空泵。一般采用旋片式机械真空泵,在以分子示为主泵的系统中,也有采用薄膜泵或干泵的。抽速与主泵匹配。3)预抽真空泵。一般与前级真空泵共同一个泵,预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵,其抽速视被检件大小而定,因此预抽真空泵大都由用户自配。氦检仪内部配有一台旋片式真空泵,用以维持仪器内部的高真空。宁波氦检仪推荐厂家

氦质谱检漏仪的本底噪声,一般指在2min内输出仪表的较大的波动量,能较方便地估计检漏效果。无锡氦检仪销售价格

氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声,目前设备电子线路和电子元件的改进,使得电路噪声已经降得很低,因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的,主要形成的原因包括:一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气,而电离规,特别是磁放电真空规对氦有记忆效应,其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、氦质谱检漏仪中空气的本底影响。为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声,需要针对性的采取措施,如减少采用有机材料,不用磁放电规等。无锡氦检仪销售价格

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