在半导体行业，直线电机因其高精度、高速度、高加速度和长行程等特点，被广泛应用于多个制造和加工环节。以下是一些具体的应用场景：晶圆制造：①晶圆切割：直线电机用于晶圆切割机的精确控制，确保晶圆切割的精度和效率。②晶圆清洗：在晶圆清洗设备中，直线电机用于控制清洗头的运动，以实现均匀清洗。光刻：①光刻机：直线电机用于光刻机的曝光系统，精确控制掩模对晶圆的定位和曝光，以实现微米级甚至纳米级的图案转移。硅片加工：①蚀刻机：直线电机用于蚀刻机的硅片传输和定位，确保蚀刻过程的高精度。②离子注入：在离子注入机中，直线电机用于精确控制离子束对晶圆的注入角度和位置。芯片封装：①芯片贴装：直线电机用于芯片贴装机，精确地将芯片放置到引线框架或基板上。②打线机：在打线机中，直线电机用于精确控制打线头，将金线或铜线连接到芯片的焊盘上。慧吉时代的 TOYO 机器人助力 2024 年中国工业机器人安装量达 29.5 万台。高性能TOYO机器人标准模组
直线模组，又称为直线导轨、线性模组或线性导轨，是一种将滑动转换为精确直线运动的机械部件。它的由来和发展与工业自动化和精密机械加工的需求密切相关。以下是直线模组的主要发展历程：1.早期发展：在工业革i命时期，随着机械制造业的发展，对于机械部件的运动精度和可靠性的要求越来越高。早期的直线运动主要是通过滑动轴承和硬木导轨来实现的，但这种方式的精度和耐用性都不够理想。2.20世纪初：随着金属加工技术的进步，出现了更为精密的滚珠轴承和滑动轴承，这为直线运动部件的改进提供了可能。德国在20世纪初期开始研发和使用线性导轨，以提高机床的加工精度。3.滚珠丝杠的出现：20世纪中叶，滚珠丝杠的发明为直线模组的发展带来了**性的变化。滚珠丝杠利用滚珠来实现转动与线性运动的转换，具有更高的效率和精度。4.直线导轨的发展：1950年代，直线导轨的概念被提出，并逐渐发展为现代直线模组的原型。直线导轨通过特定的轨道和滑块结构，使得运动部件能够实现平稳、精确的直线运动。5.材料科学的进步：随着材料科学的进步，如高性能合金钢和陶瓷材料的应用，直线模组的精度、速度和负载能力得到了极大提升。高性能TOYO机器人ISO9001慧吉时代的 TOYO 直线电机模组 3D 选型设计节省 70% 时间，提升项目落地效率。
TOYO（东佑达）国内工厂共有3个，分别位于中国台湾的新吉工厂、台南工厂以及江苏的昆山工厂。我们TOYO的年销售额在11亿元左右，G系列产能30万台/年，每年现货储备金额1亿元左右。深圳市慧吉时代科技有限公司作为TOYO的代理商，已经连续五年荣获TOYO（东佑达）颁发的“TOYO一级代理商”的荣誉称号，代理TOYO的全系列产品。TOYO的主营产品有：直线模组（丝杆/皮带模组）、直线电机、电动缸（伺服/步进）、电夹爪，直线电机平台（大理石/气浮平台）、AGV无人搬运小车。TOYO取得了ISO9001、ISO14001、ISO18001认证，落实ISO品保管理流程。
TOYO直线电机提供三大技术平台满足不同工业需求。有铁芯平板型包含两大系列：G系列：专为高速轻载设计，负载3-20kg，行程达2520mm，适用于精密检测设备一般系列：重载长行程旗舰，负载20-120kg，最大行程8000mm，满足大型自动化产线需求两系列均保持2500mm/s高速及±1~2μm高精度。无铁芯U型电机采用无磁吸力设计，负载4-15kg，行程1290mm，特别适合需要平滑运动的精密仪器。轴棒型电机创新中空结构，负载能力15-51kg，行程1940mm，内置冷却通道解决高热负荷工况。全系列统一维持±1~2μm定位精度与2500mm/s峰值速度，通过模块化设计支持多场景扩展：G系列：半导体分选/激光加工U型：医疗设备/光学平台轴棒型：3C电子组装/高功率焊接覆盖从微牛顿级到百公斤级的全频谱动力需求。慧吉时代科技 TOYO 机器人配备高精度编码器，实时反馈位置信息保障控制精度。
更换直线模组磨损件后，调试过程是确保模组恢复正常工作性能的关键步骤。以下是调试直线模组的一般步骤：1.初步检查：确认所有连接部件都已正确安装，包括螺丝、螺母、销钉等。检查润滑情况，确保润滑油或润滑脂已按需添加。确认电源、控制线路和紧急停止装置等安全设施正常。2.手动预运行：在断电状态下，手动推动滑块在导轨上往返运动，检查是否有异常阻力或噪音。确认滑块在导轨上的运动是否平滑，无卡顿现象。3.试运行：接通电源，启动直线模组，使其以低速运行，观察电机、驱动器和滑块的运行情况。检查电机和驱动器的温度是否正常，有无异常振动或噪音。4.参数调整：根据直线模组的性能要求，调整驱动器的参数，如加速度、减速度、运行速度和位置精度等。5.功能测试：进行实际工作流程的模拟测试，检查直线模组在实际应用中的表现。确认直线模组能够满足生产线的速度、精度和稳定性要求。6.持续监控：在调试完成后，持续监控直线模组的运行状态，记录关键参数。如果发现任何异常，及时进行调整或停机检查。调试过程中，可能需要多次调整和测试，直到直线模组达到比较好工作状态。慧吉时代的 TOYO GTH 系列模组等高直线度 ±0.02mm，刚性强振动小。高速TOYO机器人轨道内嵌推杆式模组
慧吉时代科技 TOYO 机器人双滑台设计节省空间，适配高速取放料自动化场景。高性能TOYO机器人标准模组
1. 直线电机模组这是东佑达的技术产品线，利用直线电机直接驱动，实现了超高速度、高加速度和超高精度的运动。特点： 无接触传动、零背隙、运动平稳、噪音极低。应用： 半导体检测设备、激光加工、精密测量仪器、高速pick-and-place等对动态性能要求极高的场合。2. 线性滑台模组（丝杆型 & 皮带型）这是东佑达被市场认可的产品系列，根据传动方式主要分为两大类：滚珠丝杆型滑台：特点： 高精度、高刚性、推力大。定位精度可达±0.01mm甚至更高。应用： 需要精确定位和承受较大负载的场合，如点胶机、锁螺丝机、精密组装、测量设备等。同步带型滑台：特点： 高速度、长行程、成本效益高。速度可达2-3m/s。应用： 长行程、高速搬运、分拣、物料移送等场景，如包装机械、物流分拣线、LCD面板搬运。3. 电动缸（电缸）将伺服电机的旋转运动转换成直线运动，是液压缸和气缸的电动化替代方案。特点： 精密控制推力、位置和速度，清洁环保，易于维护，节能。应用： 模拟测试振动台、压力机、汽车制造、航空航天、注塑机取件等需要精确控制推力的领域。高性能TOYO机器人标准模组
