杨浦区晶圆级陶瓷加热盘

面向深紫外光刻工艺对晶圆预处理的需求，国瑞热控配套加热盘以微米级温控助力图形精度提升！采用铝合金基体与石英玻璃复合结构，加热面平面度误差小于0.01mm，确保晶圆与光刻掩膜紧密贴合！通过红外加热与接触式导热协同技术，升温速率达15℃/分钟，温度调节范围60℃-120℃，控温精度±0.3℃，适配光刻胶软烘、坚膜等预处理环节！表面经防反射涂层处理，减少深紫外光反射干扰，且具备快速冷却功能，从120℃降至室温*需8分钟，缩短工艺间隔！与上海微电子光刻机适配，使光刻图形线宽偏差控制在5nm以内，满足90nm至28nm制程的精密图形定义需求！升温迅速表面温差小，过热保护安全耐用，为设备护航。杨浦区晶圆级陶瓷加热盘

国瑞热控封装测试**加热盘聚焦半导体后道工艺需求，采用轻量化铝合金材质，通过精密加工确保加热面平整度误差小于0.05mm，适配不同尺寸封装器件的测试需求！加热元件采用片状分布设计，热响应速度快，可在5分钟内将测试温度稳定在-40℃至150℃之间，满足高低温循环测试、老化测试等场景要求！表面采用防粘涂层处理，减少测试过程中污染物附着，且易于清洁维护！配备可编程温控系统，支持自定义测试温度曲线，可存储100组以上测试参数，方便不同型号器件的测试切换！与长电科技、通富微电等封装测试企业合作，适配其自动化测试生产线，为半导体器件可靠性验证提供精细温度环境，助力提升产品良率！嘉定区陶瓷加热盘非标定制客户需求为导向，快速响应询价定制，具有竞争力价格交期。

国瑞热控针对氮化镓外延生长工艺，开发**加热盘适配MOCVD设备需求！采用高纯石墨基材表面喷涂氮化铝涂层，在1200℃高温下热膨胀系数与蓝宝石衬底匹配，避免衬底开裂风险，热导率达150W/mK，确保热量均匀传递至衬底表面！内部设计8组**加热模块，通过PID精密控制实现±0.5℃的控温精度，精细匹配氮化镓外延层生长的温度窗口（1050℃-1150℃）！设备配备惰性气体导流通道，减少反应气体湍流导致的薄膜缺陷，与中微公司MOCVD设备联合调试，使外延层厚度均匀性误差控制在3%以内，为5G射频器件、电力电子器件量产提供**温控支持！

针对12英寸及以上大尺寸晶圆的制造需求，国瑞热控大尺寸半导体加热盘以创新结构设计实现高效温控！产品采用多模块拼接式结构，单模块加热面积可达1500cm²，通过标准化接口可灵活组合成更大尺寸加热系统，适配不同产能的生产线需求！每个模块配备**温控单元，通过**控制系统协同工作，确保整个加热面温度均匀性控制在±1.5℃以内！采用轻量化**度基材，在保证结构稳定性的同时降低设备重量，便于安装与维护！表面经精密加工确保平整度，与大尺寸晶圆完美贴合，减少热传导损耗，为先进制程中大规模晶圆的均匀加热提供可靠解决方案！低热容设计升温降温快，实现高效热循环，适合快速变温工艺。

在半导体离子注入工艺中，国瑞热控配套加热盘以稳定温控助力掺杂浓度精细控制！其采用耐高温合金基材，经真空退火处理消除内部应力，可在400℃高温下长期稳定运行而不变形！加热盘表面喷涂绝缘耐离子轰击涂层，避免电荷积累对注入精度的干扰，同时具备优良的导热性能，能快速将晶圆预热至设定温度并保持恒定！设备配备双路温度监测系统，分别监控加热元件与晶圆表面温度，当出现偏差时自动启动调节机制，温度控制精度达±1℃！适配不同型号离子注入机，通过标准化接口实现快速安装，为半导体掺杂工艺的稳定性与重复性提供有力支持！热响应速度快，快速达温稳定，减少等待时间提升效率。北京高精度均温加热盘

坚固耐用设计理念，抗冲击耐磨损，确保设备长久稳定运行。杨浦区晶圆级陶瓷加热盘

针对车载半导体高可靠性需求，国瑞热控测试加热盘适配AEC-Q100标准！采用**级铝合金基材，通过-55℃至150℃高低温循环测试5000次无变形，加热面平整度误差小于0.03mm！温度调节范围覆盖-40℃至200℃，升降温速率达30℃/分钟，可模拟车载芯片在极端环境下的工作状态！配备100组可编程温度曲线，支持持续1000小时老化测试，与比亚迪半导体、英飞凌等企业适配，通过温度冲击、湿热循环等可靠性验证，为新能源汽车电控系统提供质量保障！杨浦区晶圆级陶瓷加热盘

无锡市国瑞热控科技有限公司在同行业领域中，一直处在一个不断锐意进取，不断制造创新的市场高度，多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准，在江苏省等地区的电工电气中始终保持良好的商业口碑，成绩让我们喜悦，但不会让我们止步，残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志，和谐温馨的工作环境，富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新，勇于进取的无限潜力，无锡市国瑞热控科技供应携手大家一起走向共同辉煌的未来，回首过去，我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜，相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围，我们更要明确自己的不足，做好迎接新挑战的准备，要不畏困难，激流勇进，以一个更崭新的精神面貌迎接大家，共同走向辉煌回来！