极高真空闸阀Micron

通常在升降杆上有梯形螺纹，通过阀门顶端的螺母以及阀体上的导槽，将旋转运动变为直线运动，也就是将操作转矩变为操作推力。开启阀门时，当闸板提升高度等于阀门通径的1：1倍时，流体的通道完全畅通，但在运行时，此位置是无法监视的。实际使用时，是以阀杆的顶点作为标志，即开不动的位置，作为它的全开位置。为考虑温度变化出现锁死现象，通常在开到顶点位置上，再倒回1/2－1圈，作为全开阀门的位置。因此，阀门的全开位置，按闸板的位置即行程来确定。有的闸阀，阀杆螺母设在闸板上，手轮转动带动阀杆转动，而使闸板提升，这种阀门叫做旋转杆闸阀，或叫暗杆闸阀。阀座密封：必须保证在真空状态下（从大气压到高真空，如10^-6 Pa甚至更高）的“零泄漏”。极高真空闸阀Micron

刀型闸阀，也叫刀形闸阀、刀闸阀，适用于带有悬浮颗粒、纤维材料的纸浆、污水、煤浆、灰渣水泥混合物等介质的管道，靠可以切割纤维材料的刀刃形闸板来切断这些介质。阀体实际上不存在腔室，闸板在侧面导向槽内升降，并由底部的凸耳紧压在阀座上，如需达到较高的介质密封性时，可选用O形密封阀座实现双向密封。按驱动方式分为手动刀型闸阀、气动刀型闸阀、电动刀型闸阀。刀型闸阀操作轻便灵活、体积小、通道流畅、流阻小、重量轻、易安装、易拆卸，公称尺寸DN50~DN800，可在工作压力0.6MPa~1.6MPa，使用温度≤100℃情况下正常工作。刀型闸阀其闸板具有剪切功能，可刮除密封面上的粘着物，自动除杂物。不锈钢闸板可防止腐蚀引起的密封泄漏。加热闸阀插板阀微泰转移阀是安装在半导体PVDCVD设备工艺模块和工艺室之间的阀门系统。

19.2超高真空大型闸阀系列旨在为需要超大尺寸的应用（例如空间模拟应用）提供可靠的隔离。该系列的设计规格可达DN1250mm(50")，但也可根据要求提供更大的尺寸。19.2系列旨在满足可达到1×10-10的超高真空要求。所有阀门均采用一个基于VATLOCK技术的阻尼式开关机构，其能提供可靠的密封，同时不会在闸封处产生任何摩擦。减少的摩擦增加了密封寿命并减少了移动阀板所需的力，这是直径较大的一个重要因素。由于关闭位置处的机械锁定，VATLOCK机构还可以防止阀门故障。为便于维护，DN900mm(36")及以上尺寸的所有系列均采用分体式设计。为减少较大DN尺寸的占用空间，19.2系列采用紧凑型设计，双作用气动驱动器位于阀板外壳侧面。大型闸阀系列中的所有阀门均满足可靠性、耐用性和可维护性的标准要求，并且特别注重长运行时间和低购置成本。19.2大型闸阀系列已经在数百个应用中运行，证明了其可靠性。它们已成为DN400–1250mm(16"–50")尺寸的大型真空隔离要求的标准。

按闸板的构造可分1）平行式闸阀：密封面与垂直中心线平行，即两个密封面互相平行的闸阀。在平行式闸阀中，以带推力楔块的结构为常见，既在两闸板中间有双面推力楔块，这种闸阀适用于低压中小口径（DN40—300mm）闸阀。也有在两闸板间带有弹簧的，弹簧能产生予紧力，有利于闸板的密封。2）楔式闸阀：密封面与垂直中心线成某种角度，即两个密封面成楔形的闸阀。密封面的倾斜角度一般有2°52´，3°30´，5°，8°，10°等，角度的大小主要取决于介质温度的高低。一般工作温度愈高，所取角度应愈大，以减小温度变化时发生楔住的可能性。真空闸阀的运用，通过精确的顺序，保证工艺的纯净性、可重复性和自动化。

插板阀，又称手动刀型闸阀。是闸阀的一种。刀形闸阀是一种闸板与阀座始终紧密接触密封的阀门，其原理是闸板上开有一个通径大小的圆口，通过闸板启闭使得闸板上圆口跟通径做完全脱离和相吻合的动作。此阀门的优点在于阀体通径无凹槽，介质不会卡阻堵塞，并且具有全通径流通特性，其密封结构可以分软密封、硬密封结构。穿透式刀闸阀是具有精密构造，工艺性好，结构紧凑等特点，密封阀座为活动结构设计，有防磨损和自动补偿功能，因而寿命更长。在关闭和开启过程中阀座跟闸板一直紧贴运动，使得阀门启闭力稳定，并且具有切断介质等特点。真空闸阀是真空系统中关键的“关卡”，其高密封性、低放气率、流导和洁净设计是区别于普通闸阀的四大特征。气动闸阀手动阀

阀门所有暴露在真空中的材料（阀体、阀板、密封件等）必须具有低蒸汽压、低出气率的特性。极高真空闸阀Micron

闸阀在管道上主要做切断用。闸阀有以下优点：1.流体阻力小；2.开、闭所需的力较小；3.对介质的流向没有限制；4.全开时密封面受介质的冲蚀比截止阀小；5.体型比较简单，阀门的铸造工艺性较好。闸阀有以下缺点：1.外形尺寸和开启高度都较大，所需的安装空间也较大；2.在开闭的过程中，密封副间有相对摩擦，容易引起擦伤等；3.有两个密封副，加工、研磨和维修较困难；4.开关时间较长。闸阀主要的零部件有：阀体、阀盖、闸板、阀杆、填料、垫片和手轮等。极高真空闸阀Micron