上海高精度飞秒激光小孔

飞秒激光技术这是一种利用超短脉冲（飞秒量级）激光进行加工、测量的前沿技术。由于作用时间远小于材料中热扩散的时间（皮秒量级），能量在被加工材料吸收后，还来不及通过热传导影响周围区域，材料就已通过直接电离（多光子吸收/隧道电离） 被去除或改性。这被称为 “冷加工” 或 “无热加工”。脉冲能量除以脉冲宽度。由于脉冲极短，即使单脉冲能量为毫焦耳级别，其峰值功率也可轻松达到太瓦（10¹² 瓦）甚至拍瓦（10¹⁵ 瓦），相当于全球电网功率的瞬时聚焦。飞秒激光能量传输时间极短，加工过程中不会产生热效应。上海高精度飞秒激光小孔

所谓飞秒激光钻孔，即使用频率非常高的激光对材料进行钻孔，飞秒是时间单位，1飞秒等于一千万亿分之一秒，相对于传统激光加工设备，飞秒激光由于脉冲时间极短，被加工物体不会被加热，特别适合加工30微米以下的高精度小孔。对于飞秒激光而言，脉冲作用时间已经实际小于1ps，电子没有足够的时间将能量传递给晶格。从而在材料表面生成众多等离子体，能量伴随着材料的去除而消散，因此出现强烈的烧蚀效果。用飞秒激光进行加工，激光脉冲能量极快地注入很小的作用区域，瞬间高能量密度沉积使电子吸收和运动方式发生变化，从根本上改变了激光与物质相互作用机制。微米级飞秒激光颗粒面膜板飞秒激光可以聚焦到透明材料的内部，实现真正的三维微加工。

飞秒激光加工应用于金属掩模板加工：新加坡南洋科技大学VenkatakrishnanK等人利用飞秒激光直写方法制作了以金属薄膜为吸收层、石英为基底的金属掩模板，并将前入射与后入射两种方案做了比较，发现采用前入射的方法能够得到更小的特征尺寸和好的边缘质量。并且利用飞秒激光超衍射极限加工有效地修补了金属镉掩模板的缺陷，修复的线宽达到小雨100nm的精度。目前构建的飞秒激光修正光掩模板工具已在IBM的伯林顿、福蒙特州的掩模制作设备中运行。这对微电子技术的发展将具有重要意义。

在氮化硅领域，飞秒激光技术已经被广泛应用于各种应用场景，包括微加工、光学元件制造、半导体加工等。例如，飞秒激光可以用于制作微型通孔、槽道、芯片切割等高精度加工任务。在光学领域，飞秒激光还可以用于制作具有复杂结构的光学器件，如光波导、光栅等。另外，在半导体工业中，飞秒激光也可以用于修复芯片表面缺陷、切割硅片等工艺。飞秒激光切割和打孔技术为氮化硅等高硬度材料的加工提供了一种高效、精密且无损伤的解决方案，有望在未来得到更广泛的应用。超快飞秒激光切割机适用于超薄金属铜箔、铝箔、不锈钢箔、等材料微细精密加工，切割无变形、精度高。

目前用于眼科屈光诊疗的全飞秒激光应该是飞秒技术在医疗中应用的成熟的设备之一。还有扩张器、内窥镜和导管等的加工等等。还有在医学诊疗方面，与长脉冲激光相比，飞秒激光能量高度集中，作用期间几乎没有热量传输效应，因此也不会引起周围环境温度的上升，这在激光手术医疗应用方面非常重要。数度的温度上升一方面会在瞬间变成压力波传到神经细胞产生痛感，另一方面可能会对生物体组织造成致命伤害。因此，飞秒激光可以实现无痛和无损伤的安全诊疗。指纹模组涉及到飞秒激光加工的环节有：晶圆划片、芯片切割、盖板切割、FPC软板外形切割钻孔等。超精密飞秒激光薄膜芯片

飞秒激光加工设备是光、机、电、自动化技术为一体的综合科学，是一种先进的智能工具。上海高精度飞秒激光小孔

飞秒激光在诱导金属微结构加工应用方面和精细加工方面的其他应用如下：金属纳米颗粒加工自1993年HengleinA等人利用激光消融法制备金属纳米颗粒以来，许多研究小组制备出高纯度、力度分布均匀的金属纳米颗粒。LinkH等人进一步控制飞秒激光的能流密度和照射时间，将金属纳米棒完全融化为金属纳米点。与其他激光脉冲相比，飞秒激光改变的金属颗粒尺寸大小和特定形状，使金属纳米颗粒特别是贵金属（Au、Hg、Pt、Pd等）在催化、非线性光学、医用材料科学等领域具有广阔的应用前景。上海高精度飞秒激光小孔