常州硅光电二极管生产厂家

    本发明具有以下有益的技术效果：本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管，通过适当减小耗尽区宽度和减小扩散区电阻率，耗尽区宽度减小导致响应度的降低，本发明通过增加高反层使得光子在耗尽区中二次吸收来补偿；高反层的形成使得器件保持对长波响应度的同时，降低响应时间；由于扩散区(耗尽区以外的区域)材料电阻率很低，扩散区阻抗很小，因此扩散时间很短；从而实现硅基光电二极管高响应度与高响应速度同时提升。本发明提供的高速高响应度的硅基光电二极管，由于通过低阻材料降低了扩散区电阻，缩短了扩散时间；而高反层的设置提高了长波的吸收效率，降低了耗尽区的物理厚度，缩短了漂移时间，并且在其上开孔减小了扩散区的阻抗；衬底采用低电阻率材料，背面不用进行减薄注入，直接背面金属化形成背面电极，避免了加工过程中碎片的情况。附图说明图1为本发明的结构图示意图；图2为本发明的等效电路示意图；图3为本发明的高反层原理示意图；图4为多孔结构高反层的示意图；图5-1～图5-7分别为本发明的逐层制备示意图。图6为本发明的硅基光电二极管的响应度测试曲线；图7为本发明的硅基光电二极管的频率特性测试曲线。硅光电二极管供应商就找世华高！常州硅光电二极管生产厂家

    世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。高反层109由高折射率薄膜与低折射率薄膜交替叠加组成；2)利用等离子刻蚀机在高反层109上以干法刻蚀开设刻蚀孔，并刻蚀掉与正面金属电极106相对的高反层109；3)刻蚀完成后，在高反层109上以化学气相淀积的方法生长电阻率500～1000ohm·cm的n-外延层，其厚度与耗尽区宽度相当；4)在外延层101上以as离子源进行n型离子注入，注入剂量1e15～2e15，形成保护环102。与保护环102间距12～20um，在外延层101上以b离子源进行p型离子注入，注入剂量1e15～2e15，形成有源区103；5)在保护环102和有源区103上通过热氧化法生成sio2层104，在sio2层上方淀积生长si3n4层105；6)接连刻穿si3n4层和sio2层形成接触孔，然后溅射al，并将溅射层刻蚀形成正面金属电极106；7)在衬底107背面直接进行金属化处理形成背面电极108。下面给出具体的实施例。实施例11)在n+重掺杂的衬底107上溅射生成厚度3～5um的高反层109，2)利用等离子刻蚀机干法刻蚀工艺在高反层109刻孔；3)高反层109上通过淀积的方法生长n-外延层101。温州硅pin硅光电二极管批发硅光电池就找深圳世华高。

    这一N型层与光敏面的N型层连在一起则使光电管在加上反向电压后产生很大的表面漏电流，因而使管子的暗电流变得很大。为了解决这个问题，在工艺上采取这样一个措施，即在光刻光敏面窗口的同时在光敏面周围同时刻出一个环形窗口（见图②），在这环形窗口中同时扩散进磷杂质也形成一个N型层，这就是环极。当我们给环极加上适当的正电压后，使表面漏电流从环极引出去，这样就减小了光敏面的漏电流即减小了光敏面的暗电流，提高了2DU型硅光电管的稳定性。特性与使用一、特性。2CU型或2DU型硅光电二极管在性能上都有以下二个特点，我们在使用中应予以注意。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。其产品范围包括光电二极管、光电三极管、红外线接收头、发射管、发光二极管、硅光电池、霍尔元件、光电开关、光电编码器、纸张感应器和光电耦合器等。经过十余年的发展，世华高半导体已成为一家先进的半导体器件制造商。公司在全球范围内设有多个销售机构，分布在中国、印度、泰国、伊朗、香港等多个国家和地区。深圳市世华高半导体有限公司。。

    深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。硅光电二极管是当前普遍应用的半导体光电二极管。下面我们谈谈2CU和2DU两种类型硅光电二极管的种类、构造以及应用上的一些问题。种类与构造一、2CU型硅光电二极管：2CU型硅光电二极管是用N型硅单晶制作的，根据外形尺寸的大小它又可分2CU­1­，2CU­2­，2CU­3­等型号，其中2CU­1­与2CU­2­体积较大，2CU­3­稍小些（见图1（a））。这种类型的光电二极管多用带透镜窗口的金属管壳封装，下端有正、负两个电极引线，它们分别与管心中的光敏面（P型层）和N型衬底相连。光线从窗入后经透镜聚焦在管心上，由于这种聚光作用增强了光照强度，从而可以产生较大的光电流。二、2DU型硅光电二极管：2DU型硅光电二极管是用P型硅单晶制作的，从外形上分有2DUA，2DUB等类型，其中2DUA型管子体积较小些（见图1（b））。2DU型硅光电二极管目前多采用陶瓷树脂封装，入射光的窗口不带透镜。这类管子引线共有三条，分别称作前极、后极、环极（见图1（b））。前极即光敏区（N型区）的引线；后极为衬底（P型区）的引线。硅光电二极管供应商就选世华高。

    深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。该公司选择将汕尾深汕特别合作区作为生产基地，负责光电器件的制造。由于2DU型硅光电二极管是用P型硅单晶制造的，在高温生长氧化层的过程中，容易在氧化层下面的硅单晶表面形成一层薄薄的N型层。这一N型层与光敏面的N型层连在一起则使光电管在加上反向电压后产生很大的表面漏电流，因而使管子的暗电流变得很大。为了解决这个问题，在工艺上采取这样一个措施。即在光刻光敏面窗口的同时在光敏面周围同时刻出一个环形窗口（见图②），在这环形窗口中同时扩散进磷杂质也形成一个N型层，这就是环极。当我们给环极加上适当的正电压后，使表面漏电流从环极引出去，这样就减小了光敏面的漏电流即减小了光敏面的暗电流，提高了2DU型硅光电管的稳定性。特性与使用一、特性。2CU型或2DU型硅光电二极管在性能上都有以下二个特点，我们在使用中应予以注意。1．反向工作电压必须大于10伏。硅光电二极管的光电流随反向工作电压以及入射光强度的变化关系如图③所示。我们看到在反向工作电压小于10伏时，平行曲线簇呈弯曲形状（例如OA那段），说明光电流随反向电压变化是非线性的。硅光电二极管阵列 选择世华高。惠州硅光硅光电二极管参数

硅光电二极管电路图就找世华高！常州硅光电二极管生产厂家

    具体实施方式下面结合实施例对本发明做进一步详细描述，所述是对本发明的解释而不是限定。参见图1～图4，一种高速高响应度的硅基光电二极管，包括背面设有背面电极108的衬底107；衬底107正面依次设有高反层(109、外延层101、注入层、氧化硅层、氮化硅层和正面金属电极106；所述的高反层109上开设有用于形成电流路径的刻蚀孔，以及与正面金属电极106相对应的刻蚀区；所述的注入层包括保护环102以及设在其内的有源区103；所述的正面金属电极106还贯穿氧化硅层、氮化硅层与有源区103相连接。进一步的，所述的衬底107为电阻率20～100为ohm·cm的硅基衬底，衬底背面直接做金属化处理形成背面电极108。所述的外延层101淀积在高反层109上；在外延层101上分别以n型离子注入形成保护环102，以p型离子注入形成有源区103；所述的氧化硅层为热氧化生成sio2层104，所述的氮化硅层为淀积生长的si3n4层105；所述的正面金属电极106是在溅射后经刻蚀成形。参见图2所示的光电二极管等效电路示意图，rsh为光电二极管关断阻抗，rsh＝∞，rs为光电二极管串联电阻。深圳市世华高半导体有限公司（SIVAGO）成立于2004年，总部设在深圳，主要负责研发和销售工作。常州硅光电二极管生产厂家