利用常压化学气相沉积法(APCVD)以四氯化钛(TiCl4)和氨气(NH3)作为反应物在玻璃基板上沉积制备了氮化钛(TiN)薄膜.分别用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、四探针电阻仪和分光光度计等对TiN薄膜的结晶性能、微观结构、表面形貌和光学、电学性能进行了分析.结果表明,制备的TiN薄膜厚度为500nm,具有NaCl型面心立方结构并表现出(200)晶面的择优取向,薄膜的晶粒大小分布均匀.在可见光区的透射率达到60%,反射率小于10%.在近红外光区的反射率达到80%。改善钛双极板在质子交换膜(PEM)水电解槽环境中耐腐蚀和导电性能,在钛基底表面制备碳掺杂氮化钛复合涂层。宁波防锈氮化钛功能
TiN和TiAlN涂层常应用于精冲模,采用XRD技术分析了不同厚度TiN和TiAlN涂层的相变化,并采用Sin2ψ法测量了TiN涂层和基体以及TiAlN基体的残留应力,应用显微硬度计测量了涂层的显微硬度。结果表明:TiN涂层(111)和(222)晶面存在明显择优取向,涂层残留应力分布在-2347~-1920MPa,基体残留应力分布在-154.9~-69.21MPa,均随厚度增加而减小;TiAlN涂层主要相成分为Ti3Al3N2,且(107)晶面存在择优取向,基体残留应力分布在-123.7~469.5MPa,主要呈拉应力状态,且随厚度增加而增大,对模具寿命有较大影响;TiN和TiAlN涂层显微硬度随厚度增加而增大。烟台压铸模具氮化钛产品介绍氮化钛有较高的导电性可用作熔盐电解的电极以及点触头、薄膜电阻等,有较高超导临界温度是优良的超导材料。
通过多弧离子镀沉积技术制备了TiN和TiVN涂层,对比了两种涂层在不同工况下的摩擦磨损性能和切削性能,并指出影响刀具涂层服役性能的主要因素。结果表明,V元素掺杂有效提高了TiN涂层的硬度和结合力、减小了TiN涂层的摩擦因数和低温下的磨损率,但V容易氧化的特性导致500℃及以上温度TiVN涂层产生较高的磨损率。切削测试表明,在麻花钻的主切削刃和横刃区域两种涂层发生明显的剥落,而在后刀面涂层未发生明显剥落,TiVN涂层较高的膜基结合强度和耐磨性能使得它对刀具的防护效果更佳;刀具涂层的服役性能与其耐磨性能和膜基结合强度有关,刀具的主切削刃和横刃区域对涂层的耐磨性能和膜基结合强度有着苛刻的要求,且切削刃前列温度较高,对涂层的高温耐磨性能和膜基结合强度要求也高。
目前,国内外制备氮化钛涂层一般采用镀膜工艺,传统制备tin涂层方法为物物理相沉积(pvd)和化学气相沉积(cvd)工艺。这些方法制备氮化钛涂层纯度高、致密性好。但其沉积效率低,涂层厚度过薄(适合几个μm),严重限制了氮化钛涂层在磨、蚀服役条件下的应用。为满足不断提高的氮化钛工业需求,高沉积效率的等离子喷涂工艺被用于氮化钛涂层的制备。采用大气反应等离子喷涂制备的tin涂层,厚度超过了500μm,但涂层疏松多孔,且含有杂质ti3o,一定程度上降低了tin涂层硬度。随着等离子喷涂技术不断发展,采用低压反应等离子喷涂技术(f4-vb)制备了氮化钛涂层,涂层呈致密层状结构,厚度能够达到70μm左右,但是其涂层物相组成为tin0.3、ti2n和tin相,涂层中存在未被氮化的钛颗粒,涂层氮化率适合为25%左右,影响tin涂层的硬度及耐磨性。因此,如何提高低压等离子喷涂制备氮化钛涂层中的涂层氮化率是亟需解决的问题。TiN熔点为2950℃,密度为5.43-5.44g/cm3,莫氏硬度8-9,抗热冲击性好。
明显早应用的刀具PVD涂层材料是TiN,是将靶材(金属固体材料)转换成电离状态,在电场作用下金属离子在工件表面与活化了的氮形成2~4μm厚的薄膜涂层,具有较高的硬度和耐磨性,抗氧化温度在550~600℃;而进入本世纪后,使用具有一定原子比的钛铝合金靶作为靶材, 通过磁控溅射法制得的TiAlN涂层正逐渐代替TiN涂层成为主流涂层,其最高工作温度可达1 150℃,更好得满足这种高速高温切削的需要。其实质是在切削刀具的表面沉积一层具有致密结构、高硬度、热稳定性、耐磨性和抗氧化性良好的硬质薄膜。氮化钛具有熔点高,化学稳定性好硬度大导电、导热和光性能好等良好的理化性质。无锡纳米氮化钛价格
TiN还具有类似贵金属的电子属性,自身对ORR表现出活跃的催化性能和良好的稳定性。宁波防锈氮化钛功能
TiN涂层的耐腐蚀性能进行了试验研究。除采用几种较弱的腐蚀介质外,还在H2SO4溶液、HCl溶液中对TiN涂层样品做了浸泡试验。所有结果表明:涂层后的样品。其耐腐蚀性能比未涂层样品提高几倍至十几倍。同时,在NaCl溶液、人工汗液和酸溶液中,分别测定了涂层和未涂层样品的电化学行为。TiN涂层表现出较高的溶解电位,说明它在热力学上对上述化学介质是比较稳定的。致密TiN涂层的耐腐蚀能力优于不锈钢,但是如果涂层有贯穿的孔洞或涂展太薄时,则涂层试样也会被腐蚀。宁波防锈氮化钛功能
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