东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术，在航空航天小批量零部件生产中展现出独特优势。航空航天领域的部分零部件需求量小、结构复杂、精度要求高，传统模具生产成本高、周期长，而 RPS 快速模具可快速制造模具并生产零件，大幅缩短生产周期，降低成本。RPS 快速模具的加工精度可达 0.01mm，能够满足航空航天零部件的高精度要求；采用的材料具备强度、耐高温等特性，适配航空航天的特殊使用环境。在生产过程中，RPS 通过 ERP 系统进行全流程管控，确保生产进度与质量；严格的保密措施保障了航空航天技术的安全性。目前，RPS 快速模具已应用于航空航天领域的多种小批量零部件生产，成为该领域高效生产的中心 RPS 解决方案。远程等离子体源（Remote Plasma Source，RPS）是一种用于产生等离子体的装置。重庆半导体设备RPS
东莞市晟鼎精密仪器有限公司研发的 RPS 远程等离子源 SPR-08，为半导体设备工艺腔体清洁提供原子级解决方案。该 RPS 设备基于电感耦合等离子体技术，通过交变电场和磁场作用解离 NF3/O2 等工艺气体，释放出高活性自由基，与工艺腔室内沉积的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等残余气体发生化学反应，聚合为气态分子后经真空泵组抽出。RPS 的中心优势在于实现等离子体生成区与主工艺腔的物理隔离，避免离子轰击造成的腔室损伤，同时保证清洁彻底性。在 5nm 以下先进制程中，RPS 清洁技术可有效去除光刻胶残留与微小污染物，确保腔室洁净度满足高精度加工要求。RPS 设备操作便捷，维护简单，运行稳定性强，可适配不同规格半导体工艺腔体，目前已成为半导体制造企业提升产能与产品良率的关键 RPS 设备。北京半导体RPS服务电话为光学镜头镀膜前提供超洁净表面处理条件。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出的 RPS 远程等离子源，是半导体先进制程中的关键中心设备。RPS 采用电感耦合等离子体技术，通过单独腔室生成高密度等离子体，经远程传输区筛选后，只让中性自由基进入主工艺腔，从根源避免离子轰击对晶圆的物理损伤。在 5nm 以下节点芯片制造中，RPS 展现出优越的工艺适配性，无论是 FinFET 还是 GAA 晶体管加工，都能精细控制侧壁粗糙度与晶格缺陷。RPS 支持 Ar、O₂、NF₃等多种工艺气体配比调节，可实现 SiO₂与 SiN 的刻蚀选择比超过 100:1，满足高深宽比通孔的均匀加工需求。晟鼎精密的 RPS 设备在 300mm 晶圆处理中，能将刻蚀均匀性控制在 ±2% 以内，长时间运行稳定性强，为半导体量产提供可靠保障，成为逻辑芯片、存储器件制造中的推荐 RPS 解决方案。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术，依托全球化的生产与物流网络，为全球客户提供高效服务。RPS 在中国拥有 5 家自有工厂，并与 9 家质优合作伙伴建立合作关系，生产基地位于深圳、东莞等精密制造中心城市，可快速响应全球客户订单。在物流方面，RPS 与顺丰、DHL、Fedex 等前端物流企业合作，确保产品快速、安全地运往全球各地。针对国际客户，RPS 提供多语言技术支持与售后服务，帮助客户解决使用过程中的问题；通过 ERP 系统，全球客户可实时查询订单进度，掌握生产动态。该 RPS 全球化服务方案已服务于多个国家和地区的客户，成为国际市场上具有竞争力的快速模具 RPS 品牌。在射频滤波器制造中实现压电薄膜的精确刻蚀。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，凭借快速批量检测能力，成为消费电子制造行业的中心质量控制工具。消费电子产品更新换代快，批量大，对检测效率要求高，RPS 设备单幅测量时间≤1.5 秒，结合全自动拼接技术，可实现零部件的快速批量扫描检测。RPS 设备的测量精度可达 0.01mm，能够满足消费电子零部件的高精度检测需求，如手机外壳、摄像头模组等。在生产线上，RPS 检测设备可与自动化生产线联动，实现零部件的在线检测，及时剔除不合格产品，避免批量质量问题。该 RPS 批量检测方案已应用于多家前端消费电子企业，帮助企业提升生产效率，降低质量成本，成为消费电子制造行业的推荐 RPS 检测设备。晟鼎RPS具备多种通讯方式。北京半导体RPS服务电话
适用于生物芯片微流道表面的亲水化改性处理。重庆半导体设备RPS
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 远程等离子体源，针对第三代半导体（GaN、SiC）的加工特性进行了专项优化，成为该领域的中心加工设备。第三代半导体材料硬度高、脆性大，传统加工方式易产生表面损伤，RPS 通过中性自由基反应实现低损伤加工，避免表面微裂纹的产生。RPS 可精细控制工艺参数，适配 GaN、SiC 等材料的刻蚀与清洁需求，在保证加工精度的同时，比较大限度保护材料原有性能。在第三代半导体器件制造中，RPS 的高选择性刻蚀能力可实现不同材料层的精细分离，高深宽比加工能力满足器件微型化需求。该 RPS 设备运行稳定，工艺重复性强，可满足第三代半导体量产需求，目前已应用于功率器件、射频器件等产品的制造，为第三代半导体产业发展提供了关键的 RPS 技术支撑。重庆半导体设备RPS
