光掩膜版夹持式机械手有什么特别之处？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-05-12

安田丰技术的光掩膜版夹持式机械手在洁净度控制方面表现突出，其表面经过特殊镀层处理，可有效减少颗粒脱落，满足Class 10洁净室环境要求。设备采用无油润滑设计，避免润滑油挥发对光掩膜版造成污染，特别适用于光刻、镀膜等对洁净度要求极高的工艺环节。机械手还配备了视觉定位系统，通过高分辨率工业相机与AI算法，可自动识别光掩膜版上的标记点，定位精度达±0.01mm，即使面对透明或反光材质的光掩膜版也能稳定抓取。如果想了解更多内容，可以进入官网详细了解哦

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