安田丰技术硅晶圆片甩洗机的工作原理是什么？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-05-20

安田丰技术硅晶圆片甩洗机基于离心力原理，通过变频电机驱动晶圆花篮高速旋转，产生强离心力剥离晶圆表面吸附的水分与清洗液，部分机型搭配经HEPA过滤的洁净热风，吹扫并蒸发残留微量水分。设备采用抗腐蚀材质制造，避免产尘与腐蚀，转速可灵活调节，能实现晶圆表面无水印、无颗粒残留的干燥效果，为后续光刻、蚀刻等工艺提供洁净干燥的晶圆载体。

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