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晶圆外观检查中微小缺陷如何发现？

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无锡奥考斯半导体设备有限公司2026-05-26

借助高倍显微镜，调整合适焦距和光线，物镜的选择也需要针对缺陷类型做好选择，仔细扫描晶圆表面查找。

本回答由 无锡奥考斯半导体设备有限公司 提供

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