非接触式晶圆测厚仪对晶圆表面平整度有要求吗？

无锡奥考斯半导体设备有限公司2026-06-02

非接触式晶圆测厚仪对晶圆表面平整度有一定要求。虽然该测厚仪具有一定的适应性，但如果晶圆表面平整度太差，会影响测量的准确性。过于凹凸不平的表面可能导致测量信号不稳定，反射或透射光的路径不一致，从而使测量结果出现偏差。一般来说，晶圆表面平整度应控制在一定范围内，以保证测厚仪能够准确发射和接收信号，获取可靠的厚度测量值。在实际应用中，对于平整度不符合要求的晶圆，可能需要先进行预处理或采用特殊的测量方法。

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