吸附式机械手适合薄片搬运吗？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-05-13

安田丰技术的吸附式机械手在吸附力调节方面具有明显优势，其真空系统配备压力传感器与比例阀，可根据工件重量自动调整吸附力，避免因吸附力过大导致薄片变形或吸附力不足导致脱落。例如，在搬运0.1mm厚的晶圆时，系统会将吸附力准确控制在5-10N范围内，确保安全与效率的平衡。设备还设计了破真空保护功能，当意外断电或气源中断时，吸附盘会立即释放残留真空，防止工件因负压残留而无法取下。如果想了解更多内容，可以进入官网详细了解哦

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